在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖，入射光纖固定連接在光源耦合器上后，入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中，入射光纖用于接收并傳導(dǎo)所述多色光光源所發(fā)出的多色光；，在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度，并對被測物體的反射光進(jìn)行接收和傳導(dǎo)；在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖，接收光纖的入光端固定設(shè)置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光，接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進(jìn)行傳導(dǎo)；該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測量。深圳設(shè)備光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端，光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦，并對被測物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)。接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光； 光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。安徽光譜共焦位移傳感器推薦該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性。

本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1、該系統(tǒng)采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對采集的光波進(jìn)行采集分析2、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,易于產(chǎn)業(yè)化,測量精度高,能對有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進(jìn)行測量3、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物適應(yīng)性強(qiáng),適用于凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù):4、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量,且測量精度能夠達(dá)到亞微米級別。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,實(shí)用性強(qiáng),不僅實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,有利于提高測量精度,而且適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量。

多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個(gè)受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個(gè)光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性和效率。石家莊品牌光譜共焦位移傳感器

該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動(dòng)等效應(yīng)。深圳設(shè)備光譜共焦位移傳感器

白色光中所包括的多個(gè)可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點(diǎn)射出。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個(gè)顏色的光表示由物鏡分離的多個(gè)可見光束。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個(gè)可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對應(yīng)。波長入和聚焦位置P表示多個(gè)可見光數(shù)中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應(yīng)。波長和聚焦位置P表示多個(gè)可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).深圳設(shè)備光譜共焦位移傳感器