本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,光源耦合器作為單獨結構與探頭殼體分開設置。提示組件包括在光源耦合器內,通過卡扣可拆卸設置,用于產生提示光的發光件;發光件也可直接固定在光源耦合器內。發光件為雙色LED燈,也可為其他可見光光源,當探頭操作正常且被測物體在有效測量區域時,由控制系統發出控制信號點亮發光件,發光件發出綠色光,提醒使用者操作正常,可以繼續操作。當探頭操作不正常或被測物體不在有效測量區域時,由控制系統發出控制信號點亮發光件,發光件發出紅光,提示使用者操作出現問題,需要更正。發光件發出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,增加便利性。該傳感器適用于高分辨率成像系統,例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。寶山區光譜共焦位移傳感器以客為尊
機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣,通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向,從而充分利用上下空間,使原有的水平光路變換為上下光路,使光譜儀的長度變短,有利于光譜儀小型化和便攜化。設備光譜共焦位移傳感器產品原理該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。
激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現代技術的發展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段,并可以通過與計算機及應用軟件配合實現測量數據實時處理,為工業生產制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中,國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。 光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區域就能夠沿原路返回,可以解決傳統的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行實時監測,對于研究材料的力學行為具有重要意義。
光譜共焦位移傳感器系統中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。它的精度可以達到納米級別,適用于各種需要高精度位移測量的領域。廣州國產光譜共焦位移傳感器
該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。寶山區光譜共焦位移傳感器以客為尊
6.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機殼,固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。寶山區光譜共焦位移傳感器以客為尊