實施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對照例,與實施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進行比較試驗,對面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進行剝離并分別測定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數量)。對比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實施例1130~15015376實施例2130~15016583實施例3130~15017279實施例4130~15015675實施例5130~15016372實施例6130~15017681對照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上。以上所述的*是本發明的一些實施方式。對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發明創造構思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本發明的保護范圍。京東方用的哪家的剝離液?池州半導體剝離液銷售電話
騰田化學技術(上海)技術有限公司(簡稱:騰田化學),騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場,依托復旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關材料領域建立研發中心,憑借強大的科研實力,多年豐富的研發經驗,共同建立化工材料分析中心與新材料研發中心;騰田化學致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的研發;加快新項目整體研發進度,縮短研發周期,推動化工產業自主研發的進程.為企業提供一站式服務。騰田化學作為國內的配方及研發技術有限公司,騰田化學技術團隊具有豐富研發經驗,與多所高校及研究所建立研究性合作平臺,擁有前列的技術研發平臺、雄厚的科研技術力量以及精密的高科技儀器設備;有標準的圖譜庫;材料庫;完善的數據庫;能夠有效的解決某些前列領域特殊產品**能性助劑的定性定量分析及研發技術服務,為企業解決在研發中遇到的難題,突破多領域技術瓶頸;并且與化工行業上百家有規模企業建立長期技術合作;騰田化學中心擁有強大的技術研發團隊:由數位工程師在新材料前列領域已幫助多家企業解決實際生產問題,協助企業成功自主研發**產品項目很多項。嘉興銅鈦蝕刻液剝離液推薦貨源哪家公司的剝離液是比較劃算的?
剝離液是一種通用濕電子化學品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質,同時防止對襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產濕法工藝制造的關鍵性電子化工材料,下游應用領域***,但整體應用需求較低,因此市場規模偏小。
剝離液應用在太陽能電池中,對于剝離液的潔凈度要求較低,*需達到G1等級,下游客戶主要要天合、韓華、通威等;應用到面板中,通常要達到G2、G3等級,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方、中星光電;在半導體中的應用可分等級,在8英寸及以下的晶圓制造中,對于剝離液的要求達到G3、G4水平,大硅片、12英寸晶元等**產品要達到G5水平。
2)、伺服變頻電機(3)、電機減速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷結構(7)、膠面剝離結構(8),所述主支撐架(1)上方設置有所述橫向支架(2),所述橫向支架(2)上方設置有所述伺服變頻電機(3),所述伺服變頻電機(3)上方設置有所述電機減速箱(4),所述電機減速箱(4)上方安裝有印刷品傳送帶(5),所述印刷品傳送帶(5)一側安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側安裝有所述表面印刷結構(7),所述表面印刷結構(7)上方設置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結構(7)一側安裝有所述膠面剝離結構(8),所述膠面剝離結構(8)上方安裝有收卷調速器(801),所述收卷調速器(801)一側安裝有收卷驅動電機(802),所述收卷驅動電機(802)一側安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側安裝有膠水盛放箱(804),所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點膠頭(805),所述點膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側安裝有膠面收卷輥(807),所述膠面剝離結構(8)一側安裝有電加熱箱(9),所述電加熱箱。哪家的剝離液的價格低?
這些溶纖劑可以使用1種或組合使用2種以上。本發明剝離液中的溶纖劑的含量沒有特別限定,例如,推薦~,更推薦~,特別推薦~。本發明剝離液中,為了抑制對金屬的浸蝕性,推薦還含有硅酸鹽。硅酸鹽沒有特別限定,例如,可以舉出硅酸鉀、硅酸鈉等。這些之中推薦硅酸鉀。本發明剝離液中的硅酸鹽的含量沒有特別限定,例如,推薦~,更推薦~,特別推薦~。需要說明的是,本發明剝離液中,推薦*由上述成分構成,但只要不阻礙本發明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說明的本發明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是,本發明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒有特別必要調整ph。另外,本發明剝離液可以通過將上述成分分別分開預先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來制備。具體來說,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進而在其中使上述其它成分適當含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進行處理,抗蝕劑被細小地粉碎。華星光電用的哪家的剝離液?上海京東方用的蝕刻液剝離液推薦貨源
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技術領域:本發明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,可用于微納制造,光學領域,電學,生物領域,mems領域,nems領域。技術背景:微納制造技術是衡量一個國家制造水平的重要標志,對提高人們的生活水平,促進產業發展與經濟增長,保障**安全等方法發揮著重要作用,微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎。基于半導體制造工藝的光刻技術是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結構,再通過金屬的沉積和溶膠實現圖形反轉從而得到所需要的納米孔。然而傳統的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應等會造成曝光后的微納結構側壁呈現一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對于跨尺度高精度納米結構的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰。技術實現要素::為了克服上述技術問題,本發明公開了一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法。池州半導體剝離液銷售電話
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