EVG®301特征使用1MHz的超音速噴嘴或區域傳感器(可選)進行高/效清潔單面清潔刷(選件)用于晶圓清洗的稀釋化學品防止從背面到正面的交叉污染完全由軟件控制的清潔過程選件帶有紅外檢查的預鍵合臺非SEMI標準基材的工具技術數據晶圓直徑(基板尺寸):200和100-300毫米清潔系統開室,旋轉器和清潔臂腔室:由PP或PFA制成(可選)清潔介質:去離子水(標準),其他清潔介質(可選)旋轉卡盤:真空卡盤(標準)和邊緣處理卡盤(選件),由不含金屬離子的清潔材料制成旋轉:蕞高3000rpm(5秒內)超音速噴嘴頻率:1MHz(3MHz選件)輸出功率:30-60W去離子水流量:蕞高1.5升/分鐘有效清潔區域:?4.0mm材質:聚四氟乙烯EVG的服務:高真空對準鍵合、集體D2W鍵合、臨時鍵合和熱、混合鍵合、機械或者激光剖離、黏合劑鍵合。中國澳門鍵合機價格怎么樣
EVG®6200鍵合機選件 自動對準 紅外對準,用于內部基板鍵對準 NanoAlign®包增強加工能力 可與系統機架一起使用 掩模對準器的升級可能性 技術數據 常規系統配置 桌面 系統機架:可選 隔振:被動 對準方法 背面對準:±2μm3σ 透明對準:±1μm3σ 紅外校準:選件 對準階段 精密千分尺:手動 可選:電動千分尺 楔形補償:自動 基板/晶圓參數 尺寸:2英寸,3英寸,100毫米,150毫米,200毫米 厚度:0.1-10毫米 蕞/高堆疊高度:10毫米 自動對準 可選的 處理系統 標準:3個卡帶站 可選:蕞多5個站海南SUSS鍵合機晶圓鍵合系統EVG501是適用于學術界和工業研究的多功能手動晶圓鍵合機。
EVG®850鍵合機 EVG®850鍵合機特征 生產系統可在高通量,高產量環境中運行 自動盒帶間或FOUP到FOUP操作 無污染的背面處理 超音速和/或刷子清潔 機械平整或缺口對準的預鍵合 先進的遠程診斷 技術數據 晶圓直徑(基板尺寸) 100-200、150-300毫米 全自動盒帶到盒帶操作 預鍵合室 對準類型:平面到平面或凹口到凹口 對準精度:X和Y:±50μm,θ:±0.1° 結合力:ZUI高5N 鍵合波起始位置:從晶圓邊緣到中心靈活 真空系統:9x10-2mbar(標準)和9x10-3mbar(渦輪泵選件) 清潔站 清潔方式:沖洗(標準),超音速噴嘴,超音速面積傳感器,噴嘴,刷子(可選) 腔室:由PP或PFA制成(可選) 清潔介質:去離子水(標準),NH4OH和H2O2(ZUI大)。2%濃度(可選) 旋轉卡盤:真空卡盤(標準)和邊緣處理卡盤(選件),由不含金屬離子的清潔材料制成 旋轉:ZUI高3000rpm(5s)
EVG®520IS晶圓鍵合機系統:單腔或雙腔晶圓鍵合系統,用于小批量生產。EVG520IS單腔單元可半自動操作ZUI大200mm的晶圓,適用于小批量生產應用。EVG520IS根據客戶反饋和EVGroup的持續技術創新進行了重新設計,具有EVGroup專有的對稱快速加熱和冷卻卡盤設計。諸如獨LI的頂側和底側加熱器,高壓鍵合能力以及與手動系統相同的材料和工藝靈活性等優勢,為所有晶圓鍵合工藝的成功做出了貢獻。特征:全自動處理,手動裝卸,包括外部冷卻站兼容EVG機械和光學對準器單室或雙室自動化系統全自動的鍵合工藝執行和鍵合蓋移動集成式冷卻站可實現高產量選項:高真空能力(1E-6毫巴)可編程質量流量控制器集成冷卻技術數據ZUI大接觸力10、20、60、100kN加熱器尺寸150毫米200毫米ZUI小基板尺寸單芯片100毫米真空標準:1E-5mbar可選:1E-6mbarEVG500系列鍵合機是基于獨特模塊化鍵合室設計,能夠實現從研發到大批量生產的簡單技術轉換。
完美的多用戶概念(無限數量的用戶帳戶,各種訪問權限,不同的用戶界面語言) 桌面系統設計,占用空間蕞小 支持紅外對準過程 EVG®610BA鍵合機技術數據 常規系統配置 桌面 系統機架:可選 隔振:被動 對準方法 背面對準:±2μm3σ 透明對準:±1μm3σ 紅外校準:選件 對準階段 精密千分尺:手動 可選:電動千分尺 楔形補償:自動 基板/晶圓參數 尺寸:2英寸,3英寸,100毫米,150毫米,200毫米 厚度:0.1-10毫米 蕞/高堆疊高度:10毫米 自動對準 可選的 處理系統 標準:2個卡帶站 可選:蕞多5個站以上應用工藝也讓MEMS器件,RF濾波器和BSI(背面照明)CIS(CMOS圖像傳感器)的生產迅速增長。廣西鍵合機質保期多久
晶圓級涂層、封裝,工程襯底智造,晶圓級3D集成和晶圓減薄等用于制造工程襯底,如SOI(絕緣體上硅)。中國澳門鍵合機價格怎么樣
在計算機和互聯網的急速發展到整個世界的背景下,儀器儀表也開始向網絡化突進,結合新的科技設備,通過廣域網和局域網直接操控儀器儀表,對公司的管理,經營一體化,應用模式的分析等各大方面產生影響。其他有限責任公司企業通過網絡這個平臺與客戶直接的交流,突破了世界和空間的限制,行家遠程操控對儀器儀表進行維護和分析。高科技的產品也隨之而來。為迎接貿易型百年未有之大變局,行家認為,要重新定義中國在世界經濟版圖中的地位,要順應形勢實現制造升級。以華立集團在境外開發“中國工業園”的成功案例來闡述,跨國經營要成為企業主動的戰略選擇,在不確定性中更好地活下去,以全球化視野看問題,很多困惑在全球化過程中會迎刃而解。進一步提升我國儀器儀表技術和水平,其他有限責任公司企業要順應產業發展潮流,在穩固常規品種的同時,進一步發展智能儀器儀表,提升產業數字化、智能化、集成化水平。伴隨移動互聯網的爆發式增長,如今,它已經漸漸取代電子商務成為了整個互聯網產業增速極快的領域,而移動終端的入口也隨即成為了傳統行業的必爭之地。半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀行業進軍移動互聯網實現線上發展勢在必行。中國澳門鍵合機價格怎么樣
岱美儀器技術服務(上海)有限公司公司是一家專門從事半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品的生產和銷售,是一家貿易型企業,公司成立于2002-02-07,位于金高路2216弄35號6幢306-308室。多年來為國內各行業用戶提供各種產品支持。公司主要經營半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產品,產品質量可靠,均通過儀器儀表行業檢測,嚴格按照行業標準執行。目前產品已經應用與全國30多個省、市、自治區。我們以客戶的需求為基礎,在產品設計和研發上面苦下功夫,一份份的不懈努力和付出,打造了EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi產品。我們從用戶角度,對每一款產品進行多方面分析,對每一款產品都精心設計、精心制作和嚴格檢驗。半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品滿足客戶多方面的使用要求,讓客戶買的放心,用的稱心,產品定位以經濟實用為重心,公司真誠期待與您合作,相信有了您的支持我們會以昂揚的姿態不斷前進、進步。