將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進行拋光;s103:通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對待加工表面進行減薄。可選地,本發明實施例中,s102和s103可以交替進行,也就是說,控制磁轉子旋轉一段時間后,控制磁轉子停止旋轉,并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉子旋轉,以此類推。本發明實施例中,通過磁轉子和噴頭交替工作,實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。哪家減薄用清洗劑的質量比較高?臺州中芯國際用減薄用清洗劑價格
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所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3內作往復移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發送到所述控制器;當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。一般的,在所述腔室31內,減薄處理的具體工藝參數為:所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為~4s,來回往復一次時間設置為3s~8s,往復移動幅度設置約為180mm左右;所述噴淋系統控制的噴淋液流量設置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃~40℃;在上述參數下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實現對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區2內經減薄后初清洗后待機,所述控制器進行次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述沖洗區2內的所述輔助厚度測量儀,進行檢測厚度比較,從而實現所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內進行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區2進行減薄后終清洗。哪家減薄用清洗劑的的性價比好?
本發明涉及玻璃減薄技術領域,具體涉及一種玻璃減薄設備。背景技術:隨著便攜式電子器件的發展,手機、平板等便攜式電子器件越來越纖細化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設備的反應槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時間,使玻璃減薄液與玻璃反應,實現玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中,反應產物會懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,導致進行減薄后還需要進行拋光處理,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,本發明創作者經過長時間的研究和實踐終于獲得了本發明。技術實現要素:為解決上述技術缺陷,本發明采用的技術方案在于,提供一種玻璃減薄設備,包括蝕刻區,用于對豎直容納在玻璃加工治具中的多個玻璃進行減薄處理;沖洗區,用于所述玻璃加工治具上的玻璃進行減薄前清潔和減薄后清潔;轉換區,用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區中,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區卸載到外部;制動組件。去除多余涂層,減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。安徽性價比高的減薄用清洗劑哪里買
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