雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。動(dòng)態(tài)（增益和偏移）重新調(diào)整。廣州激光干涉儀表面粗糙度

結(jié)構(gòu)原理：普通電流互感器結(jié)構(gòu)原理：電流互感器的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構(gòu)架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數(shù)（N1）較少，直接串聯(lián)于電源線路中，一次負(fù)荷電流(I1)通過(guò)一次繞組時(shí)，產(chǎn)生的交變磁通感應(yīng)產(chǎn)生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數(shù)（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負(fù)荷（Z）串聯(lián)形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數(shù)，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實(shí)際運(yùn)行中負(fù)荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當(dāng)于一個(gè)短路運(yùn)行的變壓器。高精度激光干涉儀高精度測(cè)量IDS3010的分辨率，比低重量加速器，高一個(gè)數(shù)量級(jí)。

穿心式電流互感器其本身結(jié)構(gòu)不設(shè)一次繞組，載流（負(fù)荷電流）導(dǎo)線由L1至L2穿過(guò)由硅鋼片搟卷制成的圓形（或其他形狀）鐵心起一次繞組作用。二次繞組直接均勻地纏繞在圓形鐵心上，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負(fù)荷串聯(lián)形成閉合回路，由于穿心式電流互感器不設(shè)一次繞組，其變比根據(jù)一次繞組穿過(guò)互感器鐵心中的匝數(shù)確定，穿心匝數(shù)越多，變比越小；反之，穿心匝數(shù)越少，變比越大，額定電流比I1/n：式中I1——穿心一匝時(shí)一次額定電流；n——穿心匝數(shù)。     

升降變差

1.能耐受機(jī)械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM的安裝式儀表、用直流進(jìn)行檢驗(yàn)的電磁系和鐵磁電動(dòng)系儀表，其指示值的升降變差不應(yīng)超過(guò)表7規(guī)定值的1.5倍。其它儀表的升降變差不應(yīng)超過(guò)表的規(guī)定。

2.測(cè)定升降變差時(shí)，應(yīng)在極性不變(當(dāng)用直流檢驗(yàn)時(shí))和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺某一個(gè)分度線，讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)；然后再?gòu)牧硪粋€(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺的同一個(gè)分度線，再次讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)，標(biāo)準(zhǔn)表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測(cè)定升降變差，這時(shí)應(yīng)維持被測(cè)量之值不變。測(cè)定儀表升降變差時(shí)應(yīng)遵守規(guī)定，若被測(cè)之量連續(xù)可調(diào)，可與測(cè)定基本誤差一同進(jìn)行。 檢測(cè)軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。

外觀檢查規(guī)定1表盤上或外殼上至少應(yīng)有下述標(biāo)志符號(hào)：A.儀表名稱或被測(cè)之量的標(biāo)志符號(hào)；B.型號(hào)；C.系別符號(hào)；D.準(zhǔn)確度等級(jí)；E.廠名或廠標(biāo)；F.制造標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；G.制造年月或出廠編號(hào)；H.電流種類或相數(shù)，三相儀表中測(cè)量機(jī)構(gòu)的元件數(shù)量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表)；K.定值導(dǎo)線值(或符號(hào))和分流器額定電壓降值(對(duì)低量限電壓表的要求)。2儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)上應(yīng)有用途標(biāo)志；3從外表看，零部件完整，無(wú)松動(dòng)，無(wú)裂縫，無(wú)明顯殘缺或污損。當(dāng)傾斜或輕搖儀表時(shí)，內(nèi)部無(wú)撞擊聲；4向左右兩方向旋動(dòng)機(jī)械調(diào)零器，指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，左右對(duì)稱；       雖然加速度計(jì)可用于測(cè)量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。高精度激光干涉儀高精度測(cè)量

定位器的觸發(fā)運(yùn)動(dòng)控制。廣州激光干涉儀表面粗糙度

(3)非接觸測(cè)頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對(duì)此已經(jīng)提出迫切要求，這是今后坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測(cè)頭已完全被國(guó)外所壟斷，非接觸測(cè)頭還沒(méi)有發(fā)展成熟，我們有參與競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進(jìn)展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過(guò)去，科研評(píng)價(jià)體系存在偏重于整機(jī)和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點(diǎn)可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測(cè)器。目前探測(cè)器的響應(yīng)頻率只有10的9次方，而光頻高達(dá)10的14次方，目前干涉儀實(shí)際上是起著混頻器的作用，適應(yīng)探測(cè)器的不足(如果探測(cè)器的響應(yīng)果真能超過(guò)光頻，干涉儀也就沒(méi)有用了)。如果探測(cè)器的性能得到顯著提高，對(duì)于通訊也是很大的突破。廣州激光干涉儀表面粗糙度