術語“***”“第二”等用以在相近元素之間展開區(qū)分，且不見得是用以敘述特定順序或時間次序。要明白，在合適情形下，如此采用的這些術語可替換。相近的，如果本文所述的方式包括一系列步驟，且本文所展現(xiàn)的這些步驟的依次并非須要是可執(zhí)行這些步驟的***依次，且一些所述的步驟可被略去和/或一些本文未敘述的其他步驟可被添加到該方式。在半導體制造工藝中，有多種工藝腔體是運用旋轉的方法開展工作，但是旋轉就避免不住將剩余的化學物質甩到裹腔體的內壁上?，F(xiàn)有技術中多數(shù)是對工藝腔體的體壁開展定期維護與保養(yǎng)，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應的體壁備用更換，致使下降了生產效率。為了有效性的操縱上述疑問，本實用新型提供了一種工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，且提高生產效率。如圖1所示，圖1為本實用新型實施例提供的工藝腔體側面剖視圖。本實用新型提供了一種工藝腔體10，包括：內層體壁21，由所述內層體壁21平分而成的內層體壁段22；由承載所述內層體壁21的承載物平分而成的承載段11，所述內層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于；在所述內層體壁21**設立的**少一個替換體壁段23。邯鄲洺洲緊固件廠家開體花蘭設計。浙江開體花蘭螺絲產品標準

    擬解決現(xiàn)有鋼棍旋轉花蘭體存在不便利及不安全等問題。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種花蘭體旋緊裝置，用于旋緊花蘭體，所述花蘭體上端設有上螺紋孔，用于和上拉桿的下螺紋柱配合；所述花蘭體下端設有下螺紋孔，用于和下拉桿的上螺紋柱配合；所述花蘭體上端和下端通過左連接柱和右連接柱連接；所述左連接柱和右連接柱之間保持間隙；包括立柱、伸縮手柄和兩個抓手；所述伸縮手柄固定在立柱中部；所述立柱兩端固定有抓手；所述抓手用于接觸左連接柱和右連接柱，使伸縮手柄可推動花蘭體自轉。由上述結構可知，所述伸縮手柄固定在立柱中部，在沒有遇到障礙時，可以把伸縮手柄調到更長位置，增大力臂，方便旋動花蘭體；遇到障礙時，縮短伸縮手柄，躲避障礙物；由于建筑工地的復雜性，采用伸縮手柄可調節(jié)長度，適應性更好。立柱兩端固定有抓手，所述抓手用于接觸左連接柱和右連接柱，這樣左連接柱和右連接柱都有兩個相隔一定距離的位置被抓持，不容易造成花蘭體變形，保護了花蘭體。進一步的，所述伸縮手柄包括固定筒、彈簧和活動桿；所述固定筒固定在立柱中部；所述固定筒左端設有左限位板，右端設有右限位板；所述右限位板上穿有活動桿。河北開體花蘭定做價格定制開體花蘭選邯鄲洺洲緊固件。

    匯聚在工藝腔體內壁的光刻膠在干燥之后會演變?yōu)轭w粒物，在涂布下一片晶圓時，高速轉動的晶圓會產生擾流并在晶圓的外緣區(qū)域形成細微的真空，這些真空會吸引匯聚在工藝腔體內壁的顆粒物，**后散布在晶圓的表面，引致晶圓產生毛病?，F(xiàn)有技術中會對工藝腔體的體壁開展定期維護與保養(yǎng)，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應的體壁備用更換，引致下降了生產效率。因此，有必要提供一種可自動更換及清洗體壁的工藝腔體。技術實現(xiàn)元素：本實用新型的目的在于提供一種新的工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，從而提高生產效率。為了達到上述目的，本實用新型提供了一種工藝腔體，包括：內層體壁，由所述內層體壁平分而成的內層體壁段；由承載所述內層體壁的承載物平分而成的承載段，所述內層體壁段的數(shù)目和所述承載段的數(shù)目等于；在所述內層體壁**設立的**少一個替換體壁段，所述替換體壁段與所述內層體壁段的形狀及尺寸相同；承載并移動所述替換體壁段的軌道段；所述承載段和所述軌道段形狀和尺寸相同，所述承載段和所述軌道段能對調位置。可選的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體底部設有移動塊。

    也可以使所述噴嘴13的數(shù)目相等所述替換體壁段23的數(shù)目。一般而言的，所述工藝腔體10內還包括一被轉動軸14承載的吸盤15以及**少三根支撐桿16，三根所述支撐桿16成三角設立于所述吸盤15內，能在所述吸盤15內升高下滑，其中所述轉動軸14帶動所述吸盤15旋轉，所述吸盤15用以吸附晶圓30，三根所述支撐桿16用以便捷所述晶圓30的放置或取出。進一步的，所述工藝腔體10還包括一排水管17和一排氣管18，用以排出所述工藝腔體10內的廢氣和廢水等，所述排水管17推薦設立于所述工藝腔體10的底部，所述排氣管18可以座落所述工藝腔體10的任意位置。所述軌道段12外還設立有一層包裹層19，所述包裹層19用以裹所述工藝腔體10內的所有構造。在一個實施例中，參考圖2，圖2為本實用新型另一實施例提供的工藝腔體俯視圖。例如更換ab段的所述內層體壁段22的步驟如下：s1：將ab段外側的替換體壁段23移動至第二軌道段42上；s2：ab段的所述內層體壁段22移動至***軌道段41上，接著轉動至所述***軌道段41上的bc段或af段；s3：將所述第二軌道段42ab段上的替換體壁段23連續(xù)移動至內層體壁21處，則替換成功；s4：迅速將移動至***軌道段41上的bc段或af段的內層體壁段22。多年緊固件生產廠家，選我們邯鄲洺洲緊固件。

    所述內層體壁段的數(shù)目和所述承載段的數(shù)目等于；在所述內層體壁**設立的**少一個替換體壁段，所述替換體壁段與所述內層體壁段的形狀及尺寸相同；承載并移動所述替換體壁段的軌道段；所述承載段和所述軌道段形狀和尺寸相同，所述承載段和所述軌道段能交換位置?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體底部設有移動塊，所述移動塊帶動各所述承載段和各所述軌道段環(huán)繞所述工藝腔體轉動移動或沿所述工藝腔體中心徑向移動?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述移動塊與任一所述承載段或任一所述軌道段為總體構造。可選的，在所述工藝腔體中，所述軌道段為**少一層設置，所述軌道段的數(shù)目**低所述承載段的數(shù)目，以預留所述承載段的活動位置?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述替換體壁段的數(shù)目為低于或相等所述內層體壁段數(shù)目的一半，且所述替換體壁段的數(shù)目相等所述軌道段的數(shù)目?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體還包括**少一個噴嘴，所述噴嘴設立于所述軌道段的上方?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述噴嘴的數(shù)目相等所述替換體壁段的數(shù)目?？蛇x的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體內還包括一吸盤以及**少三根支撐桿，三根所述支撐桿成三角設立于所述吸盤內。開體花蘭沖破行業(yè)底價，開體花蘭高質量。天津開體花蘭螺絲批發(fā)

開體花蘭防盜防松裝置拆卸后，不需將其拿下，利用其上的環(huán)導板沿拉桿滑動，移動一距離就可調節(jié)操作。浙江開體花蘭螺絲產品標準

    用以即時替換被水污染的內層體壁段，從而可以分批次對內層體壁段開展替換，既不影響生產，也更換了更干凈的內層體壁，減小了對晶圓的污染，提高產品質量。附圖說明圖1為本實用新型實施例提供的工藝腔體側面剖視圖。圖2為本實用新型實施例提供的工藝腔體俯視圖。附圖標記說明：10-工藝腔體；11-承載段；12-軌道段；13-噴嘴；14-轉動軸；15-吸盤；16-支撐桿；17-排水管；18-排氣管；19-包裹層；21-內層體壁；22-內層體壁段；23-替換體壁段；30-晶圓；41-***軌道段；42-第二軌道段。具體實施方式下面將結合示意圖對本實用新型的實際實施方法開展更詳盡的描述。根據(jù)下列描述，本實用新型中的優(yōu)點和特點將更明了。需解釋的是，附圖均使用十分簡化的形式且均采用非精細的比重，*用以簡便、清晰地輔助解釋本實用新型實施例的目的。在下文中，術語“***”“第二”等用以在相近元素之間展開區(qū)分，且不一定是用以敘述特定順序或時間依次。要了解，在合適狀況下，如此用到的這些術語可替換。相近的，如果本文所述的方式包括一系列步驟，且本文所顯現(xiàn)的這些步驟的次序并非須要是可執(zhí)行這些步驟的***次序，且一些所述的步驟可被略去和/或一些本文未敘述的其他步驟可被添加到該方式。浙江開體花蘭螺絲產品標準

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