傳統的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同，其橫向偏移不相等，導致多色光的光軸發生分離，經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個系統產生較大誤差，難以保證整個系統的測量精度。因此，本方案采用的半透半反光學鏡2300實現所有多色光的波長共光軸，不發生光軸偏移，即發射光線和接收光線沿光軸完全對稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時其結構簡單，提高機械結構的可加工性。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。如何選光譜共焦位移傳感器產品原理

光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。 光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區域就能夠沿原路返回,可以解決傳統的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。本地光譜共焦位移傳感器出廠價光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。

位于沉孔的開口端，通過粘接固定設置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質或塑料材質，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導光光纖從發光件傳導過來的光發散傳導到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現可拆卸連接，導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上，這樣導光光纖傳導從發光件發出來的光時，不可避免的會產生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產生配合間隙，導光光纖的熱量大部分會傳導到上殼體上，上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產生的形變量，從而減少產生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響，提高探頭精度。

根據權利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學頭是2個光學頭或者3個光學頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學頭中的各光學頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光;使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該傳感器適用于高分辨率成像系統，如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。

采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產生內部干擾，提高了光譜共焦系統的信噪比；而且通過設置發射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產生內部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統的穩定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩定。該傳感器可用于微納制造、生物醫學、半導體制造等領域中的精密測量。南通光譜共焦位移傳感器產品原理

光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優點。如何選光譜共焦位移傳感器產品原理

光譜共焦位移傳感器系統中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。如何選光譜共焦位移傳感器產品原理