HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應器LFS-3性能LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz.感應器直接放到地板上和AVI系列產品連在組成一個正向循環可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產品。LFS-3性能使用測振儀的V檔并有50公斤的重量下測試的。LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。AVI主動隔振系統幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產等方面創造穩定的測量和生產環境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計、微檢測設備等提供極好的隔振效果。HERZ在被動式隔振系統產品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發的先進主動式隔振系統。主動隔振臺隔振臺質量怎么樣
AVI200-MAVI200-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能AVI200-M系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性AVI200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現中比較復雜的過程技術指標:頻率:1,2-200Hz負載范圍:0-400公斤(單個):200公斤如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。光刻機隔振臺聯系電話簡單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復雜的過程。
隔振臺TS-140+40的技術指標:
頻率負載范圍尺寸:0,7-1000Hz 50-180公斤500x600x84毫米
隔離:動態(超過1kHz)
傳遞率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)
矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N
靜態合規性:垂直約12μm/N水平30-40μm/N
最大負載:50-180公斤尺寸:500x600x84毫米
重量:在公制(M6x25mm)或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。
如果您有任何需要了解的,請隨時聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。記得訪問官網。
AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,這一點很重要取向!LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確,請按照下列步驟操作:面向LFS傳感器的藍色LED站立。將弟一個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為激光干涉計、微檢測設備等提供極好的隔振效果。
AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量,可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能AVI600-M系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性AVI600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-M緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。技術指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-1200公斤(單件):600公斤LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。高精密儀器隔振臺應用
Table Stable通過在發展主動隔振系統的同時補充了被動系統。主動隔振臺隔振臺質量怎么樣
TS-150支撐面測試:盡管這些系統幾乎可以在任何支撐面上運行,但采用軟支撐結構共振放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。您可以通過觀察診斷信號來了解支持結構的適用性同時推動支持。此測試應禁用隔離。如果支撐是剛性的信號幾乎不應響應任何方向對支撐的推動。現在嘗試點擊支持激發其內部共鳴。通常,支架會對水平隆頭產生更強烈的反應而不是垂直的。一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振,并且隔離將在這些頻率上受到嚴重影響。更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。主動隔振臺隔振臺質量怎么樣
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