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光譜共焦是一種綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù)的高精度位移傳感器,在3C(計(jì)算機(jī)、通信和消費(fèi)電子)電子行業(yè)中應(yīng)用極為大量。光譜共焦傳感器可以用于智能手機(jī)內(nèi)線性馬達(dá)的位移測量,通過實(shí)時(shí)監(jiān)控和控制線性馬達(dá)的位移,可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度。也能測量手機(jī)屏的曲面角度 、厚度等。平板電腦內(nèi)各種移動(dòng)結(jié)構(gòu)部件的位移和振動(dòng)檢測是平板電腦生產(chǎn)過程中非常重要的環(huán)節(jié)。光譜共焦傳感器可以通過對平板電腦內(nèi)的各種移動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制元件進(jìn)行精密位移、振動(dòng)、形變和應(yīng)力等參數(shù)的測量,從而實(shí)現(xiàn)對其制造精度和運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。光譜共焦技術(shù)可以解決以往傳感器和測量系統(tǒng)精度與視場不能兼容的問題。高性能光譜共焦按需定制
客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測量設(shè)備檢查對齊情況,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,這太長了。“因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間。現(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由于移動(dòng)機(jī)器人的振動(dòng)引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨(dú)的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件 。該機(jī)器現(xiàn)已經(jīng)過測試和驗(yàn)證。新型光譜共焦優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器可以用于材料、結(jié)構(gòu)和生物等領(lǐng)域的位移和形變測量。
光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,其測量精度可達(dá)到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器,它在偏移測量方面具有更加明顯的優(yōu)勢。由于它的高精度特性,光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應(yīng)用,如漫反射光和平面反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜和透明材料薄厚測量,外表粗糙度測量等。在偏移測量方面,光譜共焦傳感器的主要功能就是測量偏移。研究人員對光譜共焦傳感器的散射目鏡進(jìn)行了分析,并制定了相應(yīng)的構(gòu)造來提高其各項(xiàng)特性;也有研究人員利用光譜共焦傳感器對飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)電機(jī)轉(zhuǎn)子葉片空隙進(jìn)行了高精度和高效率的測量。在平整度測量方面,研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測誤差,并對平面圖檢測誤差展開了科學(xué)研究。通過利用光譜共焦傳感器對圓平晶的平整度展開測量,他們獲得了平面圖檢測誤差的數(shù)值。
本文通過對比測試方法,考核了基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測量曲線 ,二者低階輪廓整體相似性高,但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測量上存在一定的偏差。此外,白光共焦光譜的信噪比也相對較低,只適合測量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線,發(fā)現(xiàn)兩種方法在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)測量結(jié)果一致性較好,但當(dāng)模數(shù)大于100時(shí),白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點(diǎn)。由于共焦光譜檢測數(shù)據(jù)受多種因素影響,高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。光譜共焦技術(shù)在汽車制造中可以用于零件的精度檢測和測量。
隨著社會(huì)不斷的發(fā)展,我們智能設(shè)備的進(jìn)化越發(fā)迅速,愈發(fā)精密的設(shè)備意味著,對點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的要求,需要應(yīng)對更高的點(diǎn)膠精度。更靈活的點(diǎn)膠角度。目前手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí),需要在中板上點(diǎn)一圈透明的UV膠,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行完美測量,使用非接觸式光譜共焦傳感器,可以避免不必要的磕碰。由于光譜共焦傳感器的復(fù)合光特性,可以完美的高速測量膠水的高度和寬度。由于膠水自身特性:液體,成型特性:帶有弧形,材料特性:透明或半透明。普通測量工具測試?yán)щy 。光譜共焦技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域可以用于材料表面和內(nèi)部的成像和分析。高精度光譜共焦測量方法
光譜共焦位移傳感器廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械制造等。高性能光譜共焦按需定制
線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測量技術(shù)是一種利用光譜信息進(jìn)行空間分辨的光學(xué)技術(shù) 。該技術(shù)利用傳統(tǒng)共焦顯微鏡中的探測光路,再加入一個(gè)光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器,實(shí)現(xiàn)對樣品的空間和光譜信息的同時(shí)采集和處理。該技術(shù)的主要特點(diǎn)在于,采用具有線性色散特性的透鏡組合,將樣品掃描后產(chǎn)生的信號分離出來,利用光度計(jì)或CCD相機(jī)等進(jìn)行信號的測量和分析,以獲得高分辨率的空間和光譜數(shù)據(jù)。利用該技術(shù)我們可以獲得材料表面形貌和屬性的具體信息,如化學(xué)成分,應(yīng)變、電流和磁場等信息等。與傳統(tǒng)的共焦顯微技術(shù)相比,線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測量技術(shù)具有更高的數(shù)據(jù)采集效率和空間分辨能力,對一些材料的表征更為準(zhǔn)確,也有更好的適應(yīng)性和可擴(kuò)展性,適用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米科技等領(lǐng)域的研究。但需要指出的是,由于其透鏡組合和光譜儀器的加入 ,該技術(shù)的成本相對較高,也需要更強(qiáng)的光學(xué)原理和數(shù)據(jù)分析能力支持,因此在使用前需要認(rèn)真評估和優(yōu)化實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。高性能光譜共焦按需定制