系統的整體結構如圖1所示。從圖1可以看出，整個系統由上位機、激光位移傳感器和平臺運動控制系統三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測頭和監視器組成。平臺運動控制系統主要由平移臺運動控制器、驅動器、電源和二維電動平移臺組成。系統的部分設備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理。參考距離根據被測對象物的變化可測量范圍為2 mm，基準距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達到滿量程的0.3％，即精度達到6μm。激光位移傳感器在金屬行業的應用案例。徐匯區激光位移傳感器產品基本性能要求

所述可伸縮導軌1包括一電動伸縮雙直線導軌11、一No.1支撐件15、一第二支撐件16、一滑動輪12、一伸縮制動開關13以及一控制面板14；所述電動伸縮雙直線導軌11包括一伺服電機(未圖示)、一雙直線導軌111以及一絲桿(未圖示)，所述絲桿設于所述雙直線導軌111內部，所述絲桿與所述雙直線導軌111動聯接，所述伺服電機設于所述雙直線導軌111的末端且與所述絲桿連接，所述伺服電機通過所述絲桿聯動所述雙直線導軌111進行伸縮；所述No.1支撐件15安裝在所述電動伸縮雙直線導軌11固定端的底部，所述第二支撐件16安裝在所述電動伸縮雙直線導軌11可伸縮端的底部；所述滑動輪12設于所述第二支撐件16的底部，所述電動伸縮雙直線導軌11可通過所述滑動輪12進行伸縮；所述伸縮制動開關13設于所述第二支撐件16的側面，用于伸縮制動的開啟與關閉；所述控制面板14與所述電動伸縮雙直線導軌11電連接，所述控制面板14用于控制所述電動伸縮雙直線導軌11的伸縮距離。徐匯區激光位移傳感器產品基本性能要求它可以用于測量物體的形狀和輪廓，以提供準確的幾何信息。

傳統的接觸式平面檢測精度低、穩定性差及對對象物檢測條件要求苛刻，已逐漸被現代非接觸式平面檢測所替代。非接觸式激光平面檢測系統以其高精度、高分辨率及不受對象物材質、顏色或傾斜度的影響等優點，可對任何對象物進行平面檢測。介紹系統結構和激光位移傳感器的工作機理，并進行平面定性檢測和定量檢測試驗，用OpenGI。繪制及擬合三維曲面。試驗結果表明，該系統平面檢測結果較好地反映出對象物平面起伏情況，并且達到系統的精度要求。

在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子弧矢向的情況下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學元器件，并且配合微調所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結果滿足條件。反光元件，反光元件設置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經反光元件反射后，入射到感光元件。激光位移傳感器可以測量位移、厚度、振動、距離、直徑等精密的幾何測量。

激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響，為了減小測量誤差，在整形鏡設計中應盡量使出射光斑在有效的測量范圍內實現光斑小且均勻。針對傳感頭小型化設計的要求，半導體激光器體積小、重量輕的優點正好符合這一要求，但其光束質量并不理想，需要對其進行光束整形。半導體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發散角較大，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布，發光范圍的半寬度為0.6～0.8μm，慢軸發散角的半角典型值為3～6°，光束分布不規則，發光范圍半寬度為50～100μm。因此，在不允許能量損失的情況下，要求整形系統的物方數值孔徑(NA)>0.573；但由于光束的快軸能量呈高斯分布，通常取半寬度(FWHM)為20°，此時NA=0.342。系統物距應盡量小一些，但考慮到工藝問題，不宜過小，選定為2.5mm。為了便于設計，將系統倒置，整個系統的主要要求為:工作波長為785±10nm，像方NA=0.342，像距l′=2.5mm，物距l=40～60mm，焦距f=3～4mm。它可以實時監測物體的位移變化，提供準確的數據支持。徐匯區激光位移傳感器產品基本性能要求

它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量，可以方便地安裝在各種設備和系統中。徐匯區激光位移傳感器產品基本性能要求

如權利要求2所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置，其特征在于：所述微調裝置包括一蝸輪蝸桿機構、一電子測量儀以及一微調平臺；所述微調平臺設于所述電動伸縮雙直線導軌上端的尾部，所述微調平臺的末端向上設有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機構設于所述微調平臺的前端；所述電子測量儀的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構。如權利要求3所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置，其特征在于：所述蝸輪蝸桿機構包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調節把手；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測量儀抵接；所述位移調節把手與所述蝸輪的中心固接。徐匯區激光位移傳感器產品基本性能要求