【真空鍍膜反應磁控濺射法】: 制備化合物薄膜可以用各種化學氣相沉積或物理qi相沉積方法。但目前從工業大規模生產的要求來看,物理qi相沉積中的反應磁控濺射沉積技術具有明顯的優勢,因而被guang泛應用,這是因為: 1、反應磁控濺射所用的靶材料(單元素靶或多元素靶)和反應氣體(氧、氮、碳氫化合物等)通常很容易獲得很高的純度,因而有利于制備高純度的化合物薄膜。 2、反應磁控濺射中調節沉積工藝參數,可以制備化學配比或非化學配比的化合物薄膜,從而達到通過調節薄膜的組成來調控薄膜特性的目的。 3、反應磁控濺射沉積過程中基板溫度一般不會有很大的升高,而且成膜過程通常也并不要求對基板進行很高溫度的加熱,因此對...
【光學薄膜理論基礎】: 光學薄膜基本上是借由干涉作用而達到效果的。是在光學元件上或獨li的基板上鍍一層或多層的介電質膜或金屬膜或介電質膜或介電質膜與金屬膜組成的膜堆來改變廣播傳到的特性。因此波在薄膜中行進才會發生投射、反射、吸收、散射、相位偏移等變化。 光波經過薄膜后在光譜上會起變化,因此這些變化會使得光學薄膜至少具有下列功能: &反射的提高或穿透的降低 &反射的降低或穿透的提高 &雙色、偏極光的分光作用 &光譜帶通或戒指等濾光作用 &輻射器之光通量調整 &光電資訊的儲存及輸入電子束蒸發真空鍍膜設備是什么?浙江金屬真空鍍膜設備【真空鍍膜真空濺射法】: 真空濺射法是物理qi相沉積法中的后起之秀。...
【磁控濺射鍍膜的歷史】: 磁控濺射技術作為一種十分有效的薄膜沉積方法,被普遍地應用于許多方面,特別是在微電子、光學薄膜和材料表面處理等領域。1852年Grove首ci描述濺射這種物理現象,20世紀40年代濺射技術作為一種沉積鍍膜方法開始得到應用和發展。60年代后隨著半導體工業的迅速崛起,這種技術在集成電路生產工藝中,用于沉積集成電路中晶體管的金屬電極層,才真正得以普及和guang泛的應用。磁控濺射技術出現和發展,以及80年代用于制作CD的反射層之后,磁控濺射技術應用領域得到極大地擴展,逐步成為制造許多產品的一種常用手段。 【磁控濺射原理】: 電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生...
【真空鍍膜設備之真空的測量】: 真空計: A、熱偶規、皮拉尼規、對流規: 用來測粗真空的真空計,從大氣到1E&5Torr,精度一般在10%,皮拉尼規精度高的可到5%, 反應較慢,受溫度變化的影響較大。 B、離子規: 用來測高真空或超高真空的真空計,熱燈絲的離子規測量范圍一般從1E&4到1E&9Torr,特殊的有些甚至可以低到&10甚至&11Torr,精度在10%~20%,燈絲在工作時遇到大氣會燒毀;冷陰極的離子規一般可以測到1E&11Torr,精度在20%~50%,特別是超高真空下測量精度很差,需要高壓電源,探頭內有磁鐵,使用時不能用于某些無磁的場合。 C、電容式壓力計: 探頭Zui大壓力從2...
【真空鍍膜設備之低溫泵】: 低溫泵:低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦制冷機低溫泵兩種。主要用于高真空或超高真空,屬于干泵,工作方式為氣體捕集。極限真空&6~&9Torr。 用低溫介質將抽氣面冷卻到20K 以下,抽氣面就能大量冷凝沸點溫度比該抽氣面溫度高的氣體,產生很大的抽氣作用。這種用低溫表面將氣體冷凝而達到抽氣目的的泵叫做低溫泵,或稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Zui大、極限壓力Zui低的清潔真空,guang泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。 真空鍍膜設備抽真空步驟。浙江耐爾亮真空鍍膜設備【真空鍍膜...
【離子鍍膜法之射頻離子鍍】: 射頻離子鍍(RFIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠射頻等離子體放電使充入的真空Ar及其它惰性氣體、反應氣體氧氣、氮氣、乙炔等離化。這種方法的特點是:基板溫升小,不純氣體少,成膜好,適合鍍化合物膜,但匹配較困難。可應用于鍍光學器件、半導體器件、裝飾品、汽車零件等。射頻離子鍍膜設備對周遭環境沒有不利影響,符合現代綠色制造的工業發展方向。目前,該類型設備已經guang泛用在硬質合金立銑刀、可轉位銑刀、焊接工具、階梯鉆、鉆頭、鉸刀、油孔鉆、車刀、異型刀具、絲錐等工具的鍍膜處理上。 此外,離子鍍法還包括有低壓等離子體離子鍍,感應離子加熱鍍,集團離子束鍍和多弧離子鍍...
【真空蒸鍍的歷史】:1857年Michael FaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油擴散式真空泵實用化、蒸鍍主要用于制作鏡片防反射膜。第二次世界大戰時,其他的光學機器對材料的需求提高,真空蒸鍍也因此快速發展。 【真空蒸鍍的原理】:在真空狀態下,加熱蒸發容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉積在目標物體表面,形成固態薄膜。依蒸鍍材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 誘導、雷射等加熱方式。蒸鍍材料有鋁、亞鉛、金、銀、白金、鎳等金屬材料與可產生光學特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2 等氧化物與氟化物。蒸鍍除金屬外,樹脂與玻璃也可以使用、近...
【離子鍍膜法之直流二極型(DCIP)】: 直流二極型(DCIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;被鍍基體作為陰極,利用高電壓直流輝光放電將充入的氣體氬(Ar)(也可充少量反應氣體)離化。這種方法的特點是:基板溫升大、繞射性好、附著性好,膜結構及形貌差,若用電子束加熱必須用差壓板;可用于鍍耐腐蝕潤滑機械制品。 【離子鍍膜法之多陰極型】: 多陰極型:利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠熱電子、陰極發射的電子及輝光放電使充入的真空惰性氣體或反應氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,有時需要對基板加熱;可用于鍍精密機械制品、電子器件裝飾品。 真空鍍膜設備廠家排名。遼寧真空鍍膜設備機械【光譜分光不良...
【真空鍍膜機概述】: 真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子搶加熱蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。 真空鍍膜機構造的五大系統:排氣系統、控制系統、蒸鍍系統、監控系統、輔助系統。 真空鍍膜三要素:真空度、抽氣時間、溫度;任何鍍膜工藝都需要為這三個要素設定目標值;因此,只有當三個條件同時滿足時,自動化程序才會自動運行。 真空鍍膜機需要做定期定期保養,目的在于:讓鍍膜機能長時間地正常運轉;降低故障時間,避免影響產能,減少損失;提高機器精度,穩定品質;加快抽氣速度,提升機器利...
【光譜分光不良的補救(補色)之停電】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經測試分光不良,此類不良主要按六節所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發現錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續努力補救。后續方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之停電: 對于停電這種情況,比較好處理,只要確認前面鍍的沒錯,程序沒有用錯,就可以繼續原來的程序,要注意的是:如果某一層鍍了一部分繼續鍍下去時,交接處要減少一些膜厚(根據膜料、蒸發速率決定減少多少,一般時0.2~1nm左右),如果該層剩下的膜厚不足15~20秒蒸鍍時,...
【真空鍍膜之真空的概念】: “真空”是指在給定空間內低于一個大氣壓力的氣體狀態,也就是該空間內氣體分子密度低于該地區大氣壓的氣體分子密度。不同的真空狀態,就意味著該空間具有不同的分子密度。在標準狀態(STP:即0℃,101325Pa,也就是1標準大氣壓,760Torr)下,氣體的分子密度為2.68E24/m3,而在真空度為1.33E&4 Pa(1E&6Torr)時,氣體的分子密度只有3.24E16/m3。完全沒有氣體的空間狀態為Jue對真空。Jue對真空實際上是不存在的。廣東真空鍍膜設備廠家。云南塑膠注塑成型真空鍍膜設備【離子鍍膜法之直流二極型(DCIP)】: 直流二極型(DCIP):利用電阻...
【真空鍍膜真空蒸發鍍膜原理】: 真空蒸發法的原理是:在真空條件下,用蒸發源加熱蒸發材料,使之蒸發或升華進入氣相,氣相粒子流直接射向基片上沉積或結晶形成固態薄膜;由于環境是真空,因此,無論是金屬還是非金屬,在這種情況下蒸發要比常壓下容易得多。真空蒸發鍍膜是發展較早的鍍膜技術,其特點是:設備相對簡單,沉積速率快,膜層純度高,制膜材料及被鍍件材料范圍很廣,鍍膜過程可以實現連續化,應用相當guang泛。按蒸發源的不同,主要分為:電阻加熱蒸發、電子束蒸發、電弧蒸發和激光蒸發等。 真空鍍膜設備是什么?天津ito真空鍍膜設備【真空鍍膜設備的分類】: 這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜內色斑】: 色斑(也稱膜色亞克、燒蝕)是指鏡片上的膜色局部變異。有膜內色斑和膜外色斑二種。 膜內色斑改善對策: 1. 加快研磨(拋光)到鍍膜的周期,減少鏡片被污染服飾的幾率,注意:是鏡片的全部拋光面。 2. 拋光加工中,注意對另一已拋好光的面保護 3. 注意拋光加工中的工裝、夾具、加工方法,以免造成對鏡片表面局部腐蝕傷害 4. 拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜志附著干結。 5. 控制研磨拋光液的PH值 6. 鍍膜前,用拋光粉或碳酸鈣粉對鏡片拋光面復新。 7. 加強鍍前的離子轟擊 8. 對于可見光區減反膜,在滿足技術要求的前提下設...
【離子鍍膜法之活性反應蒸鍍法】: 活性反應蒸鍍法(ABE):利用電子束加熱使膜材氣化;依靠正偏置探極和電子束間的低壓等離子體輝光放電或二次電子使充入的氧氣、氮氣、乙炔等反應氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,要對基板加熱,蒸鍍效率高,能獲得三氧化鋁( AL2O3)、氮化鈦(TiN)、碳化鈦(TiC)等薄膜;可用于鍍機械制品、電子器件、裝飾品。 【離子鍍膜法之空心陰極離子鍍(HCD)】: 空心陰極離子鍍(HCD):利用等離子電子束加熱使膜材氣化;依靠低壓大電流的電子束碰撞使充入的氣體Ar或其它惰性氣體、反應氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,要對基板加熱,離化率高,電子束斑較大,能鍍金屬...
【真空鍍膜機概述】: 真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子搶加熱蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。 真空鍍膜機構造的五大系統:排氣系統、控制系統、蒸鍍系統、監控系統、輔助系統。 真空鍍膜三要素:真空度、抽氣時間、溫度;任何鍍膜工藝都需要為這三個要素設定目標值;因此,只有當三個條件同時滿足時,自動化程序才會自動運行。 真空鍍膜機需要做定期定期保養,目的在于:讓鍍膜機能長時間地正常運轉;降低故障時間,避免影響產能,減少損失;提高機器精度,穩定品質;加快抽氣速度,提升機器利...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之灰點臟】: 現象:鏡片膜層表面或內部有一些電子(不是膜料點),有些可擦除,有些不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。 原因: 1. 真空室臟 2. 鏡圈或碟片臟 3. 鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。 4. 鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。 改善思路:杜絕灰塵源 1. 工作環境改造成潔凈車間,嚴格按潔凈車間規范實施。 2. 盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。 3. 真空室周期打掃,保持清潔。 真空鍍膜設備日常怎么維護?廣西真空鍍膜設備代理【真空鍍膜反應磁控濺射法】: 制備化合物薄膜可以...
【真空鍍膜設備撿漏方法】: 檢漏方法很多,根據被檢件所處的狀態可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。 充壓檢漏法:在被檢件內部充入一定壓力的示漏物質,如果被檢件上有漏孔,示漏物質便從漏孔漏出,用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測出從漏孔漏出的示漏物質,從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小,此即充壓檢漏法。 真空檢漏法:被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態,在被檢件的外部施加示漏物質,如果有漏孔,示漏物質就會通過漏孔進入被檢件和敏感元件的空間,由敏感元件檢測出示漏物質,從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,這就是真空檢漏法。 其它檢漏法:被檢件既不充壓也不抽真空,或其外部受壓等方法歸入其它...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之單片膜色不均勻】: 原因:主要是由于基片凹凸嚴重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發源構成的蒸發角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。另外鏡片被鏡圈(碟片)邊緣部遮擋、鏡圈(碟片)臟在蒸鍍時污染鏡片等也會造成膜色差異問題。 改善對策:改善鏡片邊緣的蒸發角 1. 條件許可,用行星夾具 2. 選用傘片平坦(R大)的機臺 3. 根據傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。 4. 如果有可能,把蒸發源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。 5. 改善鏡圈(碟片),防止遮擋。 6. 注意旋轉傘架的相應部位對...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之破邊、炸裂】: 一般的鍍膜會對基片加熱,由于基片是裝架在金屬圈、碟內,由于鏡圈或碟片與鏡片(基片)的熱膨脹系數不一致,冷卻過程中會造成鏡片的破便或炸裂。 有些大鏡片,由于出罩時的溫度較高,與室溫的溫差較大,鏡片的熱應力作用造成鏡片炸裂或破邊。有些零件邊緣倒邊的形狀容易造成卡圈而破邊。 改善對策: 1. 夾具(鏡圈、碟片)的設計,在尺寸配合上要合理,充分考慮制造誤差帶來的影響。 2. 注意鏡圈、碟片的變形,已經變形的夾具不能使用。 3. 選用合適的夾具才來哦(非導磁材料、不生銹、耐高溫不變性),不銹鋼較為理想(熱變形系數小),就是加工難度大,價格貴。 4. ...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜外自霧】: 現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙tong或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕。 可能成因有: 1. 膜結構問題,外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙 2. 蒸發角過大,膜結構粗糙 3. 溫差:鏡片出罩時內外溫差過大 4. 潮氣:鏡片出罩后擺放環境的潮氣 5. 真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重 6. 蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻。 7. 膜與膜之間的應力 改善思路:膜外白霧成因很多但各有特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。 改善對策: 1. ...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜外自霧】: 現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙tong或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕。 可能成因有: 1. 膜結構問題,外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙 2. 蒸發角過大,膜結構粗糙 3. 溫差:鏡片出罩時內外溫差過大 4. 潮氣:鏡片出罩后擺放環境的潮氣 5. 真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重 6. 蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻。 7. 膜與膜之間的應力 改善思路:膜外白霧成因很多但各有特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。 改善對策: 1. ...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜外自霧】: 現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙tong或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕。 可能成因有: 1. 膜結構問題,外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙 2. 蒸發角過大,膜結構粗糙 3. 溫差:鏡片出罩時內外溫差過大 4. 潮氣:鏡片出罩后擺放環境的潮氣 5. 真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重 6. 蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻。 7. 膜與膜之間的應力 改善思路:膜外白霧成因很多但各有特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。 改善對策: 1. ...
【離子鍍膜法之直流二極型(DCIP)】: 直流二極型(DCIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;被鍍基體作為陰極,利用高電壓直流輝光放電將充入的氣體氬(Ar)(也可充少量反應氣體)離化。這種方法的特點是:基板溫升大、繞射性好、附著性好,膜結構及形貌差,若用電子束加熱必須用差壓板;可用于鍍耐腐蝕潤滑機械制品。 【離子鍍膜法之多陰極型】: 多陰極型:利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠熱電子、陰極發射的電子及輝光放電使充入的真空惰性氣體或反應氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,有時需要對基板加熱;可用于鍍精密機械制品、電子器件裝飾品。 真空鍍膜設備國內有哪些產商?河北卷繞真空鍍膜設備【真空鍍...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜臟】: 顧名思義,膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟也可以包括:灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。 改善對策:檢討過程,杜絕臟污染。 1. 送交洗凈或擦拭的鏡片不要有過多的不良附著物。 2. 加強鍍前鏡片的洗凈率或擦凈率。 3. 改善上傘后待鍍膜鏡片的擺放環境,防止污染。 4. 養成上傘作業員的良好習慣,防止鏡片污染。 5. 加快真空室護板更換周期。 6. 充氣管道清潔,防止氣體充入時污染。 7. 初始排期防渦流(湍流),初始充氣防過充。 8. 鏡片擺放環境和搬運過程中避免油污、水汽。 9. 工作環境改造成潔凈車間。 10. 將鍍膜機作業面板和...
【濺射鍍膜定義】: 定義:所謂濺射,就是這充滿腔室的工藝氣體在高電壓的作用下,形成氣體等離子體(輝光放電),其中的陽離子在電場力作用下高速向靶材沖擊,陽離子和靶材進行能量交換,使靶材原子獲得足夠的能量從靶材表面逸出(其中逸出的還可能包含靶材離子)。這一整個的動力學過程,就叫做濺射。入射離子轟擊靶面時,將其部分能量傳輸給表層晶格原子,引起靶材中原子的運動。有的原子獲得能量后從晶格處移位,并克服了表面勢壘直接發生濺射;有的不能脫離晶格的束縛,只能在原位做振動并波及周圍原子,結果使靶的溫度升高;而有的原子獲得足夠大的能量后產生一次反沖,將其臨近的原子碰撞移位,反沖繼續下去產生高次反沖,這一過程稱為級...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜色差異】: 膜色差異有兩種(不含色斑),一種時整罩上、中、下膜色不一致,即分光測試曲線有差異;二是單片膜色不一致。 改善對策: 1. 調整修正版,盡量考慮高低折射率膜料的平衡兼容,如果有兩個蒸發源,可能的條件下,獨li使用各自的修正板,避免干擾。 2. 條件許可,采用行星夾具。 3. 傘片整形。 4. 加強傘片管理。 5. 改善膜料狀況 6. 能夠自動預熔的膜料,盡量自動預熔 注:修正板對物理膜厚的修正有效,但對折射率的修正是力不從心的,所以完全靠修正板解決分光均勻性,是很困難的。如果一個修正板對應二把電子搶(蒸發源)、以及多種膜料,就會有較大困難。 真...
【真空鍍膜反應磁控濺射法】: 制備化合物薄膜可以用各種化學氣相沉積或物理qi相沉積方法。但目前從工業大規模生產的要求來看,物理qi相沉積中的反應磁控濺射沉積技術具有明顯的優勢,因而被guang泛應用,這是因為: 1、反應磁控濺射所用的靶材料(單元素靶或多元素靶)和反應氣體(氧、氮、碳氫化合物等)通常很容易獲得很高的純度,因而有利于制備高純度的化合物薄膜。 2、反應磁控濺射中調節沉積工藝參數,可以制備化學配比或非化學配比的化合物薄膜,從而達到通過調節薄膜的組成來調控薄膜特性的目的。 3、反應磁控濺射沉積過程中基板溫度一般不會有很大的升高,而且成膜過程通常也并不要求對基板進行很高溫度的加熱,因此對...
【真空鍍膜設備的分類】: 這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設備和化學沉積設備。現在這樣回答也是沒錯的,但現在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應用領域上可以分成以下幾類: 傳統光學器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設備:單腔體或多腔體蒸發式鍍膜設備,濺射式鍍膜設備。 新材料領域的柔性設備:卷對卷柔性鍍膜設備。 光通訊行業:離子束濺射鍍膜設備。 半導體及相似工藝:化學氣相沉積設備。 功能膜:多弧離子鍍設備,濺射設備,蒸發設備 玻璃工藝:濺射式連續線 其余的就得歸到“工藝定制設備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設備,太陽能的共蒸發設備,光纖鍍膜設備,太陽能管設備等...
【真空鍍膜設備撿漏方法】: 檢漏方法很多,根據被檢件所處的狀態可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。 充壓檢漏法:在被檢件內部充入一定壓力的示漏物質,如果被檢件上有漏孔,示漏物質便從漏孔漏出,用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測出從漏孔漏出的示漏物質,從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小,此即充壓檢漏法。 真空檢漏法:被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態,在被檢件的外部施加示漏物質,如果有漏孔,示漏物質就會通過漏孔進入被檢件和敏感元件的空間,由敏感元件檢測出示漏物質,從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,這就是真空檢漏法。 其它檢漏法:被檢件既不充壓也不抽真空,或其外部受壓等方法歸入其它...
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜內白霧】: 白霧形成在膜內,無法用擦拭方法去除。 可能成因: 1. 基片臟 2. 鏡片表面腐蝕污染 3. 膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配 4. 氧化物充氧不夠 5. 第yi層氧化鋯膜料,可能對某些基片產生白暈現象 6. 基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染 7. 洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡,擦拭痕跡 8. 真空室臟、水汽過重 9. 環境濕度大 改善對策:基片本身的問題可能時主要的鍍膜室盡量彌補,鍍膜本身Zui大的可能室膜料匹配問題。 1. 改進膜系,第yi層不用氧化鋯 2. 盡量減少真空室開門時間 3. 真空室在更換護板、清潔后,Zui好能空罩抽真空烘烤一...