光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦顯微鏡和掃描式激光干涉儀的非接觸式位移傳感器。 它的工作原理是將樣品表面反射的激光束和參考激光束進行干涉,利用干涉條紋的位移以及光譜的相關變化實現對樣品表面形貌和性質的高精度測量。 該傳感器可以實現微米級甚至亞微米級的位移測量精度,并且具有較寬的測量范圍,通常在數十微米級別甚至以上。 光譜共焦位移傳感器的優點是能夠在高速動態、曲面、透明和反射性樣品等復雜情況下實現高精度測量,具有很大的應用前景。 光譜共焦位移傳感器主要應用于顆粒表面形貌和性質的研究、生物醫學領域、材料表面缺陷和應力研究等領域,尤其在微納米技術、精密制造、生物醫學等領域具有重要應用價值。光譜共焦技...
譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優勢,迅速成為工業測量的熱門傳感器,在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領域得到廣泛應用。 本次測量場景使用的是創視智能TS-C10000光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025μm的重復精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的采樣速度,以及±65°的測量角度,能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。 光譜...
在電化學領域,電極片的厚度是一個重要的參數,直接影響著電化學反應的效率和穩定性,我們將介紹光譜共焦位移傳感器對射測量電極片厚度的具體方法。首先,我們需要準備一塊待測電極片和光譜共焦位移傳感器。將電極片放置在測量平臺上,并調整傳感器的位置,使其與電極片表面保持垂直。接下來,通過軟件控制傳感器進行掃描,獲取電極片表面的光譜信息。光譜共焦位移傳感器可以實現納米級的分辨率,因此可以準確地測量電極片表面的高度變化。在獲取了電極片表面的光譜信息后,我們可以利用反射光譜的特性來計算電極片的厚度。通過分析反射光譜的強度和波長分布,我們可以得到電極片表面的高度信息。同時,還可以利用光譜共焦位移傳感器的對射測量功...
光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產生一系列連續而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產生波峰信號。其他波長將失去對焦。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置,并創建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分,因此是傳感器的關鍵部件,其設計方案非常重要。該傳感器具有高精度、高靈敏度、高穩定性等特點,適用于微納尺度的位移變化測量。防水型光譜共...
光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點,已成為工業測量的熱門傳感器,在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量和3C電子等領域廣泛應用。本次測量場景采用了創視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度、±0.02%的線性精度、30kHz的采樣速度和±60°的測量角度,適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網和模擬量的數據傳輸接口。光譜共焦技術可以實現高分辨率的成像和分析;內徑測量 ...
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量(由于...
光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示,燈源發出光經過光纖,再通過超色差鏡片,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,產生一系列可見光聚焦點。這種可見光聚焦點是連續的,不重合的。當待測物放置檢測范圍內時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表層并反射面,依據激光光路的可逆回到光譜儀,產生波峰焊。全部別的波長也將失去焦點。運用單頻干涉儀的校準信息計算待測物體的部位,創建光譜峰處波長偏移的編號。該超色差鏡片通過提升,具備比較大的縱向色差,用以在徑向分離出來電子光學信號的光譜成份。因而,超...
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦顯微鏡和掃描式激光干涉儀的非接觸式位移傳感器。 它的工作原理是將樣品表面反射的激光束和參考激光束進行干涉,利用干涉條紋的位移以及光譜的相關變化實現對樣品表面形貌和性質的高精度測量。 該傳感器可以實現微米級甚至亞微米級的位移測量精度,并且具有較寬的測量范圍,通常在數十微米級別甚至以上。 光譜共焦位移傳感器的優點是能夠在高速動態、曲面、透明和反射性樣品等復雜情況下實現高精度測量,具有很大的應用前景。 光譜共焦位移傳感器主要應用于顆粒表面形貌和性質的研究、生物醫學領域、材料表面缺陷和應力研究等領域,尤其在微納米技術、精密制造、生物醫學等領域具有重要應用價值。光譜共焦技...
為了滿足全天候觀察的需求,設計了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學成像系統。根據寬光譜共焦原理以及光學被動式無熱化原理,設計了一個波段范圍為0.4μm~2.5μm、焦距數為50 mm,F數為2.8的光學成像系統,該系統在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.7,紅外波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.5,探測器選用為15μm×15μm、像元數為640 pixel×512 pixel碲鎘汞探測器。該寬光譜共焦型光學系統均采用普通玻璃材料以及易加工的球面透鏡,在溫度范圍-40℃~+60℃內對光學系統消熱差,實現了無需調焦即可滿足晝夜觀察的使用需求,可***應...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌的高精度傳感器。在手機制造過程中,段差是一個重要的參數,它決定了手機鏡頭的質量和性能。因此,測量手機段差的具體方法是手機制造過程中的關鍵步驟之一。光譜共焦位移傳感器測量手機段差的具體方法可以分為以下幾個步驟。首先,需要選擇合適的光源和光譜共焦位移傳感器。光源的選擇應該考慮到手機鏡頭表面的反射特性,以確保能夠得到準確的測量結果。光譜共焦位移傳感器的選擇應該考慮到測量精度和測量范圍,以滿足手機段差測量的要求。其次,需要對手機鏡頭進行準備工作。這包括清潔手機鏡頭表面,以確保測量結果不受污染物的影響。同時,還需要對手機鏡頭進行j校準位置,以確保測量點的準確性...
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量(由于...
隨著科技的進步和應用的深入,光譜共焦在點膠行業中的未來發展前景非常廣闊。以下是一些可能的趨勢和發展方向:高速化方向,為了滿足不斷提高的生產效率要求,光譜共焦技術需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優化算法和改進硬件設備,以提高數據處理速度和檢測效率。智能化方向,通過引入人工智能和機器學習技術,光譜共焦可以實現更復雜的分析和判斷能力,例如自動識別不同種類的點膠、檢測微小的點膠缺陷等。這將有助于提高檢測精度和降低人工成本。多功能化方向,為了滿足多樣化的生產需求,光譜共焦技術可以擴展到更多的應用領域。例如,將光譜共焦技術與圖像處理技術相結合,可以實現更復雜的樣品分析和檢測任務。另外,環...
光譜共焦傳感器使用復色光作為光源,可以實現微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外,光譜共焦位移傳感器還可以實現對透明物體的單向厚度測量,其光源和接收光鏡為同軸結構,避免光路遮擋,適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內部結構測量。在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上下兩個表面都會反射,傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的,可能會引起一定誤差。本文分析了平行平板位移測量誤差的來源和影響因素。光譜共焦位移傳感器的工作原理是通過激光束和光纖等光學元件實現的。防水型光譜共焦出廠價因為共焦測量方法具有高精度的三維成像能力,所以它已被用于表面輪廓和三維結構的精密測量。本文分析了白光...
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務而設計的,通常應用于研發任務、實驗室和醫療、半導體制造、玻璃生產和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量以外,這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或層的單面厚度測量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達100毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應用方面提供更大的靈活性。另外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測量表面特征的變化時帶來更好的性能。光譜共焦位移傳感器在微機電系統、生物醫學、材料科學等領域中有著廣泛的應用。高采樣速率光譜共焦生產商光譜共焦是一種先進的光學顯微鏡技術,通過聚焦光束在樣品上,利用譜學分析方法獲取樣品的高分...
高像素傳感器的設計取決于對焦水平和圖像室內空間NA的要求。同時,在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來進行精確測量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設計超色差攝像鏡頭時,需要盡可能提高NA。高圖像室內空間NA可以提高傳感器系統的燈源使用率,并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜。但是,同時提高NA也會導致球差擴大,并增加電子光學設計的優化難度。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因為光譜儀在各個波長的像素應該是一致的,如果縱向色差與波長之間存在離散系統,這種離散系統也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別,從而損害傳感器的特性。通過使用自然散射...
光譜共焦技術是一種高精度、非接觸的光學測量技術,將軸向距離與波長的對應關系建立了一套編碼規則。作為一種亞微米級、迅速精確測量的傳感器,基于光譜共焦技術的傳感器已廣應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監控和過程管控等工業測量領域。隨著光譜共焦傳感技術的不斷發展,它在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量測量和其他領域的應用將會更加廣。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來,無需軸向掃描,可以直接利用波長對應軸向距離信息,大幅提高測量速度。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數的測量。工廠光譜共焦產品基本性能要求本文通過對比測試方法,考核了基于白光共焦光譜技術的靶丸...
光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套編碼規則,是一種高精度、非接觸式的光學測量技術?;诠庾V共焦技術的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器,已經被大量應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監控及過程控制等工業測量領域。展望其未來,隨著光譜共焦傳感技術的發展,必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等領域得到更多的應用。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來,其無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息,從而大幅提高測量速度。光譜共焦技術在材料科學領域可以用于材料表面和內部的成像和分析;高采樣速率光譜共焦行情在點膠工藝中,生成的膠水小球目前只能通過視覺系統進行檢驗。...
靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸關鍵參數之一,需要進行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系,分析了靶丸內表面輪廓測量的基本原理,并建立了相應的白光共焦光譜測量方法。同時,作者還搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置,并利用靶丸光學圖像的輔助調心方法,實現了靶丸內表面低階輪廓的精密測量,獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線。作者在實驗中驗證了測量結果的可靠性,并進行了不確定度分析,結果表明,白光共焦光譜能夠實現靶丸內表面低階輪廓的精密測量。光譜共焦位移傳感器可以實現對不同材料的位移測量,包括金屬、陶瓷、塑料等;高性能光譜共焦出廠價光譜共焦成像技術比激光成像具有更高的精度,而且能夠降低功耗和成本。但現有...
根據對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析,可以得出理想的鏡頭應具備以下性能:首先,產生較大的軸向色差,通常需要對鏡頭進行消色差措施,而該傳感器需要利用色差進行測量,需要將其擴大化;其次,產生軸向色差后,焦點在軸上會因單色光的球差問題而導致光譜曲線響應的FWHM(半峰全寬)變大,影響分辨率;同時,為確保單色光在軸上匯聚到單一點,需要控制其球差;為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度,焦點位置應盡量與波長成線性關系。該傳感器具有高精度、高靈敏度、高穩定性等特點,適用于微納尺度的位移變化測量。在線管道壁厚檢測光譜共焦光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現代技術,在工業 4.0 的高要求下,這...
在硅片柵線的厚度測量過程中,創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網和模擬量數據傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標記三個區域并使用光譜共焦C1200單探頭單側測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區域的選擇具有較大的隨...
背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術已經廣泛應用于醫學、材料分析、工業探測及計量等各種不同的領域之中?,F有的光...
光譜共焦傳感器可以用于數碼相機的相位測距,可大幅提高相機的對焦精度和成像質量。同時,還可以通過檢測相機的微小振動,實現圖像的防抖和抗震功能。光譜共焦傳感器可以用于計算機硬盤的位移和振動測量,從而實現對硬盤存儲數據的穩定性和可靠性的實時監控。在硬盤的生產過程中,光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結構件的位移、振動和形變測試。光譜共焦傳感器在3C電子行業中的應用領域極其大量,可用于各種控制和檢測環節,實現高精度、高可靠性、高速的測量與檢測。光譜共焦技術有著較大的應用前景;原裝光譜共焦廠家供應基于光譜共焦技術的手機曲面外殼輪廓測量,是一種利用光譜共焦技術對手機曲面外殼輪廓進行非接觸式測量的方法。該技...
高像素傳感器的設計取決于對焦水平和圖像室內空間NA的要求。同時,在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來進行精確測量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設計超色差攝像鏡頭時,需要盡可能提高NA。高圖像室內空間NA可以提高傳感器系統的燈源使用率,并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜。但是,同時提高NA也會導致球差擴大,并增加電子光學設計的優化難度。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因為光譜儀在各個波長的像素應該是一致的,如果縱向色差與波長之間存在離散系統,這種離散系統也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別,從而損害傳感器的特性。通過使用自然散射...
在實踐中,光譜共焦位移傳感器可用于很多方面,如:利用獨特的光譜共焦測量原理,憑借一只探頭就可以實現對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光,通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量??梢允箓鞲衅魍瓿蓪Ρ粶y表面的精確掃描,實現納米級的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向對試劑瓶的壁厚進行測量,而且對瓶壁沒有壓力。可通過設計轉向反射鏡實現孔壁的結構檢測及凹槽深度的測盤。(創視智能已推出了90°側向出光版本探頭,可以直接進行深孔和凹槽的測量)光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且,以確定單層玻璃之間的間隙厚度。該傳感器具有...
在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面,研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進行了補償,在機器視覺技術方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面,研究人員闡述了不同方式測量外表粗糙度的優缺點,并選擇了基于光譜共焦傳感器的測量方式進行試驗,為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法。研究人員利用小二乘法計算校準誤差并進行了離散系統誤差測算,以減少光譜共焦傳感器校準后的誤差,并在不同精度標準器下探尋了光譜共焦傳感器的校準誤差變化情況,這對于今后光譜共焦傳感器的應用和科學研究具有重要意義。光譜共焦位移傳感器可以實現對材...
表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機床與刀具的精度、振動及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況,是表面質量的一個重要衡量指標,關系零件的磨損、密封、潤滑、疲勞、研和等機械性能。表面粗糙度測量主要可分為接觸式測量和非接觸式測量。觸針式接觸測量容易劃傷測量表面、針尖易磨損、測量效率低、不能測復雜表面,而非接觸測量相對而言可以實現非接觸、高效、在線實時測量,而成為未來粗糙度測量的發展方向。目前常用的非接觸法主要有干涉法、散斑法、散射法、聚焦法等。而其中聚焦法較為簡單實用。采用光譜共焦位移傳感器,搭建了一套簡易的測量裝置,對膜式燃氣表的閥蓋粗糙度進行了非...
在點膠工藝中,生成的膠水小球目前只能通過視覺系統進行檢驗。然而,在生產中需要保證點膠路線是連續和穩定的,為此,可以利用色散共焦測量傳感器系統控制許多質檢標準中的很多參數。膠水小球必須放置在其他結構的正中間,異常的材料聚集以及連續性斷裂都可以通過該系統檢測。在3C領域,對于精密點膠的要求越來越高,需要實時檢測膠水高度來實現閉環控制。傳統激光傳感器無法準確測量復雜膠水輪廓的高度,但是色散共焦測量傳感器具有可適用于各種膠水輪廓高度測量的測量角度,特別是在圓孔膠高檢測方面具有優勢。因此目前業界通用做法是采用超大角度光譜共焦傳感器,白光是復合光,總會有光線可以反射回來,加大了光線反射夾角(45°),可以...
光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現代技術,在工業 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業 4.0 的世界中,傳感器必須進行高速測量并提供高精度結果,以確保可靠的質量保證。由于光學測量技術是非接觸式的,它們在生產和檢測過程中變得越來越重要,可以單獨應用于目標材料分開和表面特性。這是在“實時”生產過程中的一個主要優勢,尤其是當目標位于難以接近的區域時,觸覺測量技術正在發揮其極限。共焦色差測量技術提供突破性的技術,高精度和高速度,并且可以用于距離測量、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內的測量。測量過程是無磨損的、非接觸式的,并且實際上與表面特性無關。由于...
物體的表面形貌可以通過測量距離來確定,光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射率并變得可見。系統會創建目標及其精細結構的精確圖像,只要檢測到信號強度的變化。除了距離測量外,還可以使用信號強度進行測量,這可以實現對精細結構的可視化。通過保持曝光時間不變,可以獲得有關表面評估的附加信息,而這在距離測量時是不可能的。光譜共焦技術具有很大的市場潛力;國內光譜共焦能測什么光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌和位移的先進傳感器技術。它能夠通過光譜共焦原理實現高精度的位移測...
在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面,研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進行了補償,在機器視覺技術方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面,研究人員闡述了不同方式測量外表粗糙度的優缺點,并選擇了基于光譜共焦傳感器的測量方式進行試驗,為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法。研究人員利用小二乘法計算校準誤差并進行了離散系統誤差測算,以減少光譜共焦傳感器校準后的誤差,并在不同精度標準器下探尋了光譜共焦傳感器的校準誤差變化情況,這對于今后光譜共焦傳感器的應用和科學研究具有重要意義。光譜共焦位移傳感器可以實現對材...