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    將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合，鍵合時間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對待加工表面進行拋光；s103：通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對待加工表面進行減薄。可選地，本發明實施例中，s102和s103可以交替進行，也就是說，控制磁轉子旋轉一段時間后，控制磁轉子停止旋轉，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉子旋轉，以此類推。本發明實施例中，通過磁轉子和噴頭交替工作，實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩定，速度快，控制性好，重復度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。無錫中芯國際用減薄用清洗劑廠家現貨減薄清洗劑，專業解決涂層過厚難題，提高產品良率。

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    用于實現將所述玻璃加工治具從所述轉換區經所述沖洗區向所述蝕刻區的減薄前移動，以及從所述蝕刻區經所述沖洗區向所述轉換區的減薄后移動；所述沖洗區設置于所述轉換區和所述蝕刻區之間。較佳的，所述蝕刻區包括腔室、主厚度測量儀、噴淋組件和控制器；所述主厚度測量儀、所述噴淋組件設置于所述腔室上，所述噴淋組件在所述腔室中對設置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測量儀實時測量在所述腔室內經歷減薄處理的玻璃厚度；所述控制器與所述噴淋組件、所述主厚度測量儀、所述傳輸組件連接。較佳的，所述噴淋組件包括設置于所述腔室頂部的噴淋頭、設置于所述腔室底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具上的玻璃噴淋噴淋液從而實現玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室內排出。較佳的，所述主厚度測量儀包括用于發射激光束的發射器、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且計算玻璃厚度的分析器。較佳的，所述主厚度測量儀還包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃表面，將被檢測部位暴露于所述發射器對應位置。哪家減薄用清洗劑的質量比較好。

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區3，并且控制玻璃在所述蝕刻區3中再次經歷減薄處理，以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據所述輔助厚度測量儀的檢測數據判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的，當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時，可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈，所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區撤出，并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區1內，經所述沖洗區2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3中經歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區3中進行減薄處理期間。紹興什么是減薄用清洗劑技術指標