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類金剛石薄膜（diamond-likecarbon,DLC）是一種亞穩態的非晶碳薄膜，具有一系列類似于金剛石的多種優異性能，如高硬度、低摩擦系數、高耐磨耐蝕性、高熱導率、在可見到紫外光范圍內透明、良好的絕緣性和化學穩定性、優異的生物兼容性及表面光滑等，可多用于機械、電子、光學、醫學等領域。本項目制備的類金剛石薄膜具有質量穩定，與基體結合強，硬度、彈性模量、摩擦系數和透光性可調控，耐摩擦磨損和熱穩定性好等綜合優良性能。制備工藝方法具有成膜速率高，可實現低溫、大面積沉積。所制備的類金剛石薄膜，與金剛石相比具有更高的性能價格比。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍...

DLC金剛石涂層是一種高性能的表面涂層，它是由碳和氫等元素組成的非晶態碳膜，具有極高的硬度、耐磨性、耐腐蝕性和抗氧化性能。DLC金剛石涂層可以應用于各種材料表面，包括金屬、塑料、陶瓷等，可以提高材料表面的硬度和耐磨性，延長使用壽命。此外，DLC金剛石涂層還具有良好的生物相容性和醫學應用潛力，可以用于醫療器械、人工關節等領域。金剛石涂層可以用于切割、磨削和加工各種材料，包括但不限于以下幾種：金屬材料：如鋼、鋁、銅、鐵等。硬質合金：如鎢鈷合金、鎢鋼等。陶瓷材料：如陶瓷、玻璃等。石材：如大理石、花崗巖等。塑料材料：如聚氨酯、聚酰亞胺等。纖維材料：如碳纖維、玻璃纖維等。木材：如硬木、軟木等。其他材料：...

類金剛石膜是一類性質類似于金剛石的具有多項質量性能的新型膜材料，它的面世是人類膜材料科學的一大進步。由于類金剛石膜的高耐磨性、低摩擦系數、熱穩定性、紅外透光性、高電阻、低介電常數及生物相容性，適合于多個領域的應用，同時類金剛石膜的制備方法簡單，使其引起人們的關注。我們來談談類金剛石膜的發現、結構和制備方法，介紹一下多層類金剛石膜在機械、光學、醫療、電子、航天等領域的應用，總結一下它的研究現狀和發展前景。隨著人類對金剛石的研究的深入和其應用的，人類對其的需求越來越大，但是，由于制備金剛石的工業化工藝條件比較難以實現，因此人們渴望能有一種可以替代金剛石的新材料。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進...

類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)涂層具有許多與金剛石涂層相似的優異性能,如高硬度,耐磨損,低摩擦系數,并具有良好化學穩定性,電絕緣性,光透性,耐腐蝕性以及生物相容性,其作為新型功能薄膜材料,在機械,電子,光學航天航空和生物相容性諸多領域具有***的應用.DLC 作為功能防護涂層,典型膜層厚度在1~5μm,在汽車制造業和航空航天領域等特殊應用領域膜層厚度需求可達10~50 μm左右.同時試驗表明,膜層越厚,涂層耐磨性能和抗腐蝕性能更優異,所以制備超厚DLC 涂層尤為迫切.然而,DLC 由于其高的內應力,厚度限制在10μm 以內,從而限制了DLC 涂層的應用類金剛石涂層怎...

近幾年來,在經濟全球化背景下,我國的制造業獲得了空前發展的機遇,而現代切削刀具成了提升制造業技術水平的關鍵因素之一,不斷提高的切削加工要求和被加工材料的能級以及減少切削加工對環境污染等有力地推動了用于現代切削刀具涂層技術的發展.膜系材料多元合金化,涂層工藝組合的多樣化中出現的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元復合涂層和多層涂使刀具獲得了高耐磨、低摩擦、熱穩定性好和抗氧化能力強等良好的綜合性能,有效提升了現代切削刀具的性能;納米組分和納米薄膜涂層的顯微結構使得難加工材料的切削得到了新的解決辦法;金剛石涂層和類金剛石涂層(DLC)在加工石墨零件和纖維增強等非金屬材料和有色合金材料方面取得了...

近幾年來,在經濟全球化背景下,我國的制造業獲得了空前發展的機遇,而現代切削刀具成了提升制造業技術水平的關鍵因素之一,不斷提高的切削加工要求和被加工材料的能級以及減少切削加工對環境污染等有力地推動了用于現代切削刀具涂層技術的發展.膜系材料多元合金化,涂層工藝組合的多樣化中出現的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元復合涂層和多層涂使刀具獲得了高耐磨、低摩擦、熱穩定性好和抗氧化能力強等良好的綜合性能,有效提升了現代切削刀具的性能;納米組分和納米薄膜涂層的顯微結構使得難加工材料的切削得到了新的解決辦法;金剛石涂層和類金剛石涂層(DLC)在加工石墨零件和纖維增強等非金屬材料和有色合金材料方面取得了...

增壓汽油發動機為例,在發動機活塞銷和氣門挺柱表面成功應用類金剛石(DLC)涂層,并系統考察了DLC涂層對零部件摩擦損失及可靠性的影響.試驗結果表明,氣門挺柱采用DLC涂層,氣門機構摩擦損失可以減少29%,平均摩擦有效壓力FMEP降低0.03bar;活塞銷表面采用DLC涂層,活塞組摩擦損失可以減少11%,平均摩擦有效壓力FMEP降低0.055bar.DLC活塞銷和DLC氣門挺柱均通過450小時標準耐久試驗循環試驗,表面DLC涂層未出現大面積脫落想象.DLC涂層可以顯著提高零部件表面耐磨性,磨損量明顯低于原機無涂層零部件. 上海英屹涂層技術有限公司能夠提供專業的涂層研發 個性化的涂層解決方案。類金...

為實現低摩擦和高燃油效率,大多數提升式配氣機構的發動機采用類金剛石碳(DLC)涂層挺桿.但是,由于低黏度機油的使用和更高的發動機輸出功率要求,使得摩擦學環境變得更為嚴苛,因而對涂層的堅固耐用性提出了更高的要求.為獲得較高的涂層效率并提高耐磨性,利用等離子體輔助化學氣相沉積法開發了添加5％～9％Si的Si-DLC涂層挺桿,盡管Si-DLC硬度和粘著力等機械性能有所下降,但其熱穩定性和耐磨性比DLC涂層有極大提高.Si阻礙了DLC涂層的石墨化,涂層表面的薄層氧化硅起到了阻礙氧化或快速導熱的作用.上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍DLC類金剛石涂層的PE-CVD...

類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)涂層具有許多與金剛石涂層相似的優異性能,如高硬度,耐磨損,低摩擦系數,并具有良好化學穩定性,電絕緣性,光透性,耐腐蝕性以及生物相容性,其作為新型功能薄膜材料,在機械,電子,光學航天航空和生物相容性諸多領域具有***的應用.DLC 作為功能防護涂層,典型膜層厚度在1~5μm,在汽車制造業和航空航天領域等特殊應用領域膜層厚度需求可達10~50 μm左右.同時試驗表明,膜層越厚,涂層耐磨性能和抗腐蝕性能更優異,所以制備超厚DLC 涂層尤為迫切.然而,DLC 由于其高的內應力,厚度限制在10μm 以內,從而限制了DLC 涂層的應用浙江類金剛石涂...

研究結果表明，采用射頻等離子體增強化學氣相沉積方法，可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜與基材之間存在較大的內應力，薄膜牢度較小，易剝落，且不耐磨。用旋轉磁控電弧離子鍍技術，在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過渡層，然后再用射頻等離子體化學氣相沉積(rfPEVCD)方法在過渡層上制備了DLC薄膜，發現所制備的DLC碳膜的附著牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍DLC類金剛石涂層的PE-CVD設備技術設備制備的膜層硬度高，摩擦系數低，結合力好，耐腐蝕性耐磨性能優異的膜層?？梢詽M足國內外...

DLC薄膜的制備方法：利用化學氣相沉積制備的DLC薄膜膜層致密，和基體結合力好。某些特殊薄膜還具有特異的光學、點穴和熱血等各種物理和化學性能，這類膜層表現出許多優點，包括膜厚比較均勻，膜層質量穩定，繞鍍性好且易于實現批量生產，因此得到了廣泛應用。從沉積條件看，要實現氣體與基體界面的化學反應，在沉積反應過程中必須有一定的開啟能。按照開啟方式的不同，可以分為熱絲化學氣相沉積（HFCVD）、直接光化學氣相沉積（DPCVD）和等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）等幾種方式。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍DLC類金剛石涂層的PE-CVD設備技術設備制備的膜層硬...

不同刀具材料對碳纖維復合材料的加工有較大的影響.通過合理選擇鉆頭的基體材料和涂層材料,基于正交試驗綜合分析不同涂層材料、主軸轉速及進給速度對鉆削軸向力的影響.試驗結果表明,涂層材料對軸向力的影響比較大,涂層鉆頭的鉆削軸向力比無涂層YG6X鉆頭小很多,類金剛石涂層(DLC)鉆頭較小.TiAIN和TiCN涂層鉆頭都有不同程度的磨損,DLC鉆頭的耐磨性和加工質量都遠遠高于其他涂層.上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍DLC類金剛石涂層的PE-CVD設備技術設備制備的膜層硬度高，摩擦系數低，結合力好，耐腐蝕性耐磨性能優異的膜層?？梢詽M足國內外不同客戶對膜層的多樣性要...

類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)涂層具有許多與金剛石涂層相似的優異性能,如高硬度,耐磨損,低摩擦系數,并具有良好化學穩定性,電絕緣性,光透性,耐腐蝕性以及生物相容性,其作為新型功能薄膜材料,在機械,電子,光學航天航空和生物相容性諸多領域具有***的應用.DLC 作為功能防護涂層,典型膜層厚度在1~5μm,在汽車制造業和航空航天領域等特殊應用領域膜層厚度需求可達10~50 μm左右.同時試驗表明,膜層越厚,涂層耐磨性能和抗腐蝕性能更優異,所以制備超厚DLC 涂層尤為迫切.然而,DLC 由于其高的內應力,厚度限制在10μm 以內,從而限制了DLC 涂層的應用鹽霧腐蝕對DL...

為研究磁過濾陰極電弧沉積無氫類金剛石(Ta-C)涂層及氣相沉積含氫類金剛石(含氫DLC)涂層的成分、結構及力學特性,以及兩種涂層對刀具高速切削鋁合金性能的影響.采用高分辨率的顯微鏡觀察膜層的表面形貌;Raman光譜分析sp2/sp3鍵角混亂度和sp2團簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例關系;納米壓痕儀測量膜層的硬度;高速銑削實驗表征涂層刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工質量.結果表明,Ta-C涂層表面致密光滑,表面顆粒細小,無明顯凹坑,結合力分別滿足工業等級HF1和HF2.在高速、干式切削鋁合金條件下,Ta-C涂層銑刀的切削壽命是含氫DLC涂層銑刀的鋁合金材料粘附效果更佳,切...

類金剛石薄膜在模具領域的應用。物相沉積法是在真空中利用熱蒸發或輝光放電、弧光放電等物理過程，在基體表面沉積一層所需要的固態薄膜或涂層的技術。物相沉積涂層技術現在已被廣泛應用于歐美等地的模具制造業，如沖壓拉伸、成形、鐘表外殼模具及精密零配件等，涂層處理可以增加工件硬度、抗磨力和降低摩擦系數，從而延長工件壽命。目前主要的涂層包括TiN、TiCN、CrN等，每種涂層各有其不同的特性和用途。應用化學氣相沉積方法將TiC、TiN等涂覆于刃具、模具及各種耐磨結構零件表面上，獲得幾個微米厚的涂層。以上幾種硬質涂層基本具備低的滑動摩擦系數、高的抗磨能力、高的抗接觸疲勞能力及高的表面強度，保證表面具有足夠的尺寸...

多年來，對需要提高涂層光潔度的解決方法是采用過濾式電弧氣相沉積工藝。該方法采用磁場過濾器來駕馭碳離子轟擊刀具，而中性的碳顆粒卻不受控制而轟擊磁場管道。陰極與真空腔的夾角小于90°。碳顆粒將沿直線運動而轟擊彎曲的磁場管道，而碳離子將在磁場的作用下沿管道抵達基體材料。該方法的缺點是沉積速度相對較慢、沉積區域相對較小，以及每次沉積的設備成本較高。此外，一些碳顆粒仍可在管道內偏轉并抵達基體材料。大約10年前，出現了一種新的沉積工藝：高功率脈沖磁控濺射（HiPIMS）。采用HiPIMS工藝，可同時兼得離子產生和獲得光滑濺射涂層的益處。但直到比較近這種方法才可使用石墨靶。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先...

涂層的耐磨性是涂層在實際工業生產中應用的關鍵,而涂層的硬度、韌性、膜/基結合力等性能都對其耐磨性有極為重要的影響。本文選擇Ti-Si-C-N涂層、類金剛石(Diamond-like carbon, DLC)涂層以及含有SiC/DLC過渡層的類金剛石涂層作為研究對象,旨在研究涂層的硬度、彈塑性變形能力、韌性、膜/基結合力與耐磨性之間的關系。利用EDX, SEM、XRD和Raman對Ti-Si-C-N涂層、不含過渡層的DLC涂層和含有SiC/DCL過渡層的DLC涂層的成分和結構進行了表征,評價三種涂層的顯微硬度、彈塑性變形能力、韌性、膜/基結合力和摩擦磨損性能。通過實驗,探討了Ti-Si-C-N涂...

類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學惰性、沉積溫度低、膜面光滑，可以將其作為一些電子產品的保護膜。如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護層、不僅能有效的減少機械損傷，又不影響數據存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能，且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜，不僅可以避免操作過程中的機械損傷，還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法，且同時不會破壞薄膜的表面，所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質材料。類金剛石膜在微電子領域的應用，逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜...

如何制備性能優異的超厚DLC 涂層成為亟待解決的科學性難題.另為,DLC 涂層在高溫條件下,由于涂層的石墨化,涂層的摩擦學性能將會變差,在實際應用中,如何改善其高溫摩擦性能(溫度至少達400 ℃),是DLC 涂層得以廣泛應用的另一重要指標.本文利用等離子體化學氣相沉積法,制備了摻硅的超厚多層DLC 涂層并研究了其在不同環境條件下(包括高溫)的摩擦學性能.結果表明,超厚DLC 涂層表面光滑,無明顯缺陷,與基底之間的附著力和承載能力分別高達40N 和3.5GPa.什么是類金剛石薄膜-更多詳情歡迎咨詢：上海英屹涂層技術有限公司！嘉定區刃具類金剛石價格DLC類金剛石(diamond—likecarbo...

以氬氣-甲烷為輔助氣體制備的類金剛石薄膜中sp3雜化鍵的含量比以氬氣-乙炔為輔助氣體制備的類金剛石薄膜的高.納米壓痕測試結果表明,以氬氣-甲烷為輔助氣體制備的類金剛石薄膜的納米硬度比以氬氣-乙炔為輔助氣體的高.原子力顯微鏡測試結果表明,以氬氣-甲烷為輔助氣體制備的類金剛石薄膜的RMS表面粗糙度比以氬氣-乙炔為輔助氣體的低.以上結果說明輔助氣體組成對類金剛石薄膜的鍵結構、機械性能、表面形貌有較大的影響.上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍DLC類金剛石涂層的PE-CVD設備技術設備制備的膜層硬度高，摩擦系數低，結合力好，耐腐蝕性耐磨性能優異的膜層?？梢詽M足國內...

熱泵、空調和制冷系統中需尋找新的、環保的制冷工質,CO2作為自然制冷工質在熱泵系統中受到人們的關注,但CO2冷媒由于其運行壓力高,在旋轉式壓縮機運用中需解決滑片磨耗大的問題。本文通過在滑片上進行DLC膜涂層,研究滑片上DLC涂層的各種特性,并通過壓縮機實機進行耐久試驗。結果表明,通過控制DLC涂層的工藝,可以得到低摩擦系數、高硬度的耐磨滑片,滿足CO2壓縮機的使用需要。上海英屹涂層技術有限公司能夠提供涂層研發 個性化的涂層解決方案。鹽霧腐蝕對DLC薄膜摩擦學性能的影響。松江區金剛石類金剛石廠家類金剛石(DLC)膜良好耐磨損、耐腐蝕等性能為研發高壽命人工關節提供了新希望。分別綜述了采用常規摩擦學...

DLC膜的成分、結構和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms，簡稱DLC膜)作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等，可用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域，具有良好的應用前景。我們開發了等離子體-離子束源增強沉積系統，并同過該系統中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發。該項技術用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用于摩擦、光學功能等用途。目前在我國技術正處于發展和完善階段，有巨大市場潛力。上海英屹涂層技術有限公司提供各種PVDCVD涂層。浦東類金剛石涂層的廠家...

類金剛石膜是一類性質類似于金剛石的具有多項質量性能的新型膜材料，它的面世是人類膜材料科學的一大進步。由于類金剛石膜的高耐磨性、低摩擦系數、熱穩定性、紅外透光性、高電阻、低介電常數及生物相容性，適合于多個領域的應用，同時類金剛石膜的制備方法簡單，使其引起人們的關注。我們來談談類金剛石膜的發現、結構和制備方法，介紹一下多層類金剛石膜在機械、光學、醫療、電子、航天等領域的應用，總結一下它的研究現狀和發展前景。隨著人類對金剛石的研究的深入和其應用的，人類對其的需求越來越大，但是，由于制備金剛石的工業化工藝條件比較難以實現，因此人們渴望能有一種可以替代金剛石的新材料。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進...

介紹了采用物理相沉積(PVD)技術制備類金剛石涂層的方法,、具有良好的熱傳導率、極低的摩擦系數、優異的電絕緣性能等.類金剛石薄膜(DLCFilms)是近年來興起的一種以sp3和sp2鍵的形式結合生成的亞穩態材料,因其優異的減摩和抗磨性能,在摩擦學領域獲得了應用,是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料.DLC涂層的性能研究大多集中在它的摩擦學特性和結合力性能,并且作為的涂層材料已被應用于汽車、模具、刀具等領域.上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍DLC類金剛石涂層的PE-CVD設備技術設備制備的膜層硬度高，摩擦系數低，結合力好，耐腐蝕性耐磨性能優異的膜層。可...

類金剛石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)發現于20世紀70年代，是一系列含有sp3和sp2鍵的非晶碳膜，它有著和金剛石膜非常接近的性質——高硬度、高彈性模量、耐磨損、低摩擦系數、高電阻率、高透光率和高化學穩定性等。因此，類金剛石薄膜技術被廣泛應用到機械、電子、光學和醫學等各個領域。摻雜的DLC膜是一種非晶半導體材料，禁帶寬度可以在1—4eV之間調制，可大面積生長，材料自身和加工過程環保，在光電探測領域的運用具有非常大的潛力。但目前DLC半導體摻雜尚無法獲得n型或者p型DLC半導體材料。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多弧離子鍍設備,磁控濺射鍍設備和鍍DLC類金剛石涂...

類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)涂層具有許多與金剛石涂層相似的優異性能,如高硬度,耐磨損,低摩擦系數,并具有良好化學穩定性,電絕緣性,光透性,耐腐蝕性以及生物相容性,其作為新型功能薄膜材料,在機械,電子,光學航天航空和生物相容性諸多領域具有***的應用.DLC 作為功能防護涂層,典型膜層厚度在1~5μm,在汽車制造業和航空航天領域等特殊應用領域膜層厚度需求可達10~50 μm左右.同時試驗表明,膜層越厚,涂層耐磨性能和抗腐蝕性能更優異,所以制備超厚DLC 涂層尤為迫切.然而,DLC 由于其高的內應力,厚度限制在10μm 以內,從而限制了DLC 涂層的應用類金剛石的用處...

類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學惰性、沉積溫度低、膜面光滑，可以將其作為一些電子產品的保護膜。如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護層、不僅能有效的減少機械損傷，又不影響數據存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能，且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜，不僅可以避免操作過程中的機械損傷，還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法，且同時不會破壞薄膜的表面，所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質材料。類金剛石膜在微電子領域的應用，逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜...

DLC具有較高的抗磨損性和化學惰性，將其應用于一些醫用材料上，可以增加材料的使用壽命。比如聚乙烯的人工骨骼關節上沉積一層類金剛石膜增強了人工關節的耐磨性，其抗磨損性能就可以和陶瓷和金屬的制品相比了；Ti-Ni形狀記憶合金，是用于骨科內固定機械，如果在其表面鍍一層類金剛石膜，使其具有良好的生物學摩擦特性和良好的抗氧化性；在鈦制品人工心臟瓣膜上鍍上類金剛石膜DLC，它表現出了較好的的表面光滑性和疏水性。類金剛石膜DLC具有良好的生物相容性，許多實驗都發現它對蛋白質的吸附率高，對血小板的吸附率低，可以在不影響主體特征前提下，從多種途徑促進材料表面生成具有活性的功能簇，從而減少了血液凝固，使生物組織和...

類金剛石（DLC）涂層的主要成份是碳，是一種兼有高硬度與優異摩擦性能的非晶體硬質薄膜由石墨(SP2)與金剛石（SP3）組成。由于其優異的摩擦性能，在工業上得到較多應用。特別是在無潤滑劑情況下，摩擦系數也很低(μ=～)。主要應用于汽車零部件發動機活塞缸體需要高速旋轉的螺桿表面切削的刀具表面應用范圍十分較多DLC涂層的高硬度低摩擦性能突出DLC涂層具有一定的自潤滑性是現代工業必不可少的涂層之一。上海英屹涂層技術有限公司引進美國先進涂層設備是國內少數能做PE-CVD的企業涂層性能優越膜厚1um-60um.摩擦系數小于加工范圍廣能滿足很多PVD涂層做不到的領域。上海英屹涂層技術有限公司引進國外先進的多...

類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)涂層具有許多與金剛石涂層相似的優異性能,如高硬度,耐磨損,低摩擦系數,并具有良好化學穩定性,電絕緣性,光透性,耐腐蝕性以及生物相容性,其作為新型功能薄膜材料,在機械,電子,光學航天航空和生物相容性諸多領域具有***的應用.DLC 作為功能防護涂層,典型膜層厚度在1~5μm,在汽車制造業和航空航天領域等特殊應用領域膜層厚度需求可達10~50 μm左右.同時試驗表明,膜層越厚,涂層耐磨性能和抗腐蝕性能更優異,所以制備超厚DLC 涂層尤為迫切.然而,DLC 由于其高的內應力,厚度限制在10μm 以內,從而限制了DLC 涂層的應用上海類金剛石涂...