靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸關鍵參數之一,需要進行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系,分析了靶丸內表面輪廓測量的基本原理,并建立了相應的白光共焦光譜測量方法。同時,作者還搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置,并利用靶丸光學圖像的輔助調心方法,實現了靶丸內表面低階輪廓的精密測量,獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線。作者在實驗中驗證了測量結果的可靠性,并進行了不確定度分析,結果表明,白光共焦光譜能夠實現靶丸內表面低階輪廓的精密測量。它能夠提高研究和制造的精度和效率,為科學研究和工業生產提供了有力的技術支持。防水型光譜共焦信賴推薦在工業領域,光譜共焦傳感器的應用可以幫助企業實現更高精度的加工,提...
在共焦位移傳感器中,能夠使在頭單元與控制裝置之間傳送投光用的光的光纖的端面具有共焦光學系統的銷孔的功能。由于使用受光波形和位移的測量值來控制顯示部的顯示,所以在設置頭單元時,能夠根據顯示部的顯示來容易地辨識頭單元是否被適當地設置。由于在控制裝置側控制顯示部的顯示,所以能夠防止頭單元的構造復雜化。此外,由于使用控制裝置的操作狀態來控制顯示部的顯示,所以能夠在頭單元的設置位置附近容易地辨識控制裝置是否正常操作。光譜共焦技術在材料科學領域可以用于材料表面和內部的成像和分析;光譜共焦供貨我們智能能設備的進化日新月異,人們的追求越來越個性化。愈發復雜的形狀意味著,對點膠設備提出更高的要求,需要應對更高的...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內空間NA和0.991的線性相關系數R2,其構造達到了原始設計要求并顯示出了良好的光學性能。實現線性散射需要考慮一些關鍵條件,并可以采用不同的優化方法來改進設計。首先,線性散射的實現需要確保攝像鏡頭的各種光譜成分具有相同的焦點位置,以減少色差。為了實現這個要求,需要采用精確的光學元件制造和裝配,確保不同波長的光線匯聚到同一焦點。同時,特殊的透鏡設計和涂層技術也可以減小縱向色差。在優化設計方面,可以采用非球面透鏡或使用折射率不同的材料組合來提高圖像質量。此外,改進透鏡的曲率半徑、增加光圈葉片數量和設計更復雜的光學系統...
光譜共焦傳感器在數碼相機中的應用包括相位測距,可大幅提高相機的對焦精度和成像質量,并通過檢測相機的微小振動,實現圖像的防抖和抗震功能。同時,光譜共焦傳感器還可用于計算機硬盤的位移和振動測量,從而實現對硬盤存儲數據的穩定性和可靠性的實時監控。在硬盤的生產過程中,光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結構件的位移、振動和形變測試。在3C電子行業中,光譜共焦傳感器的應用領域非常廣,可用于各種管控和檢測環節,在實現高精度和高可靠性的測量和檢測方面發揮著重要作用。光譜共焦位移傳感器可以實時監測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。高頻光譜共焦傳感器精度光譜共焦測量原理是使用多透鏡光學系統將多色...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發出一束白光,透鏡組將其發散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續的焦點組,每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此,只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數的測...
隨著社會不斷的發展,我們智能設備的進化越發迅速,愈發精密的設備意味著,對點膠設備提出更高的要求,需要應對更高的點膠精度。更靈活的點膠角度。目前手機中板和屏幕模組貼合時,需要在中板上點一圈透明的UV膠,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量,使用非接觸式光譜共焦傳感器,可以避免不必要的磕碰。由于光譜共焦傳感器的復合光特性,可以完美的高速測量膠水的高度和寬度。由于膠水自身特性:液體,成型特性:帶有弧形,材料特性:透明或半透明。普通測量工具測試困難。光譜共焦技術的研究和應用將推動中國科技事業的發展;有哪些光譜共焦測厚度本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成...
光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學系統將多色白光聚焦到目標表面上來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個波長都有一定的偏差(特定距離)進行工廠校準。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。經過共焦孔徑從目標表面反射回來的光進入光譜儀進行檢測和處理。在整個傳感器的測量范圍內,實現了一個非常小的、恒定的光斑尺寸,通常小于10微米。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內壁面,以及測量窄孔、小間隙和空腔。國內外已經有很多光譜共焦技術的研究成果發表。光譜共焦推薦非球面中心偏差的測量方法包括接觸式(例如使用百分表)和非接觸式(例如使用光學傳感器)。本文采用自準直定...
采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。結果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線中可以看出,在模數低于100的功率譜范圍內,兩種方法的測量結果一致性較好,當模數大于100時,白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據,這也反應了白光共焦光譜儀在...
譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優勢,迅速成為工業測量的熱門傳感器,在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領域得到廣泛應用。 本次測量場景使用的是創視智能TS-C10000光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025μm的重復精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的采樣速度,以及±65°的測量角度,能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。 光譜...
實際中,光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨特的光譜共焦測量原理,利用單探頭可以實現對玻璃等透明材料的單向精確厚度測量,可有效監控藥劑盤和鋁塑泡罩包裝的填充量,實現納米級分辨率的精確表面掃描。該傳感器可以單向測量試劑瓶的壁厚,并且對瓶壁沒有壓力,通過設計轉向反射鏡可實現孔壁結構檢測和凹槽深度測量(90度側向出光版本探頭可直接測量深孔和凹槽)。光譜共焦傳感器還可用于層和玻璃間隙測量,以確定單層玻璃層之間的間隙厚度。光譜共焦技術可以在醫學診斷中發揮重要作用。高精度光譜共焦傳感器品牌光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套編碼規則,是一種高精度、非接觸式的光學測量技術。基于光譜共焦技術的傳感器作...
物體的表面形貌可以通過測量距離來確定,光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射率并變得可見。系統會創建目標及其精細結構的精確圖像,只要檢測到信號強度的變化。除了距離測量外,還可以使用信號強度進行測量,這可以實現對精細結構的可視化。通過保持曝光時間不變,可以獲得有關表面評估的附加信息,而這在距離測量時是不可能的。光譜共焦位移傳感器通常由光源、光譜儀、探測器和信號處理器等組成。國產光譜共焦找誰隨著科技的不斷發展,光譜共焦技術已成為現代制造業中不可或缺的一部分。作為一種高精...
非球面中心偏差的測量方法包括接觸式(例如使用百分表)和非接觸式(例如使用光學傳感器)。本文采用自準直定心原理和光譜共焦位移傳感技術,對高階非球面透鏡的中心偏差進行了非接觸精密測量。通過測量出的校正量和位置方向對球面進行拋光,糾正非球面透鏡中心偏差,以滿足光學系統設計的要求。由于非球面已經加工到一定的精度要求,因此對球面的拋光和磨削是糾正非球面透鏡中心偏差的主要方法。利用軸對稱高階非球面曲線的數學模型計算被測環D帶的旋轉角度θ,即光譜共焦位移傳感器的工作角。該技術可以采集樣品不同深度處的光譜信息進行測量。高采樣速率光譜共焦出廠價隨著精密儀器制造業的發展,人們對于工業生產測量的要求越來越高,希望能...
因為共焦測量方法具有高精度的三維成像能力,所以它已被用于表面輪廓和三維結構的精密測量。本文分析了白光共焦光譜的基本原理,建立了透明靶丸內表面圓周輪廓測量校準模型,并基于白光共焦光譜和精密旋轉軸系,開發了透明靶丸內、外表面圓周輪廓的納米級精度測量系統和靶丸圓心精密位置確定方法。使用白光共焦光譜測量靶丸殼層內表面輪廓數據時,其測量精度受到多個因素的影響,如白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率和靶丸內外表面輪廓的直接測量數據。光譜共焦位移傳感器的工作原理是通過激光束和光纖等光學元件實現的。平面度測量 光譜共焦的原理表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機床與刀具的...
光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現代技術,在工業 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業 4.0 的世界中,傳感器必須進行高速測量并提供高精度結果,以確保可靠的質量保證。由于光學測量技術是非接觸式的,它們在生產和檢測過程中變得越來越重要,可以單獨應用于目標材料分開和表面特性。這是在“實時”生產過程中的一個主要優勢,尤其是當目標位于難以接近的區域時,觸覺測量技術正在發揮其極限。共焦色差測量技術提供突破性的技術,高精度和高速度,并且可以用于距離測量、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內的測量。測量過程是無磨損的、非接觸式的,并且實際上與表面特性無關。由于...
高像素傳感器設計方案取決于的光對焦水平,要求嚴格圖象室內空間NA的眼鏡片。另一方面,光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強度的全半寬來精確測量。高NA能夠降低半寬,提高分辨率。因而,在設計超色差攝像鏡頭時,NA應盡可能高的。高圖象室內空間NA能提高傳感器系統的燈源使用率,使待測表層輪廊以比較大視角或一定方向歪斜。可是,NA的提高也會導致球差擴大,并產生電子光學設計優化難度。傳感器檢測范圍主要是由超色差鏡片的縱向色差確定。因為光譜儀在各個波長的像素一致,假如縱向色差與波長之間存在離散系統,這類離散系統也會導致感應器在各個波長的像素或敏感度存在較大差別,危害傳感器特性。縱向色差與波長的線...
光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,其測量精度可達到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器,它在偏移測量方面具有更加明顯的優勢。由于它的高精度特性,光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應用,如漫反射光和平面反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜和透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等。在偏移測量方面,光譜共焦傳感器的主要功能就是測量偏移。研究人員對光譜共焦傳感器的散射目鏡進行了分析,并制定了相應的構造來提高其各項特性;也有研究人員利用光譜共焦傳感器對飛機發動機電機轉子葉片空隙進行了高精度和高效率的測量。在平整度測量方面,研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測誤差,并...
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間。現在,我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現已經通過測試和驗證。光譜共焦技術可以在醫學診斷中發揮重要作用。高速光譜共焦廠家哪家好高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度。它能夠實現納米級的位移測量,對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優勢。在半導...
光譜共焦位移傳感器是一種可用于測量工件形貌的高精度傳感器。它利用光學原理和共焦技術,對工件表面形貌進行非接觸式測量,具有測量速度快、精度高、適用范圍廣d的優點。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件形貌的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要在測量前進行校準。校準的目的是確定傳感器的零點位置和靈敏度,以保證測量結果的準確性。校準過程中需要使用標準工件進行比對,通過調整傳感器參數和位置,使得傳感器能夠準確地測量工件的形貌。其次,進行測量時需要將光譜共焦位移傳感器與被測工件進行合適的位置和角度安裝。傳感器需要與工件表面保持一定的距離,并且需要保持垂直于工件表面的角度,以確保測量的準確性。在安裝過程中...
采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。結果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線中可以看出,在模數低于100的功率譜范圍內,兩種方法的測量結果一致性較好,當模數大于100時,白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據,這也反應了白光共焦光譜儀在...
光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統進行測量,提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數據。它的創新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量,并且只需要使用一個傳感器從工件的一側進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,因采用同軸光,所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高,體積小,且帶有便捷的數據接口,因此很容易集成到在線生產和檢測設備中,實現線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,該傳感器可以對震動物體進行測量,同時采用無觸碰設計,避免了測量過程中對震動物體的干擾,也可以對復雜區域進行詳細的測量和分析。光譜共焦技術具有軸向按層分析功能。...
光譜共焦技術是一種高精度、非接觸的光學測量技術,將軸向距離與波長的對應關系建立了一套編碼規則。作為一種亞微米級、迅速精確測量的傳感器,基于光譜共焦技術的傳感器已廣應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監控和過程管控等工業測量領域。隨著光譜共焦傳感技術的不斷發展,它在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量測量和其他領域的應用將會更加廣。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來,無需軸向掃描,可以直接利用波長對應軸向距離信息,大幅提高測量速度。光譜共焦技術可以在環境保護中發揮重要作用。工廠光譜共焦制造廠家光譜共焦位移傳感器是一種可用于測量工件形貌的高精度傳感器。它利用光學原理和共焦技術,對...
共焦位移傳感器是利用共焦原理和軸向色像差現象對測量對象的位移進行測量的光學測量裝置,共焦原理是指將從形成光源的像的成像面上接收到的光以縮小光圈的方式形成為反射光,軸向色像差現象是在光源的像中發生光軸方向上的顏色漂移的現象。共焦位移傳感器由作為點光源的使從光源出射的光出射的銷孔、在經由銷孔出射的檢測光中引起軸向色像差并朝向測量對象會聚該檢測光的光學構件、以及使來自測量對象的反射光光譜分散并產生受光信號的分光器構成。作為檢測光,使用具有多個波長的光。在經由光學構件照射到測量對象的檢測光中,銷孔允許具有在聚焦于測量對象的同時被反射的波長的檢測光穿過。根據軸向色像差,各波長的成像面的位置不同。因此,通...
共焦位移傳感器是一種共焦位移傳感器,其包括:頭單元,其包括共焦光學系統;約束裝置,其包括投光用光源,所述投光用光源被構造為產生具有多個波長的光;以及光纖線纜,其包括用于將從所述投光用光源出射的光傳送到所述頭單元的光纖。所述頭單元包括光學構件,所述光學構件被構造為在經由所述光纖的端面出射的檢測光中引起軸向色像差并且使所述檢測光朝向測量對象會聚。所述約束裝置包括:分光器,其被構造為在經由所述光學構件照射于所述測量對象的所述檢測光中使通過在聚焦于所述測量對象的同時被反射而穿過所述光纖的端面的檢測光光譜分散,并且產生受光信號;以及測量約束部,其被構造為基于所述受光信號計算所述測量對象的位移。所述頭單元...
差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發樣品產生拉曼散射信號,并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發,產生拉曼散射信號。其中一束激光在焦平面發生微小振動,通過檢測二者之間的光路差異,可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點,可以實現微區域的化學組成分析和表征。該方法可用于單個納米顆粒、生物組織、納米線、nanofilm等微型樣品的表征,以及材料科學、生物醫學、環境科學等領域的研究。需要注意的是,在差動共焦拉曼光譜...
光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點,已成為工業測量的熱門傳感器,在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量和3C電子等領域廣泛應用。本次測量場景采用了創視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度、±0.02%的線性精度、30kHz的采樣速度和±60°的測量角度,適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網和模擬量的數據傳輸接口。光譜共焦技術可以實現對樣品的定量分析。國產光譜共焦測...
為了滿足全天候觀察的需求,設計了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學成像系統。根據寬光譜共焦原理以及光學被動式無熱化原理,設計了一個波段范圍為0.4μm~2.5μm、焦距數為50 mm,F數為2.8的光學成像系統,該系統在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.7,紅外波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.5,探測器選用為15μm×15μm、像元數為640 pixel×512 pixel碲鎘汞探測器。該寬光譜共焦型光學系統均采用普通玻璃材料以及易加工的球面透鏡,在溫度范圍-40℃~+60℃內對光學系統消熱差,實現了無需調焦即可滿足晝夜觀察的使用需求,可***應...
物體的表面形貌可以通過測量距離來確定,光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射率并變得可見。系統會創建目標及其精細結構的精確圖像,只要檢測到信號強度的變化。除了距離測量外,還可以使用信號強度進行測量,這可以實現對精細結構的可視化。通過保持曝光時間不變,可以獲得有關表面評估的附加信息,而這在距離測量時是不可能的。光譜共焦技術可以在不破壞樣品的情況下進行分析。高采樣速率光譜共焦的原理光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學系統將多色白光聚焦到目標表面上來工作。透鏡的排列方式是通過...
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間。現在,我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現已經通過測試和驗證。光譜共焦技術具有軸向按層分析功能,精度可以達到納米級別。線光譜共焦制作廠家光譜共焦技術主要包括成像和檢測。首先,通過顯微鏡對樣品進行成像,然后將圖像傳遞給計算機進行處理。接著,利用算法對...
表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機床與刀具的精度、振動及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況,是表面質量的一個重要衡量指標,關系零件的磨損、密封、潤滑、疲勞、研和等機械性能。表面粗糙度測量主要可分為接觸式測量和非接觸式測量。觸針式接觸測量容易劃傷測量表面、針尖易磨損、測量效率低、不能測復雜表面,而非接觸測量相對而言可以實現非接觸、高效、在線實時測量,而成為未來粗糙度測量的發展方向。目前常用的非接觸法主要有干涉法、散斑法、散射法、聚焦法等。而其中聚焦法較為簡單實用。采用光譜共焦位移傳感器,搭建了一套簡易的測量裝置,對膜式燃氣表的閥蓋粗糙度進行了非...
采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。結果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線中可以看出,在模數低于100的功率譜范圍內,兩種方法的測量結果一致性較好,當模數大于100時,白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據,這也反應了白光共焦光譜儀在...