10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內；4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行控制的密閉性較好的空間。潔凈傳遞窗潔凈室檢測服務商

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確，使用過程中無滲漏發生，不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。江蘇消毒液凈化車間環境潔凈室檢測評估凈化空調系統設計應合理利用回風。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。

D.3.2靜壓差測試，應符合下列規定：1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區)時，應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應符合下列規定：1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應以5～20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。可燃氣體管道、氧氣管道的末端或極高點均應設置放散管。

C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合，上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規定的掃描速度，移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值：當讀數大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時，就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應停留持續測量一段時間，光度計獲得比較大讀數時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa。安徽靜電潔凈室檢測頻率

凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。潔凈傳遞窗潔凈室檢測服務商

D.3.10自凈時間檢測，應符合下列規定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數器進行檢測，同時應符合下列要求.1）以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機，定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次)，直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準時，應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心，發煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度（N。）。然后開機，方法同上。3由初始濃度(No)、室內達到穩定的濃度（N）、實際換氣次數(n)，可得到計算自凈時間(to），與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。潔凈傳遞窗潔凈室檢測服務商