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校驗光譜共焦位移傳感器產品原理

來源: 發布時間:2024-06-30

本實用新型解決的技術問題在于,針對現有技術的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光;該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。校驗光譜共焦位移傳感器產品原理

通過配置線傳感器和光學系統等以使得測量對象區域變成彼此不同的區域,可以高精度地執行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術,可以使用少量的組件來執行2個或3個點的同時測量。根據本發明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區域射出衍射光束?;诰€傳感器的多個受光區域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據本發明,可以利用少量的組件來執行多點測量。應當注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。寧波光譜共焦位移傳感器歡迎選購光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響,提高了測量精度。

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。

將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發光區域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應當注意,可以適當地設計發光區域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學系統等。光纖分束器將從光纖導入的白色光W導出至與No.1光學頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導入的測量光進行分支,并且將其導出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內部。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術,具有廣泛的應用前景。

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,入射光纖固定連接在光源耦合器上后,入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中,入射光纖用于接收并傳導所述多色光光源所發出的多色光;,在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度,并對被測物體的反射光進行接收和傳導;在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖,接收光纖的入光端固定設置在光譜共焦位移傳感探頭內,接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光,接收到的反射光在接收光纖內進行傳導;該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。常用光譜共焦位移傳感器哪個品牌好

傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進行測量。校驗光譜共焦位移傳感器產品原理

在探頭殼體的內側壁上固定設置有反光鏡,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發出的反射光,即反光鏡對半透半反光學鏡所反射的光線進行再次反射,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,通過反光鏡所反射的反射光進入到接收光纖的入光端,再通過接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導光的纖芯直徑均為微米級,直徑通常為50-100毫米,導光直徑非常小,當反射光的焦點落在接收光纖的纖芯之外時,無法對反射光進行接收,而需要測量的相應波長的反射光可以順利通過接收光纖的纖芯,被順利接收和傳導,實現對不同波長的反射光進行選擇和物理過濾,因此可以通過縮小光纖的纖芯直徑來使采樣信號更銳利,從提高采樣信號的信噪比和測量精確度。校驗光譜共焦位移傳感器產品原理