較佳的,所述沖洗區包括沖洗區、第二沖洗區和第三沖洗區,所述第二沖洗區設置于所述沖洗區和所述第三沖洗區之間,所述沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述轉換區之間,所述第三沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述蝕刻區之間。較佳的,所述沖洗區設置有輔助厚度測量儀。較佳的,所述第三沖洗區設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的,所述轉換區設置為可升降的折疊式結構。較佳的,所述轉換區設置有裝卸臂。與現有技術比較本發明的有益效果在于:1,本發明中所述玻璃減薄生產線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理,可實現單次多片玻璃減薄,同時避免浸泡式減薄法中反應產物粘附在玻璃上造成不良品的問題;2,本發明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復移動使側支撐件與玻璃之間接觸點產生變化,從而避免所述側支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產生的不良次品問題;3,本發明通過所述側支撐件的固定結構,可實現所述側支撐件的位置調節,從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設備的結構示意圖。如何挑選一款適合自己的減薄用清洗劑?浙江半導體減薄用清洗劑生產
通過旋緊螺釘使螺釘的端頭部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸,從而實現對所述連接部433的固定,避免所述連接部433在振動時發生脫離等情況。同時螺釘的設置,可實現所述底支撐件43結構的快速裝卸,便于維修更換。值得指出的是,為達到防止所述連接部433脫離的效果,所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設置為螺釘,通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設置橫截面合適的部件,使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接,即可實現螺釘的效果。所述接觸部434設置有弧形槽,玻璃的下邊緣設置于所述弧形槽內,從而實現所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進行減薄或其他加工過程中,玻璃通過所述玻璃加工治具4進行移動或放置時,均會產生振動;同時在進行蝕刻沖刷時,在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃產生彎曲,通過所述底支撐件43的結構設置,可實現設置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐,有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,避免振動或沖擊對玻璃帶來的損傷;同時可有效降低所述玻璃加工治具4往復移動帶來的振動,使玻璃底部在所述連接部433的限制下進行小幅度的移動,在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動。深圳顯示面板用減薄用清洗劑供應減薄用清洗劑的適用人群有哪些?
將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進行拋光;s103:通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對待加工表面進行減薄。可選地,本發明實施例中,s102和s103可以交替進行,也就是說,控制磁轉子旋轉一段時間后,控制磁轉子停止旋轉,并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉子旋轉,以此類推。本發明實施例中,通過磁轉子和噴頭交替工作,實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。
主營產品:潤滑油金屬加工液金屬清洗劑金屬防銹油東莞市清木潤滑科技有限公司所在地:廣東東莞在線詢價銅清洗劑銅拋光劑微能牌洗銅水銅光亮劑是否進口否產地河北品牌微能系列工業清洗系列產品名稱微能銅清洗劑是否危險化學品否主營產品:銅清洗劑銅發黑劑鋼鐵發黑劑中性除銹劑¥邢臺市微能科技有限公司所在地:河北寧晉縣在線詢價供應精密電子儀器清洗劑,精密電子儀器清洗劑,天津清洗劑廠家選金祥順達分類空調清洗劑型號JDQ-001品牌金祥順達香型清淡PH值56保質期12主營產品:清洗劑切削液脫漆劑可剝涂料¥所在地:天津北辰區在線詢價銅本色清洗劑銅環保化學拋光清洗劑銅光亮清洗劑銅除油除銹清洗劑分類金屬清洗劑型號Q804品牌祺度香型無味保質期12主營產品:銅光亮清洗劑銅化學拋光劑鋁合金清洗劑壓鑄鋁清洗劑寧波祺度環保科技有限公司所在地:浙江寧波在線詢價銅材脫脂劑慧誠是否進口否品牌慧誠系列301產品名稱銅材脫脂劑是否危險化學品否主營產品:電解拋光液酸洗鈍化膏不銹鋼鈍化膏不銹鋼除銹水¥濟寧慧誠化工有限公司所在地:山東濟寧在線詢價供應銅清洗劑、銅光亮劑類別中性清洗液型號DunHua968E主要用途1.處理后不影響導電性、焊錫性能。2.超長的抗鹽霧防銹性能,。哪家公司的減薄用清洗劑的品質比較好?
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如何選擇一家好的減薄用清洗劑公司。浙江半導體減薄用清洗劑生產
圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖;圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖;圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖;圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想,為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。本發明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉子12,當然,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。浙江半導體減薄用清洗劑生產