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一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性和...

位于沉孔的開口端，通過粘接固定設置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質或塑料材質，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導光光纖從發光件傳導過來的光發散傳導到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現可拆卸連接，導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上，這樣導光光纖傳導從發光件發出來的光時，不可避免的會產生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產生配合間隙，導光...

分光器包括線傳感器和光學系統。光學系統包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器...

接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學鏡，所述半透半反光學鏡固定設置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設置在所述探頭殼體的內側壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發出的反...

6.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機殼，固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組，所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。銷售光譜共焦位移傳感器出廠價易于想到的是，發光件還可設置為發射多色光，如當被測物體放置在e...

接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學鏡，所述半透半反光學鏡固定設置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設置在所述探頭殼體的內側壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發出的反...

發光件和導光光纖的入光端之間，固定設置有濾光片，濾光片固定設置在發光件和導光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔，連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部，且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設置，在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖，從而影響影響導光光纖，或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。該傳感器可用于微納制造、生物醫學、半導體制造等領域中的精密測量。浙江怎樣選擇光譜共焦位移傳感器Preferencyly，在本實施例中...

光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創視智該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。江蘇高精度光譜共焦位移傳感器隨著精密和超精密制造業的迅速發展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應運而生。超精密的...

通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區域。 多個光入射口可以被設置成從 多個光入射口入射的 多個測量光束各自的光軸變得與 預定基準軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個受光區域。 多個光入射口可以設置在相對于 預定基準軸相互對稱的位置處。因此,可以容易地設計分光器。 多個光入射口可以設置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處。通過將多個光入射口設置在相對于作為基準軸的起點的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設計分光器。光譜共焦位移傳感器可以實現對不同材料的...

機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。南京銷售光譜共焦位移傳感器本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共...

分光器包括線傳感器和光學系統。光學系統包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器...

當光線射到半透半反膜上時，一部分光線進行透射到下三棱鏡上，一部分光線進行反射，反射到背向所述反光鏡的一面，在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進行涂黑處理從而成為啞光面，當光被半透半反光學鏡反射到啞光面上時，被啞光面吸收，因此可以減少整個系統的雜散光，提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小，因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小，因此可認為，多色光從下三棱鏡射出時，基本不發生位置偏移，從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實現所有多色光的波長共光軸，而且不發生光軸偏移，有利于后續對多色光進行色散和聚焦。光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現測量。蘇州光譜共焦位...

光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創視智它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，具有亞微米級的高精度。標準光譜共焦位移傳感器廠家本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件，光源耦合器作為單獨結構與探頭殼體分開設置。提示組...

本實用新型目的在于針對現有技術所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統的技術方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結構簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現了傳感器探頭的小型化,光源發射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。為了解決上述技術問題,本實用新型采用如下技術方案:光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、...

本實用新型目的在于針對現有技術所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統的技術方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結構簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現了傳感器探頭的小型化,光源發射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。為了解決上述技術問題,本實用新型采用如下技術方案:光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、...

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被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸到光譜儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。該傳感器可應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。湖北光譜共焦位...

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖，入射光纖固定連接在光源耦合器上后，入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中，入射光纖用于接收并傳導所述多色光光源所發出的多色光；，在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度，并對被測物體的反射光進行接收和傳導；在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖，接收光纖的入光端固定設置在光譜共焦位移傳感探頭內，接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光，接收到的反射光在接收光纖內進行傳導；光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的微小變形進行...

通過配置線傳感器和光學系統等以使得測量對象區域變成彼此不同的區域,可以高精度地執行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術,可以使用少量的組件來執行2個或3個點的同時測量。根據本發明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區域射出衍射光束。基于線傳感器的多個受光區域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據本發明,可以利用少量的組件來執行多點測量。應當...

光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應當理解的是，本實用新型的應用不限于上述的舉例，對本領域普通技術人員來說，可以根據上述說明加以改進或變換，所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。一條連接結構，實現便于裝配的同時，對入射光纖，接收光纖，多個導光光纖進行保護。創視智能嗯光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學測量技術，可以實現高精度的位移測量。遼寧光譜共焦位移傳感器供應光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高...

機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器可以用于微納加工、生物醫學、半導體制造等領域的精密測量。小型光譜共焦位移傳感器以客為尊Preferencyly，在本實施例中發光件設置有2個，在保證良好提示效果的前提下...

本實用新型涉及光電精密測量領域，尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術產業飛速發展，對產品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高，所以，能否進行高效率、高精度的檢測，將直接關系到產品的質量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優點：無損檢測：可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件，特別適合不允許接觸的場景。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，達到亞微米級的高精度。松江區本地光譜共焦位移傳感器通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準...

光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，提示組件包括有：發光件，發光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導發光件所發出的提示光。進一步，入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。采用上述方案的有益效果是：本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內，通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產生對應關系；光譜共焦位...

易于想到的是，發光件還可設置為發射多色光，如當被測物體放置在efficient測量區域但不是best位置時，發光件發出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設置有導光光纖，導光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中，preference的連接方式為導光光纖的入光端正對發光件的發光面，探頭殼體上開設有插槽，導光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側壁上，導光光纖用于將光源耦合器中的發光件發出的光傳導到探頭殼體的側壁，從而實現提示光從探頭殼體的側壁上發出，當手握探頭殼體進行位置測量時，方便人眼獲取探頭殼體上發出的指示光，通過指示光的不同顏色，從而判斷物體的擺放位置的狀態。光譜共焦位移傳感器...

多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區域假定為測量對象區域的情況下，多個受光區域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區域相對應,其中，該區域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區域。它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微...

被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸到光譜儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現光譜共焦測量位移的過程，通過光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。該傳感器可以與其他測量設備相結合，實現多參數的綜合測量。常用光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家將光纖和光纖連接至白色LED。...

進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學鏡，半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設置在探頭殼體的內側壁上，反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步，半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、生物醫學、納米技術等多個領域。遼寧本地光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感...

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一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微米級別。上海光譜共焦位移傳感器答疑解惑本實...

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面，探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，準直鏡組設置在多色光光源的一側，用于多色光源的準直；色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別聚焦，并產生軸向色散。光譜儀包括有機殼，固定設置在機殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器適用于光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統中的位移測量。長春光譜共焦位移傳感器供應3.根據權利要求2...