5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室(區)內,電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應符合下列規定:1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;2應密封性能好;3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;4構造、外形應滿足生產工藝要求,并應方便操作和運送。根據潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區。北京手術室潔凈室檢測服務
10.2.3氣體純化裝置的設置,應符合下列要求:1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠房設有氣體入口室時,氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時,也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內;4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設置在氣體入口室。醫療器具潔凈室檢測目的設置在同一潔凈室內的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快,并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調,并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造,應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層,上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線;下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層;在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機,再啟動回風機和排風機。
C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確,使用過程中無滲漏發生,不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏;確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風向注入氣溶膠,在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行,且該項檢測是在新建潔凈室調試時,或現有設施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進行。為了達到規定的潔凈度級別,有效地控制微粒的污染。江蘇半導體凈化車間潔凈室檢測哪家好
凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。北京手術室潔凈室檢測服務
5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室,其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合,使潔凈室形成一個完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內,同時使潔凈室在正常工作時易于保持正壓,減少能量的損耗。此外,潔凈室的關鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要***密封。目前國內使用的密封方法很多,如液槽密封、機械壓墊密封等,但必須做到涂抹或填嵌方便,操作簡單,而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝。總之,沒有經過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進入潔凈室內。潔凈室頂棚用輕質壁板應具有一定的承重能力,以便施工、運行時人員行走。北京手術室潔凈室檢測服務