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隨著科技的進步和應用的深入，光譜共焦在點膠行業中的未來發展將更加廣闊。以下是一些可能的趨勢和發展方向：高速化：為了滿足不斷提高的生產效率要求，光譜共焦技術需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優化算法和改進硬件設備，以提高數據處理速度和檢測效率。智能化：通過引入人工智能和機器學習技術，光譜共焦可以實現更復雜的分析和判斷能力，例如自動識別不同種類的點膠、檢測微小的點膠缺陷等。這將有助于提高檢測精度和降低人工成本。多功能化：為了滿足多樣化的生產需求，光譜共焦技術可以擴展到更多的應用領域。例如 ，將光譜共焦技術與圖像處理技術相結合，可以實現更復雜的樣品分析和檢測任務。環保與可持續發展：隨...

隨著工業快速的發展 ，對精密測量技術的要求越來越高，位移測量技術作為幾何量精密測量的基礎，不僅需要超高測量精度，而且需要對環境和材料的大量適應性，并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統接觸式測量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應性等明顯優勢。本文通過對光譜共焦傳感器應用場景的分析，有助于廣大讀者進一步加深對光譜共焦傳感器技術的理解。得益于納米級精度及超好的角度特性，光譜共焦位移傳感器可用于對表面粗糙度進行高精度測量。相對于傳統的接觸式粗糙度儀，光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對產品表面無任何損傷。激光位移傳感器的應用主要是用于非標的特定檢測設備中。高速光譜共焦...

對光譜共焦位移傳感器原理進行理解與分析得出，想得到的理想鏡頭應該具備以下性能：首先需要其產生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而對于此傳感器需要利用其色差進行測量，并且還需將其擴大化，其次產生軸向色差后在軸上的焦點會由于單色光球差的問題導致光譜曲線響應FWHM(Full Width at Half Maximum)變大，影響分辨率，同時為確保單色光在軸上匯聚點單一，需要對其球差進行控制 ，?為使此位移傳感器從原理上保證傳感器的線性度，平衡傳感器各個聚焦位置的靈敏度，應盡量使焦點位置與波長成線性關系。光譜共焦技術在生物醫學、材料科學、環境監測等領域有著廣泛的應用。線陣光譜共焦精度隨著...

隨著社會不斷的發展，我們智能設備的進化越發迅速，愈發精密的設備意味著，對點膠設備提出更高的要求，需要應對更高的點膠精度。更靈活的點膠角度。目前手機中板和屏幕模組貼合時，需要在中板上點一圈透明的UV膠，這種膠由于白色反光的原因，只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量，使用非接觸式光譜共焦傳感器，可以避免不必要的磕碰。由于光譜共焦傳感器的復合光特性，可以完美的高速測量膠水的高度和寬度。由于膠水自身特性：液體，成型特性：帶有弧形，材料特性：透明或半透明。普通測量工具測試困難 。光譜共焦透鏡組設計和性能優化是光譜共焦技術研究的重要內容之一；非接觸式光譜共焦原理在電化學領域，電極片的厚度是一個重要的參數，直...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發出一束白光，透鏡組將其發散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續的焦點組，每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此 只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦位移傳感器可以實現對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷...

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量 。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測...

光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來的技術，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，因此可以大幅提高測量速度。基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高，因此迅速成為工業測量的熱門傳感器，大量應用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領域。本文介紹了光譜共焦技術的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用。同時，對共焦技術在未來精密測量的進一步應用進行了探討，并展望了其發展前景 。激光技術的發展推動了激光位移傳感器的...

光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示，燈源發出光經過光纖，再通過超色差鏡片，超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上，產生一系列可見光聚焦點。這種可見光聚焦點是連續的，不重合的。當待測物放置檢測范圍內時，只有一種光波長能夠聚焦在待測物表層并反射面，依據激光光路的可逆回到光譜儀，產生波峰焊。全部別的波長也將失去焦點。運用單頻干涉儀的校準信息計算待測物體的部位，創建光譜峰處波長偏移的編號。該超色差鏡片通過提升 ，具備比較大的縱向色差，用以在徑向分離出來電子光學信號的光譜成份。因而，...

線性色散設計的光譜共焦測量技術是一種利用光譜信息進行空間分辨的光學技術。該技術利用傳統共焦顯微鏡中的探測光路，再加入一個光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器，實現對樣品的空間和光譜信息的同時采集和處理。該技術的主要特點在于，采用具有線性色散特性的透鏡組合，將樣品掃描后產生的信號分離出來，利用光度計或CCD相機等進行信號的測量和分析，以獲得高分辨率的空間和光譜數據。利用該技術我們可以獲得材料表面形貌和屬性的具體信息，如化學成分，應變、電流和磁場等信息等。與傳統的共焦顯微技術相比，線性色散設計的光譜共焦測量技術具有更高的數據采集效率和空間分辨能力，對一些材料的表征更為準確，也有更好的適應性和可擴展性，適用...

光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦原理，采用復色光作為光源的傳感器，其測量精度可達到納米級，適用于測量物體表面漫反射或反射的情況。此外，光譜共焦位移傳感器還可以用于單向厚度測量透明物體。由于其具有高精度的測量位移特性，因此對于透明物體的單向厚度測量以及高精度的位移測量都有著很好的應用前景 。本文將光譜共焦位移傳感器應用于位移測量中，并通過實驗驗證，表明其能夠滿足高精度的位移測量要求，這對于將整個系統小型化、產品化具有重要意義。國內外已經有很多光譜共焦技術的研究成果發表。高采樣速率光譜共焦品牌企業譜共焦位移傳感器，作為一種高度精密的光學測量儀器 ，擔負著重要的測量任務。其主要應用領域包括工業生產、...

隨著科技的不斷發展 ，光譜共焦技術已成為現代制造業中不可或缺的一部分。作為一種高精度、高效率的檢測手段，光譜共焦技術在點膠行業中的應用越來越普遍。光譜共焦技術基于光學原理，通過將白光分解為不同波長的光波，實現對樣品的精細光譜分析。在制造業中，點膠是一道重要的工序，主要用于產品的密封、固定和保護。隨著制造業的不斷發展，對于點膠的質量和精度要求也越來越高。光譜共焦技術在點膠行業中的應用，可以有效提高點膠的品質和效率。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的微小變形進行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義；國內光譜共焦測距具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭，擁有0.4436的圖象室內空間NA和0.9...

光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優勢，迅速成為工業測量的熱門傳感器，在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領域得到大量應用。本次測量場景使用的是創視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度， 30kHz的采樣速度 ，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。光譜共焦技術在...

光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌和位移的先進傳感器技術。它能夠通過光譜共焦原理實現高精度的位移測量，廣泛應用于工業制造 、科學研究和醫療診斷等領域。本文將介紹光譜共焦位移傳感器的工作原理、測試場景和解決方案。光譜共焦位移傳感器的工作原理是基于光學共焦原理。當激光光束照射到物體表面時，光束會在物體表面反射并聚焦到傳感器的探測器上。通過分析反射光的光譜信息，傳感器可以精確計算出物體表面的形貌和位移信息。光譜共焦位移傳感器具有高分辨率、高靈敏度和無接觸測量等優點，能夠實現微納米級的位移測量，適用于各種復雜表面的測量需求。在工業制造領域，光譜共焦位移傳感器被廣泛應用于精密加工、三維打印、自...

光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦顯微鏡和掃描式激光干涉儀的非接觸式位移傳感器。 它的工作原理是將樣品表面反射的激光束和參考激光束進行干涉，利用干涉條紋的位移以及光譜的相關變化實現對樣品表面形貌和性質的高精度測量。 該傳感器可以實現微米級甚至亞微米級的位移測量精度，并且具有較寬的測量范圍，通常在數十微米級別甚至以上。 光譜共焦位移傳感器的優點是能夠在高速動態、曲面、透明和反射性樣品等復雜情況下實現高精度測量，具有很大的應用前景。 光譜共焦位移傳感器主要應用于顆粒表面形貌和性質的研究、生物醫學領域、材料表面缺陷和應力研究等領域，尤其在微納米技術、精密制造、生物醫學等領域具有重要應用價值 。光譜共焦...

差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發樣品產生拉曼散射信號，并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中，利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發，產生拉曼散射信號。其中一束激光在焦平面發生微小振動，通過檢測二者之間的光路差異，可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點，可以實現微區域的化學組成分析和表征。該方法可用于單個納米顆粒、生物組織、納米線、nanofilm等微型樣品的表征，以及材料科學、生物醫學、環境科學等領域的研究。需要注意的是，在差動共焦拉曼光譜...

光譜共焦位移傳感器是一種可用于測量工件形貌的高精度傳感器 。它利用光學原理和共焦技術，對工件表面形貌進行非接觸式測量，具有測量速度快、精度高、適用范圍廣d的優點。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件形貌的具體方法。首先，光譜共焦位移傳感器需要在測量前進行校準。校準的目的是確定傳感器的零點位置和靈敏度，以保證測量結果的準確性。校準過程中需要使用標準工件進行比對，通過調整傳感器參數和位置，使得傳感器能夠準確地測量工件的形貌。其次，進行測量時需要將光譜共焦位移傳感器與被測工件進行合適的位置和角度安裝。傳感器需要與工件表面保持一定的距離，并且需要保持垂直于工件表面的角度，以確保測量的準確性。在安裝過程...

光譜共焦傳感器作為一種新型高精密傳感器，其測 量精密度可達 土 0.02%。開始產生在法國的，相較于光柵尺、容柵 或電感器電臺廣播、電感器差動變壓器式偏移傳感器，其在偏移測量方面的優勢更加明顯?，F如今，因為光譜共焦傳感器擁有高精密、，因而，其在幾何量高精密測量層面的應用愈來愈普遍，如漫反射光及平面圖反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜及透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等。在偏移測量層面，自光譜共焦傳感器面世至今，它基本功能就是測量偏移。馬敬等對光譜共焦傳感器的散射目鏡進行分析，制定了散射目鏡的構造，提升了光譜共焦傳感器的各項特性；畢 超 等 利 用光譜共焦傳感器完成了對飛機發動機電機轉子葉子...

光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌和位移的先進傳感器技術。它能夠通過光譜共焦原理實現高精度的位移測量，廣泛應用于工業制造 、科學研究和醫療診斷等領域。本文將介紹光譜共焦位移傳感器的工作原理、測試場景和解決方案。光譜共焦位移傳感器的工作原理是基于光學共焦原理。當激光光束照射到物體表面時，光束會在物體表面反射并聚焦到傳感器的探測器上。通過分析反射光的光譜信息，傳感器可以精確計算出物體表面的形貌和位移信息。光譜共焦位移傳感器具有高分辨率、高靈敏度和無接觸測量等優點，能夠實現微納米級的位移測量，適用于各種復雜表面的測量需求。在工業制造領域，光譜共焦位移傳感器被廣泛應用于精密加工、三維打印、自...

光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進技術。它利用光學原理和共焦原理，通過測量光譜信號的位移來實現對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先，光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統配合使用。光源通常LED光源，以保證光譜信號的穩定和清晰。檢測系統則包括光譜儀和位移傳感器，用于測量和記錄光譜信號的位移。其次，測量過程中需要對工件表面進行預處理。這包括清潔表面、去除雜質和涂覆適當的反射涂料，以提高光譜信號的反射率和清晰度。同時，還需要調整光譜共焦位移傳感器的焦距和角度，以確保光譜信號能夠準確地投射到工件表面并被傳感器檢測...

隨著工業快速的發展 ，對精密測量技術的要求越來越高，位移測量技術作為幾何量精密測量的基礎，不僅需要超高測量精度，而且需要對環境和材料的大量適應性，并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統接觸式測量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應性等明顯優勢。本文通過對光譜共焦傳感器應用場景的分析，有助于廣大讀者進一步加深對光譜共焦傳感器技術的理解。得益于納米級精度及超好的角度特性，光譜共焦位移傳感器可用于對表面粗糙度進行高精度測量。相對于傳統的接觸式粗糙度儀，光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對產品表面無任何損傷。激光共焦掃描顯微鏡將被測物體沿光軸移動或將透鏡沿光軸移動。有哪些...

高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠實現納米級的位移測量，對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優勢。在半導體行業中，晶圓的表面質量對于芯片的制造具有至關重要的影響，因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質量。其次，高精度光譜共焦位移傳感器具有較高的測量速度。它能夠迅速地對晶圓表面進行掃描和測量，極大地提高了生產效率。在晶圓制造過程中，時間就是金錢，因此能夠準確地測量晶圓表面位移對于生產效率的提高具有重要意義。另外，高精度光譜共焦位移傳感器具有較強的抗干擾能力。它能夠在復雜的環境下進行穩定的測量，不受外界干擾的影響。在半導體制造廠房中，存在各種各樣...

為了提高加工檢測效率 ，實現尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量，提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現場坐標測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實驗測量系統且在Lab VIEW平臺上開發系統的硬件通訊控制模塊，并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環境，建立了非接觸的表面粗糙度測量能力。對標準臺階、表面粗糙度標準樣塊和曲面輪廓樣品進行了測量，實驗結果表明:該測量系統具有較高的測量精度和重復性，粗糙度參數Ｒa的測量重復性為0.0026μm，在優化零件檢測流程和提高整體檢測效率等方面具有一定的應用前景。光譜共焦技術可以實現高分辨率的成像和分析。新品光譜共焦找誰光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度...

客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況，每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查，耗時太久。因此，客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準檢查所需的時間。現在，我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現已經通過測試和驗證 。光譜共焦能夠提高研究和制造的精度和效率，為科學研究和工業生產提供了有力的技術支持。高速光譜共焦應用我們智能能設備的進化日新月異，人們的追求越來越個性化。愈發復雜的形狀意味著，對點膠設備...

主要對光譜共焦傳感器的校準時的誤差進行研究。分別利用激光干涉儀與高精度測長機對光譜共焦傳感器進行測量，用球面測頭保證光譜共焦傳感器的光路位于測頭中心，以保證光譜共焦傳感器的在測量時的安裝精度，然后更換平面側頭，對光譜共焦傳感器進行校準。用?小二乘法對測量數據進行處理，得到測量數據的非線性誤差。結果表明：高精度測長機校準時的非線性誤差為0.030%，激光干涉儀校準時的分析線性誤差為0.038% 。利用?小二乘法進行數據處理及非線性誤差的計算，減小校準時產生的同軸度誤差及光譜共焦傳感器的系統誤差，提高對光譜共焦傳感器的校準精度。光譜共焦技術有著較大的應用前景。非接觸式光譜共焦行情光譜共焦位移傳感器...

光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套編碼規則，是一種高精度、非接觸的光學測量技術?；诠庾V共焦技術的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器，已經被大量應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監控及過程控制等工業測量領域。展望其未來，隨著光譜共焦傳感技術的發展，必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等領域得到更多的應用。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來 ，其無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，從而大幅提高測量速度。光譜共焦技術的應用可以提高生產效率和質量。高性能光譜共焦出廠價高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠實現納米級的位移測量，對于...

隨著科技的進步和應用的深入，光譜共焦在點膠行業中的未來發展將更加廣闊。以下是一些可能的趨勢和發展方向：高速化：為了滿足不斷提高的生產效率要求，光譜共焦技術需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優化算法和改進硬件設備，以提高數據處理速度和檢測效率。智能化：通過引入人工智能和機器學習技術，光譜共焦可以實現更復雜的分析和判斷能力，例如自動識別不同種類的點膠、檢測微小的點膠缺陷等。這將有助于提高檢測精度和降低人工成本。多功能化：為了滿足多樣化的生產需求，光譜共焦技術可以擴展到更多的應用領域。例如 ，將光譜共焦技術與圖像處理技術相結合，可以實現更復雜的樣品分析和檢測任務。環保與可持續發展：隨...

光譜共焦技術主要包括成像、位置確認和檢測三個步驟。首先，使用顯微鏡對樣品進行成像，并將圖像傳遞給計算機處理。然后通過算法對圖像進行位置確認，以確定樣品的空間位置。之后，通過對樣品的光譜信息分析，實現對其成分的檢測。在點膠行業中，光譜共焦技術可以準確地檢測點膠的位置和尺寸，確保點膠的質量和精度。同時，通過對點膠的光譜分析，可以了解到點膠的成分和性質，從而優化點膠工藝 。該技術在點膠行業中的應用有以下幾個方面：提高點膠質量，光譜共焦技術可以檢測點膠的位置和尺寸，避免漏點或點膠過多等問題。同時，由于其高精度的檢測能力，可以確保點膠的精確度和一致性。提高點膠效率，通過光譜共焦技術對點膠的檢測，可以減少...

光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進技術。它利用光學原理和共焦原理，通過測量光譜信號的位移來實現對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先，光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統配合使用。光源通常LED光源，以保證光譜信號的穩定和清晰。檢測系統則包括光譜儀和位移傳感器，用于測量和記錄光譜信號的位移。其次，測量過程中需要對工件表面進行預處理。這包括清潔表面、去除雜質和涂覆適當的反射涂料，以提高光譜信號的反射率和清晰度。同時，還需要調整光譜共焦位移傳感器的焦距和角度，以確保光譜信號能夠準確地投射到工件表面并被傳感器檢測...

高像素傳感器設計方案取決于的光對焦水平，要求嚴格圖象室內空間NA的眼鏡片。另一方面，光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強度的全半寬來精確測量。高NA能夠降低半寬，提高分辨率。因而，在設計超色差攝像鏡頭時，NA應盡可能高的。高圖象室內空間NA能提高傳感器系統的燈源使用率，使待測表層輪廊以比較大視角或一定方向歪斜?？墒牵琋A的提高也會導致球差擴大，并產生電子光學設計優化難度。傳感器檢測范圍主要是由超色差鏡片的縱向色差確定。因為光譜儀在各個波長的像素一致，假如縱向色差與波長之間存在離散系統，這類離散系統也會導致感應器在各個波長的像素或敏感度存在較大差別，危害傳感器特性?？v向色差與波長的線...

在塑料薄膜及透明材料薄厚測量層面，朱萬彬等闡述了光譜共焦傳感器在測量全透明平板電腦的平整度時，由全透明平板電腦的折光率不同而引進的測量誤差并進行補償；曹太騰等基千三維數據 測量的機器視覺技術，利用光譜共焦傳感器對透明材料薄厚及弧形玻璃曲面薄厚進行檢測。在外表粗糙度測量層面，沈雪琴等闡述了不一樣 方式測量外表粗糙度時優缺點 ，選擇了根據光譜共焦傳感器的測量方式并進行了有關試驗，為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法；林杰俊等利用光譜共焦法測量外表粗糙度樣塊的表面粗糙度，并闡述了其 測量不確定度。文中利用 小二乘法測算校準誤差并進行了離散系統誤差測算，減少光譜共焦傳感器校準后的誤差，并在不同精...