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線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中 多個(gè)光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過(guò)以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測(cè)量光。特別地,通過(guò)使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來(lái)在不同位置處設(shè)置多個(gè)光入射口,可以容易將各測(cè)量光射出至多個(gè)受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測(cè)量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料的變化情況,對(duì)于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。常州光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高
通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束。基于線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說(shuō)明書中的任何效果。嘉興光譜共焦位移傳感器按需定制傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。
發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間,固定設(shè)置有濾光片,濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間,濾光片用于過(guò)濾紅外線,以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時(shí),使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔,連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部,且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接;這樣,通過(guò)沉孔的設(shè)置,在探頭殼體上形成對(duì)導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓,避免使用者在使用過(guò)程中觸碰到導(dǎo)光光纖,從而影響影響導(dǎo)光光纖,或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。
隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對(duì)高精密的檢測(cè)需求也越來(lái)越高,因此高精密的位移傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。超精密的位移傳感器精度可達(dá)到微納米級(jí)別;傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會(huì)劃傷被測(cè)物體表面,而且當(dāng)被測(cè)物體為弱剛性或是輕軟材料時(shí),接觸式測(cè)量也會(huì)造成彈性形變,引入測(cè)量的誤差,而且接觸式測(cè)量速度較慢,難以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量,基于接觸式測(cè)量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關(guān)注。如今非接觸式測(cè)量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對(duì)被測(cè)物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號(hào)的干擾也會(huì)對(duì)測(cè)量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測(cè)量原理是激光光源打在被測(cè)物體表面,反射的光經(jīng)過(guò)收光鏡簡(jiǎn),在光電探測(cè)器CCD上成像通過(guò)算法標(biāo)定可以推算出被測(cè)物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過(guò)兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測(cè)物的位移量測(cè)量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本相對(duì)較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導(dǎo)致接收反射光困難,對(duì)透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測(cè)量。光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響,提高了測(cè)量精度。
光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過(guò)No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來(lái)測(cè)量待測(cè)物體上的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置。換句話說(shuō),可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測(cè)物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的情況,并且可以同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)不同的待測(cè)物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測(cè)量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測(cè)量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長(zhǎng)光的情況,并且可以射出分別與測(cè)量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),對(duì)于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。哪些光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)
光譜共焦位移傳感器是一種先進(jìn)的光學(xué)測(cè)量技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)高精度的位移測(cè)量。常州光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高
易于想到的是,發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光,如當(dāng)被測(cè)物體放置在efficient測(cè)量區(qū)域但不是best位置時(shí),發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖,導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對(duì)發(fā)光件的發(fā)光面,探頭殼體上開設(shè)有插槽,導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過(guò)插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁,從而實(shí)現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,當(dāng)手握探頭殼體進(jìn)行位置測(cè)量時(shí),方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光,通過(guò)指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。常州光譜共焦位移傳感器性價(jià)比高