精密環控柜主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環,控制系統對循環氣流的每個環節進行處理,從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統可實現潔凈度百級、十級、一級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環境控制。自面世以來,已為相關領域客戶提供了穩定的實驗室環境以及監測服務,獲得了眾多好評。設備運行穩定性高,可連續穩定工作時間大于 144h。湖南環境設備
對于光學儀器,溫度哪怕有細微變化,都會引發諸多問題。由于大多數光學儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質的部件,這些材料熱膨脹系數各異。當溫度升高時,鏡片會膨脹,鏡筒等支撐結構也會發生相應變化,若膨脹程度不一致,就會使鏡片在鏡筒內的位置精度受到影響,光路隨之發生偏差。例如在顯微鏡觀察中,原本清晰聚焦的樣本圖像會突然變得模糊,科研人員無法準確獲取樣本細節,影響實驗數據的準確性。對于望遠鏡而言,溫度波動導致的光路變化,會讓觀測天體時的成像偏離理想位置,錯過重要天文現象的記錄。天津光譜儀環境精密環境控制設備內部,關鍵區域靜態下溫度穩定性高,可達 +/-5mK 精度。
我司憑借深厚的技術積累,自主研發出高精密控溫技術,精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環境控制。該系統潔凈度可實現百級、十級、一級。關鍵區域 ±5mK(靜態)的溫度穩定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內部溫度規格,為諸如芯片研發這類對溫度極度敏感的項目,打造了近乎完美的溫場環境,保障實驗數據不受溫度干擾。同時,設備內部濕度穩定性可達±0.5%@8h,壓力穩定性可達+/-3Pa,長達 144h 的連續穩定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實現百級以上潔凈度控制,工作區潔凈度優于 ISO class3,確保實驗結果的準確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。
光學儀器的生產對環境的潔凈度、溫濕度有著極其嚴格的要求,精密環控柜成為保障光學儀器高質量生產設備。在鏡頭研磨和鍍膜工藝中,微小的塵埃顆粒都可能在鏡頭表面留下劃痕或瑕疵,影響光線的透過和成像質量。精密環控柜配備的高效潔凈過濾器,能夠將空氣中的塵埃顆粒過濾至近乎零的水平,為鏡頭加工提供超潔凈的環境。同時,溫度的精確控制對于保證研磨盤和鏡頭材料的熱膨脹系數穩定一致至關重要。溫度波動可能導致研磨盤與鏡頭之間的相對尺寸發生變化,使研磨精度受到影響,導致鏡頭的曲率精度和光學性能不達標。擁有超高水準潔凈度控制能力,可達百級以上潔凈標準。
在電極制備環節,溫濕度的不穩定會對電極材料的涂布均勻性造成極大干擾。溫度過高,涂布用的漿料黏度降低,流動性增強,容易出現厚度不均的情況,這會使得電池在充放電過程中局部電流密度不一致,降低電池性能。濕度若偏高,漿料中的水分含量難以精細控制,水分過多不僅會改變漿料的化學性質,影響電極材料與集流體的附著力,還可能在后續干燥過程中引發氣泡,導致電極表面出現孔洞,增加電池內阻,降低電池的能量密度和充放電效率。磁屏蔽部分,可通過被動防磁和主動消磁器進行磁場控制。山東微生物環境
高精密環境控制設備由主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統等組成。湖南環境設備
質譜儀在半導體和電子芯片制造中承擔著對材料成分、雜質含量等進行高精度分析的重任。其工作原理基于對離子的精確檢測與分析,而環境中的微小干擾都可能影響離子的產生、傳輸與檢測過程。例如,空氣中的塵埃顆粒可能吸附在離子源或檢測器表面,導致檢測信號失真;溫濕度的波動可能改變儀器內部電場、磁場的分布,影響離子的飛行軌跡與檢測精度。精密環控柜通過高效的空氣過濾系統,實現超高水準的潔凈度控制,確保質譜儀工作環境無塵、無雜質。同時,憑借高超的溫濕度控制能力,將溫度波動控制在極小范圍,維持濕度穩定,為質譜儀提供穩定的工作環境,保證其對半導體材料的分析結果準確可靠。在半導體產業不斷追求更高集成度、更小芯片尺寸的發展趨勢下,精密環控柜的環境保障作用愈發關鍵,助力質譜儀為半導體材料研發、芯片制造工藝優化等提供有力的數據支撐,推動半導體產業的持續創新與發展。湖南環境設備