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一般A4紙即可)測(cè)試資料儲(chǔ)存于硬碟(每一筆資料皆可儲(chǔ)存,不限次數(shù))測(cè)試條件皆由電腦畫面設(shè)定(含測(cè)試行程、速度、次數(shù)、空壓、暫停時(shí)間等等)檢驗(yàn)報(bào)表抬頭內(nèi)容可隨時(shí)修改(中英文皆可)檢驗(yàn)報(bào)表可自動(dòng)產(chǎn)生,不須再作輸入。檢驗(yàn)報(bào)表可轉(zhuǎn)換為Excel等文書報(bào)表格式。頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)規(guī)格:測(cè)試荷重種類;2kgf、500gf(任選1個(gè))顯示荷重:測(cè)試行程:100mm顯示行程:()測(cè)定速度范圍:1-300mm/min(壽命測(cè)試可以一分鐘可達(dá)360次)傳動(dòng)機(jī)構(gòu):滾珠螺桿采樣速率:27KHZ企業(yè)工商信息單位名稱執(zhí)照號(hào)城市蘇州菲唐檢測(cè)設(shè)備有限公司0285622江蘇蘇州蘇州菲唐檢測(cè)設(shè)備有限公司一步電子網(wǎng)會(huì)員12年所有產(chǎn)品進(jìn)入黃頁本司其他產(chǎn)品信息電動(dòng)加液接觸角測(cè)量?jī)x自動(dòng)加液接觸角測(cè)量?jī)x教學(xué)用接觸角水滴角測(cè)量?jī)x接觸角水滴角試驗(yàn)儀12工位焊帶電池片剝離力測(cè)試機(jī)納米壓痕測(cè)試機(jī)在線詢價(jià)產(chǎn)品名稱:探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)*咨詢?cè)斍椋寒a(chǎn)品名稱:探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)數(shù)量:描述:是什么價(jià)格?發(fā)貨期幾天?*聯(lián)系人:*手機(jī)號(hào):郵箱:QQ:點(diǎn)擊留言探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)相關(guān)說明蘇州菲唐檢測(cè)設(shè)備有限公司為你提供的"探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)"詳細(xì)介紹。江蘇T型頂針對(duì)于細(xì)小頂針的測(cè)試我司也有豐富的經(jīng)驗(yàn)微克檢測(cè)設(shè)備限公司結(jié)合市場(chǎng)上客戶需要。
該橫向直線導(dǎo)軌100包括***軌道101、設(shè)于***軌道101一端的***伺服電機(jī)102、設(shè)于***軌道101內(nèi)且一端與***伺服電機(jī)102相連的***絲杠103、穿設(shè)于***絲杠103上并與***絲杠103嚙合的***滑塊104。使用時(shí),***伺服電機(jī)102驅(qū)動(dòng)***絲杠103旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)***滑塊104進(jìn)行橫向滑移。該縱向直線導(dǎo)軌200包括設(shè)于***滑塊104上且垂直于***軌道101的第二軌道201、設(shè)于第二軌道201一端的第二伺服電機(jī)202、設(shè)于第二軌道201內(nèi)且一端與第二伺服電機(jī)202相連的第二絲杠203、穿設(shè)于第二絲杠203上并與第二絲杠嚙合的第二滑塊204。使用時(shí),第二伺服電機(jī)202驅(qū)動(dòng)第二絲杠203旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)第二滑塊204進(jìn)行縱向滑移。再如圖1所示,第二滑塊204上設(shè)有c形基座310,其包括固定于第二滑塊204頂面上的底板311、與底板311一側(cè)邊緣連接的豎板312以及連接豎板312頂部邊緣并與底板311相對(duì)布置的頂板313。該頂板313上設(shè)有支撐筒320,真空吸頭330固定于該支撐筒320上。如圖1與圖2與圖8所示,該真空吸頭330包括殼筒334與蓋板335,該殼筒334為上下端具有開口的圓筒,殼筒334下端安裝于支撐筒320上,殼筒334靠近頂部開口處的內(nèi)壁上設(shè)有兩個(gè)相對(duì)布置的凸耳336,蓋板335蓋在殼筒334的頂部開口上并與凸耳336通過螺栓固定。
該頂桿410與支撐筒320的貫通孔324內(nèi)壁間設(shè)有密封圈,由此實(shí)現(xiàn)支撐筒320與頂桿410間的氣密。該頂桿410外壁與連接塊510放置腔的內(nèi)壁間設(shè)有密封圈512,由此實(shí)現(xiàn)第二氣道413與豎直貫孔間的氣密。該豎直貫孔與第三氣道550間通過圈形磁鐵560的吸附力實(shí)現(xiàn)氣密。如圖1和圖3所示,***滑塊104上還設(shè)有支架360,該支架360上設(shè)有分別連接氣嘴312與氣管接頭412的多個(gè)電磁閥370。其中的一個(gè)電磁閥370、氣管接頭412、第二氣道413、豎直貫孔、圈形磁鐵560與第三氣道550一起構(gòu)成了一個(gè)能夠?qū)攭K500中的凹腔541進(jìn)行充放氣的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。采用這樣的結(jié)構(gòu),使進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的氣路與真空吸頭330的氣路相對(duì)**,不會(huì)因?yàn)閷?duì)凹腔541進(jìn)行充放氣操作影響真空吸頭330的運(yùn)行。支架360上還連接有坦克鏈380,通過坦克鏈380實(shí)現(xiàn)電氣線路、氣管線路的跟隨運(yùn)動(dòng)。以上就是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu),工作時(shí),首先,將真空吸頭330移動(dòng)到放置有芯片的粘性膜下方,通過粘性膜的運(yùn)動(dòng)使粘性膜上的芯片對(duì)準(zhǔn)頂升頭400上的凹腔541,角度一致。隨后,粘性膜上方的真空吸嘴下降,貼到芯片的表面上開始抽氣,吸附住芯片。打開與氣嘴321連接的電磁閥370,對(duì)真空吸頭330抽真空,使真空吸頭330吸住粘性膜。接著。蘇州昕昀科技有限公司是一家專業(yè)從事環(huán)境檢測(cè)設(shè)備、力學(xué)檢測(cè)設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售服務(wù)的****。
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù):在半導(dǎo)體芯片的制作過程中,整個(gè)晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進(jìn)行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片,之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來,轉(zhuǎn)入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因?yàn)槟び姓承裕苯佑梦鞆哪ど衔。婵樟o法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了。現(xiàn)有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時(shí),頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細(xì),針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí),因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏希挥许斸樏俺霭研酒斏酒苓叺哪?huì)從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對(duì)應(yīng)厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時(shí)。通過電腦設(shè)定儲(chǔ)存數(shù)據(jù),是一款很好的頂針探針試驗(yàn)機(jī)器。湖州鎢鋼非標(biāo)頂針
公司主營(yíng)產(chǎn)品:連接器插拔力試驗(yàn)機(jī)、按鍵開關(guān)荷重行程手感導(dǎo)通試驗(yàn)機(jī)、全自動(dòng)扭力試驗(yàn)機(jī)。武漢頂針品牌哪家好
不會(huì)碎裂。但厚度100微米以內(nèi)的芯片,因?yàn)樾酒臼∫呀?jīng)非常脆弱了,芯片面積稍大時(shí),頂針頂升,芯片受頂針的力和膜的粘力的相互作用,很容易就碎裂了。所以對(duì)于厚度100微米以內(nèi)的薄芯片,迫切需要新的頂升方式從粘性膜上剝離。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,能夠?qū)穸仍?00毫米以下的芯片進(jìn)行剝離,而不會(huì)損傷芯片。本發(fā)明通過如下方式解決該技術(shù)問題:一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括真空吸頭,所述真空吸頭的頂壁上設(shè)有中心孔與環(huán)繞所述中心孔布置的吸氣孔,其特征在于:還包括設(shè)于所述中心孔中的頂升頭以及能夠驅(qū)動(dòng)所述頂升頭頂壁高出所述真空吸頭的頂壁的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述頂升頭的頂壁上設(shè)有凹腔,所述頂升頭具有連通所述凹腔的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。使用時(shí),將真空吸頭置于粘性膜正下方,通過真空吸頭吸住粘性膜的底面,頂升頭上升,進(jìn)氣機(jī)構(gòu)對(duì)凹腔內(nèi)充氣,使凹腔處的粘性膜開始凸起,芯片與粘性膜逐漸分離,從而使位于芯片上方的吸嘴可以順利將芯片吸走。采用這樣剝離方式,不會(huì)有傳統(tǒng)鋼制頂針受力集中的問題,能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進(jìn)行剝離而不會(huì)損傷芯片,相比現(xiàn)有技術(shù)有了***的進(jìn)步。武漢頂針品牌哪家好
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