光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統進行測量，提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數據。它的創新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量，并且只需要使用一個傳感器從工件的一側進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高，體積小，且帶有便捷的數據接口，因此很容易集成到在線生產和檢測設備中 實現線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度，該傳感器可以對震動物體進行測量，同時采用無觸碰設計，避免了測量過程中對震動物體的干擾，也可以對復雜區域進行詳細的測量和分析 。光譜共焦技術可以實現高分辨率的成像和分析。光譜共焦原理

三坐標測量機是加工現場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備，其具有通用性強，精確可靠等優點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度在線測量的方法，利用工業現場常用的三坐標測量機平臺執行輪廓掃描，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標，根據空間坐標關系，將測量掃描區域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓，經高斯濾波處理得到測量對象的表面粗糙度信息 。高采樣速率光譜共焦供應鏈光譜共焦位移傳感器可以實現亞微米級別的位移和形變測量，具有高精度和高分辨率的特點。

為了提高加工檢測效率 ，實現尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量，提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現場坐標測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實驗測量系統且在Lab VIEW平臺上開發系統的硬件通訊控制模塊，并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環境，建立了非接觸的表面粗糙度測量能力。對標準臺階、表面粗糙度標準樣塊和曲面輪廓樣品進行了測量，實驗結果表明:該測量系統具有較高的測量精度和重復性，粗糙度參數Ｒa的測量重復性為0.0026μm，在優化零件檢測流程和提高整體檢測效率等方面具有一定的應用前景。

隨著工業快速的發展 ，對精密測量技術的要求越來越高，位移測量技術作為幾何量精密測量的基礎，不僅需要超高測量精度，而且需要對環境和材料的大量適應性，并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統接觸式測量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應性等明顯優勢。本文通過對光譜共焦傳感器應用場景的分析，有助于廣大讀者進一步加深對光譜共焦傳感器技術的理解。得益于納米級精度及超好的角度特性，光譜共焦位移傳感器可用于對表面粗糙度進行高精度測量。相對于傳統的接觸式粗糙度儀，光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對產品表面無任何損傷。激光技術的發展推動了激光位移傳感器的研究和應用。

本文通過對比測試方法，考核了基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測量曲線 ，二者低階輪廓整體相似性高，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對較低，只適合測量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線，發現兩種方法在模數低于100的功率譜范圍內測量結果一致性較好，但當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于共焦光譜檢測數據受多種因素影響，高頻隨機噪聲可達100nm左右。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的微小變形進行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義；線光譜共焦供貨

光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、醫學、納米技術等多個領域；光譜共焦原理

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應用。玻璃基板的品質對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數據都是有關鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構件。這是一種表層極為平坦的方法生產制造薄玻璃鏡片。現階段在商業上運用的玻璃基板，其厚度為0.7 mm及0.5m m，且將要邁進特薄（如0.4mm）厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄，而厚度規格監管又比較嚴格，一般在0.01mm的公差，關鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創視智能自主生產研發的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題 ，一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數的收集，再加上與此同時選用多個感應器測量，不僅提高了高效率，并且防止觸碰測量所造成的二次損害。光譜共焦原理