隔振臺TS-140+40的技術指標：

頻率負載范圍尺寸:0,7-1000Hz 50-180公斤500x600x84毫米

隔離：動態(tài)（超過1kHz）

傳遞率：參見附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）

矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N

靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12μm/N水平30-40μm/N

最大負載：50-180公斤尺寸：500x600x84毫米

重量：在公制（M6x25mm）或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。

如果您有任何需要了解的，請隨時聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。記得訪問官網。 所有范圍內為±5％。控制單元必須與相應的測量頭一起使用！主動隔振臺隔振臺售后服務

LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關輸出，這些AVI元件以任意4個矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍色LED直立。將弟一個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關。傳感器的位置:傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負載下方或外部，但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬，以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導致傳感器輸出飽和，隔離將失效。輪廓儀隔振臺聯系電話從低頻率起提高一個隔振環(huán)境。

1、使用2mm內六角扳手（包括在內）拆下模塊端板。2、根據掃描電鏡的重量調整模塊。在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙，允許每側大約有2mm的行程。B、使用M6活動扳手（包括）轉動位于支撐彈簧頂部的調整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙（在中間止動螺母和橫撐之間）。向左轉動扳手可升高模塊并減小上部間隙。C、計算每個螺母的圈數；盡可能均勻地調整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。D、不要轉動螺母太遠，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下，外露螺紋不得超過10mm3.裝回模塊上的端板

AVI-產品參數：AVI-200系列（負載：蕞多800kg）型號：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上確認防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接前面的8個LED指示防振狀態(tài)尺寸：120×396×130×636×130×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重：400kg單位重量：約9kg聯絡我們電源電壓：95-240VAC50-60赫茲耗電量：普通9W工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍：10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。Herz授權岱美儀器代理其生產的隔振臺含AVI和TS系列。

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度（透射率）有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)？傳感器LFS-2具有單獨的電源，該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要，但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。壓電陶瓷技術隔振臺應用

AVI 400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。主動隔振臺隔振臺售后服務

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個單獨的承載模塊和一個控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過增加隔振模塊的數量，可以輕松承受更大的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用，可以按特殊順序提供不同長度的單個元件。AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單，友好的概念-避免在安裝出現中比較復雜的過程。主動隔振臺隔振臺售后服務

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家貿易型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展，努力實現產品創(chuàng)新。公司是一家其他有限責任公司企業(yè)，以誠信務實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍，努力為廣大用戶提供***的產品。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠滿意為標準；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標，提供***的半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀。岱美中國順應時代發(fā)展和市場需求，通過**技術，力圖保證高規(guī)格高質量的半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀。