傳統的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同，其橫向偏移不相等，導致多色光的光軸發生分離，經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個系統產生較大誤差，難以保證整個系統的測量精度。因此，本方案采用的半透半反光學鏡2300實現所有多色光的波長共光軸，不發生光軸偏移，即發射光線和接收光線沿光軸完全對稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時其結構簡單，提高機械結構的可加工性。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。鎮江銷售光譜共焦位移傳感器

光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應當理解的是，本實用新型的應用不限于上述的舉例，對本領域普通技術人員來說，可以根據上述說明加以改進或變換，所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。一條連接結構，實現便于裝配的同時，對入射光纖，接收光纖，多個導光光纖進行保護。創視智能嗯江蘇光譜共焦位移傳感器定做價格光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響，提高了測量精度。

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。

根據權利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學頭是2個光學頭或者3個光學頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學頭中的各光學頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光;使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。

光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，提示組件包括有：發光件，發光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導發光件所發出的提示光。進一步，入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。采用上述方案的有益效果是：本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內，通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產生對應關系；光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術，具有廣闊的應用前景。蘇州光譜共焦位移傳感器行情

該傳感器可用于微納制造、生物醫學、半導體制造等領域中的精密測量。鎮江銷售光譜共焦位移傳感器

準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置，且準直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點。這樣，使準直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學系統，進一步減小雜散光。準直鏡組與色散聚焦鏡組結構簡單，易于加工裝配和調整，同時實現準直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數關系的優點；例如，軸向色散與波長產生三次函數關系，有利于加快后續處理數據的運算速度。本實用新型的光譜儀包括有機殼，在機殼中固定設置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上，棱鏡組用于對反射光進行色散，在機殼內固定設置有聚焦透鏡組，聚焦透鏡組用于對色散后的光進行聚焦，位于機殼內的所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。鎮江銷售光譜共焦位移傳感器