靶材是用于物理或化學蒸發過程的源材料,在工業和科研領域中具有重要應用。不同種類的靶材具有不同的特性和適用范圍,如金屬靶材適用于電子和光學薄膜的制備,氧化物靶材在制造透明導電薄膜和光電器件中扮演重要角色,陶瓷靶材適用于制造耐磨薄膜和保護涂層,半導體靶材用于制造微電子器件。在選擇和使用靶材時,需要考慮物理和化學屬性、成本效益、與應用領域的兼容性等多方面因素,以確保最終產品的性能和質量。深入理解不同靶材的特性,對于滿足特定應用需求至關重要通過控制熔煉溫度和鑄造速度,可以獲得具有均勻微觀結構和優良物理特性的靶材。貴州智能玻璃靶材多少錢7.配套設備與耗材銅背板綁定: 銅背板與鎳靶材結合使用,用于提高熱傳...
二、制備方法:粉末冶金法:混合:首先,將氧化銦(In2O3)與少量的氧化錫(SnO2)粉末按一定比例混合,這一比例直接決定了ITO靶材的**終電學性質。球磨:混合后的粉末會進行球磨處理,以提高粉末的均勻性和反應活性,球磨時間和方式對粉末粒徑和形貌有著重要影響。壓制:經過球磨的粉末隨后會在高壓下壓制成型,成型的密度和均勻性直接影響后續燒結過程。燒結:***,將壓制好的坯體在高溫下進行燒結,高溫燒結可以促使粉末顆粒之間發生固相反應,形成密實的ITO塊材。復合材料靶材由兩種或兩種以上材料組成。天津光伏行業靶材制備薄膜:靶材作為濺射沉積技術的關鍵材料,可以用于制備各種半導體薄膜,如Si、Si3N4、G...
2. 制備方法a. 粉末冶金法 這是制備鎢靶材**傳統也**常用的方法。首先將鎢粉進行壓制成型,然后在氫氣氛圍中高溫燒結。這個過程可以產生高純度、高密度的鎢靶材,但其制品往往需要后續的加工以滿足特定的尺寸和形狀要求。b. 濺射靶材制備 濺射是一種在真空中利用離子轟擊的方法,將鎢材料沉積到一個基底上形成薄膜。這種方法對于制備高純度、精細結構的鎢薄膜靶材特別有效。適用于需要非常平整和均勻表面的應用,如半導體制造。c. 熱等靜壓技術 熱等靜壓(HIP)技術通過同時施加高溫和高壓來對鎢材料進行致密化處理。此方法能夠消除粉末冶金過程中可能產生的氣孔和缺陷,從而生產出密度更高、均勻性更好的鎢靶材。d. 熔...
但是靶材制作困難,這是因為氧化銦和氧化錫不容易燒結在一起。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結添加劑,能夠獲得密度為理論值的93%~98%的靶材,這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關系極大。日本的科學家采用Bizo作為添加劑,Bi2O3在820Cr熔化,在1500℃的燒結溫度超出部分已經揮發,這樣能夠在液相燒結條件下得到比較純的ITO靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是納米顆粒,這樣可以簡化前期的工序。采川這樣的靶材得到的ITO薄膜的屯阻率達到8.1×10n-cm,接近純的ITO薄膜的電阻率。陶瓷靶材具有優異的化學穩定性和高熔點特性。上海氧化物靶材咨詢報價平面顯示器(FPD)...
具體到應用領域來說,靶材的重要性不可忽視。以集成電路產業為例,半導體器件的表面沉積過程中需要使用濺射靶材。靶材的純度、穩定性和可靠性直接關系到半導體器件的性能和質量。在濺射過程中,高純度的靶材能夠保證薄膜的質量和均勻性,進而提高集成電路的性能和可靠性。此外,靶材的選擇和使用還需要考慮到其與制程工藝的匹配性,以確保其在特定的工藝條件下能夠發揮比較好的性能。因此,可以說靶材在高科技產業的發展中扮演著重要的角色。隨著技術的不斷進步和產業升級的加速,靶材的應用領域和市場需求也在不斷擴大和增長。同時,隨著新材料技術的不斷發展,靶材的性能和品質也在不斷提高和優化。因此,對于靶材的研究和開發具有非常重要的意...
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),永久磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。材料的純度、結構和化學組成直接影響最終產品的性能。云南光伏行業靶材咨詢報價若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,如今,常用的有電...