經由第二連結軌道60b向存儲庫區域10b內的起重機軌道20移動(參照圖9的箭頭)。第二機架間軌道44、第二連結軌道60b以及起重機軌道20各自剖面形狀相同,所以懸掛式起重機30的起重機用行駛部31能夠無障礙地從第二機架間軌道44經由第二連結軌道60b進入起重機軌道20。懸掛式起重機30構成被設置于存儲庫區域10b的存儲庫10的一部分,能夠在存儲庫區域10b內的保管部11與交接口12之間進行物品2的交接。此外,在懸掛式起重機30的移動中,在從當前的軌道向下一個軌道換乘時、或者以曲線狀移動時也可降低移動速度,防止下垂的桅桿32因振動或者離心力等向外側擺動。另外,懸掛式起重機30走從存儲庫區域10b向存儲庫區域10a移動的情況下,與上述相同,首先,從存儲庫區域10b內的起重機軌道20c經由第二連結軌道60b向第二機架間軌道44移動。接著,懸掛式起重機30向第二機架內環繞軌道42的外繞軌道42a移動,經由連接軌道42c向內繞軌道42b移動。接著,懸掛式起重機30從機架間軌道43側的連接軌道42c向外繞軌道42a移動,從外繞軌道42a向機架間軌道43移動,從機架間軌道43經由連結軌道60a向存儲庫區域10a內的起重機軌道20移動。如上所述,根據本實施方式的搬運系統100。梁溪區公司商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興商鋪搬運服務
第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區段內頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示、第二保管區域sa1、sa2的、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側觀察、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示,、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設置進入在物品2的底面設置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部,由此相對于架部定位物品2。各、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態。、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛,由此在、第二保管部20a、20b等的下方,例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個。、第二保管部20a、20b在各個、第二保管區域sa1、sa2配置兩列。、第二保管部20a、20b的各個列相對于裝載端口lp的列在x方向對置配置。保管部20a配置于相對于區段內頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯開的位置。江陰質量商鋪搬運電話梁溪區長途商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
參照圖6)。因此,起重機用行駛部31或者搬運車用行駛部51能夠無障礙地在以及第二連結軌道60a、60b行駛。這樣,將上述軌道設為相同的剖面形狀,由此能夠實現軌道的標準化,能夠以低成本進行軌道的設置。在上述搬運系統100中,懸掛式起重機30在存儲庫區域10a或者存儲庫區域10b內,沿著起重機軌道20行駛,在保管部11與交接口12之間搬運物品2。例如,懸掛式起重機30能夠通過物品移載部34(參照圖4)接受被保管部11保管的物品2,沿著起重機軌道20行駛至交接口12,將物品2載置于交接口12。另外,在利用高架搬運車50將物品2載置于交接口12的情況下,懸掛式起重機30能夠沿著起重機軌道20行駛到交接口12,利用物品移載部34接受物品2之后,沿著起重機軌道20行駛到移載目的地的保管部11,通過物品移載部34將物品2載置于保管部11。另外,在搬運系統100中,高架搬運車50在利用懸掛式起重機30將物品2載置在交接口12的情況下,沿著高架搬運車軌道40行駛至存儲庫區域10a的交接口12。然后,能夠由物品保持部53(參照圖5)保持物品2,在高架搬運車軌道40行駛,由此將物品2搬運到其它存儲庫區域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區st,在他們各自處載置物品2。另外。
這兩種方案中的路徑并不相同,因此方案1和方案2雖然都已經遍歷了所有的上游和下游,但是用的時間確實大相徑庭的。事實上,如果我們開始出發點不是B1點,而是B2點,此時又會有另外兩種方案3和方案4,路徑也與上述的不同,自然用的時間也不同。我們可以按照先按方案1從B1點出發搬運完成后回到B2點,然后按照方案3從B2點出發搬運完成后回到B1點,然后再按照方案2從B1點出發搬運完成后回到B2點,后按照方案4從B2點出發搬運完成后回到B1。以上通過4次不同的復合搬運作業,完成了4次不同的遍歷方式,涵蓋了所有的上下游的搬運方案,如果4中搬運方案出現的概率平均,并且4中方案的搬運周期分別為T1、T2、3、T4,則可以得到從上游到下游的總周期時間為:T1+T2+T3+T4。可以得到總的平均效率為:E=2*I*4*3600/(T1+T2+T3+T4);注:以上將2對2的所有的搬運方案當做一個循環時間來作為搬運周期,其中的搬運路徑總共計算了16次(其中有若干重復),而實際中很多情況下,上游下游的數量要比2多的多,如果按照上邊的計算流程來估算效率,計算的工作量非常大。如果有m個上游點,有n個下游點,從某個下游點將每個上游點以此搬運到所有的n點,總共的搬運方案有n*m!。梁溪區學校商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
在半導體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運,提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如,參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運車和起重機對應地,分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設置花費成本,需要用于鋪設各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應,因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素:本發明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本,并且分擔高架搬運車與起重機的作用,由此高效地搬運物品的搬運系統以及搬運方法。本發明所涉及的搬運系統具備:區段內頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設置;第二區段內頂棚軌道。錫山區品質商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興短途商鋪搬運
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圖4是表示懸掛式起重機的一個例子的圖。圖5是表示高架搬運車的一個例子的圖。圖6是表示起重機用行駛部以及搬運車用行駛部的一個例子的圖。圖7是表示使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是表示與圖7接續、使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是表示與圖8接續、使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示與圖9接續、使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖11是表示規定區域是維護區域的一個例子的俯視圖。圖12是表示包含初始投入部的規定區域的一個例子的俯視圖。具體實施方式以下,參照附圖來說明本發明的實施方式。但是,本發明并不限于該實施方式。另外,在附圖中為了說明實施方式,放大或強調地記載一部分等適當地改變比例尺來表示。圖1是表示本實施方式的搬運系統100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統100例如被設置于半導體設備的制造工廠等,搬運收納有在半導體設備的制造中被使用的半導體晶圓的foup,或者收納有中間掩膜等的中間掩膜盒等物品2。這里雖說明了物品2是foup的情況。宜興商鋪搬運服務