由于半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)精度的要求極高,任何微小的誤差都可能導(dǎo)致整批產(chǎn)品的報(bào)廢,因此治具的設(shè)計(jì)和制造需要極高的精確度。而石墨作為一種具有優(yōu)異性能...
其他相關(guān)領(lǐng)域的應(yīng)用除了上述幾個(gè)主要應(yīng)用領(lǐng)域外,石墨治具還在封裝、測(cè)試和其他后處理環(huán)節(jié)中發(fā)揮作用。在這些領(lǐng)域中,治具可能需要提供絕緣、防潮、抗...
在20世紀(jì)80年代,半導(dǎo)體石墨治具的應(yīng)用范圍進(jìn)一步擴(kuò)大。當(dāng)時(shí),半導(dǎo)體制造業(yè)已經(jīng)進(jìn)入了高度自動(dòng)化的階段,半導(dǎo)體石墨治具也得到了自動(dòng)化和智能化的...
半導(dǎo)體石墨治具的應(yīng)用領(lǐng)域:1.晶圓加工:在光刻、蝕刻、擴(kuò)散等過(guò)程中定位和固定晶圓。2.熱處理:用于晶圓的氧化、退火、擴(kuò)散等熱處理過(guò)程。3.離...