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所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度,并且將關于測得厚度的信息發送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標厚度。如果確定玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區2內。實施例三所述玻璃加工治具4經所述控制器的控制實現在所述腔室31內的往復運動,進而通過所述玻璃加工治具4的自身結構實現所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動,從而實現玻璃與噴淋液的充分接觸,提高玻璃在所述蝕刻區3內的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖;具體的,所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42,所述支撐架42固定設置在所述底座41上;所述底座41上設置有底支撐件43,所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸,在玻璃底部提供支撐效果;所述支撐架42上設置有側支撐件44,所述側支撐件44限制玻璃側部邊緣位置。浙江清洗效果好的減薄用清洗劑聯系方式減薄清洗劑,助您輕松打造高精度產品,滿足客戶需求。
7保質期24主營產品:工業清洗劑空調清洗劑水處理藥劑除銹除油劑¥所在地:四川眉山在線詢價供應鋁材防氧劑、銅保護劑、銅清洗劑產品名稱銅保護劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險化學品否是否進口否主營產品:工業潤滑油自行車潤滑油鐘表加工潤滑油防水油食品級油格林潤滑科技(惠州)有限公司所在地:廣東惠州在線詢價KRB-206環保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強除油無腐蝕不變色類別堿性清洗液型號KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執行標準國標企標CAS略主營產品:切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑¥武漢科瑞博科技有限公司所在地:湖北武漢在線詢價生產廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快速油污清洗劑分類銅清洗劑型號HWJ-781品牌輝煒佳PH值8-9保質期18CAS無主營產品:陶化劑硅烷處理劑脫漆劑鈍化劑¥東莞市輝煒佳金屬科技有限公司所在地:廣東東莞在線詢價供應銷售環保型銅化學拋光劑如銅化學拋光劑,銅酸洗工藝,銅拋光劑,銅清洗劑,銅本色清洗,銅氧化皮清洗分類精密電子儀器清洗劑型號Q810PH值保質期。
并控制磁轉子12和噴頭11每間隔20s旋轉10s,也就是說,控制磁轉子旋轉10s,控制磁轉子停止旋轉后,控制噴頭噴涂拋光液10s,停止噴涂拋光液10s后,控制磁轉子旋轉10s,以此類推。本發明實施例中,控制部件在脈沖工作模式下,實現減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。還需要說明的是,本發明實施例中,在減薄的過程中,可以不斷更換磁轉子12,如磁轉子12工作1小時后,將磁轉子12更換為新的磁轉子,以使磁轉子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。此外,本發明實施例中,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮氣吹干。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發明實施例還提供了一種拋光減薄方法,如圖5所示,包括:s101:將待加工部件固定在托盤上,待加工部件包括inp基晶圓;可選地。減薄用清洗劑的使用時要注意什么?
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故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時,可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區3,并且控制玻璃在所述蝕刻區3中再次經歷減薄處理,以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據所述輔助厚度測量儀的檢測數據判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的,當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內,可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時,可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈,所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內,而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區1內,經所述沖洗區2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3中經歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區3中進行減薄處理期間。池州清洗效果好的減薄用清洗劑推薦廠家