高效異質結電池生產流程中使用的設備，PECVD 1.等離子化學氣相沉積（PlasmaEnhancedCVD，PECVD）是指利用輝光放電的物理作用來化學氣相沉積反應的CVD技術；2.異質結非晶硅薄膜沉積是采用RPECVD技術，射頻等離子體增強化學氣相沉積（RFPlasma-EnhancedChemicalVaporDeposition,RPECVD），是PECVD的另外一種技術。它是利用射頻能量使反應氣體等離子化。優點：低溫成膜（300-350℃），對基片影響小，避免了高溫帶來的膜層晶粒粗大；l低壓下形成薄膜厚度及成分較均勻、膜層致密、內應力小，不易產生裂紋；l擴大CVD應用范圍，特別是在不同基片上制備金屬薄膜、非晶態無機薄膜等，薄膜的附著力大于普通CVD。異質結電池是光伏行業的新興技術，其轉換效率高，能夠顯著提升太陽能電池的整體性能。四川高效異質結低銀

光伏異質結是太陽能電池的主要組成部分，其應用前景非常廣闊。隨著全球對清潔能源的需求不斷增加，太陽能行業的發展前景也越來越廣闊。光伏異質結具有高效、環保、可再生等特點，可以廣泛應用于家庭、工業、農業等領域。在家庭領域，光伏異質結可以用于太陽能發電系統，為家庭提供清潔、穩定的電力供應。在工業領域，光伏異質結可以用于太陽能電站，為企業提供大規模的清潔能源。在農業領域，光伏異質結可以用于太陽能灌溉系統，為農民提供便捷、高效的灌溉服務。此外，光伏異質結還可以應用于交通、通信、航空等領域，為這些領域提供清潔、高效的能源供應。因此，光伏異質結在太陽能行業的應用前景非常廣闊，具有非常大的發展潛力。成都釜川異質結設備供應商光伏異質結的制造工藝包括薄膜沉積、熱處理、光刻等步驟，具有靈活性高、可定制化的優點。

高效異質結電池整線裝備，物理的氣相沉積，PVD優點沉積速度快、基材溫升低；所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；濺射工藝可重復性好，精確控制厚度；膜層粒子的散射能力強，繞鍍性好；不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合，同時濺射于基材上；缺點：常規平面磁控濺射技術靶材利用率不高，一般低于40％；在輝光放電中進行，金屬離化率較低。反應等離子體沉，RPD優點：對襯底的轟擊損傷小；鍍層附著性能好，膜層不易脫落；源材料利用率高，沉積速率高；易于化合物膜層的形成，增加活性；鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點：薄膜中的缺陷密度較高，薄膜與基片的過渡區較寬，應用中受到限制（特別是電子器件和IC）；薄膜中含有氣體量較高。

異質結電池整線生產設備，l在擴散的過程中，pn結p區一側出現負電荷區，n區一側出現正電荷區，其形成空間電荷區，在空間內部形成內建電場，載流子做漂移運動，阻礙電子與空穴的擴散，達到平衡，能帶停止相對移動，p區能帶相對于n區上移，n區能帶相對于p區下移，pn結的費米能級處處相等，即載流子的擴散電流和漂移電流相互抵消；pn結勢壘區存在較強的內建電場（自n區指向p區），則p區的電子進入n區，n區的空穴進入p區，使p端電勢升高，n端電勢降低，在pn結兩端產生光生電動勢，即為PN結的光生伏特效應。同理，由于光照在PN結兩端產生光生電動勢，即在PN結兩端加上正向偏壓V，則產生正向電流IF，在PN結開路時，光生電流等于正向電流，PN結兩端建立起穩定的電勢差VOC，即光電池的開路電壓，這就是光電池的基本原理。光伏異質結技術能夠降低電池的光衰減，提高電池的長期穩定性，延長電池的使用壽命。

異質結電池生產流程與常規晶硅工藝的區別。常規晶硅工藝：1、清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層，并且在表面進行制絨，以形成絨面結構達到陷光效果，減少反射損失；2、擴散制結。通過熱擴散等方法在硅片上形成不同導電類型的擴散層，以形成p-n結；3、刻蝕去邊。去除擴散后硅片周邊的邊緣結；4、去磷硅玻璃。擴散過程中，在硅片表面會形成一層含磷的氧化硅，稱為磷硅玻璃（PSG），需要用氫氟酸腐蝕去掉；5、鍍減反射膜。為進行一步提高對光的吸收，在硅片表面覆蓋一層減反射膜。常用PECVD進行SiNx薄膜沉積，同時起到鈍化的作用；6、柵線電極。在電池正面用絲網印刷進行柵線電極制作，在背面印刷背場(BSF)和背電極，并且進行干燥和燒結；7、電池測試及分選。光伏異質結在建筑、農業、交通等領域的廣泛應用，為綠色能源的發展提供了有力支持。鄭州自動化異質結鍍膜設備

光伏異質結的廣泛應用將有助于減少溫室氣體排放，降低對化石能源的依賴，實現可持續發展目標。四川高效異質結低銀

太陽能異質結電池工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層，并且在表面進行制絨，以形成絨面結構達到陷光效果，減少反射損失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H，作為鈍化層，然后再沉積摻雜層；3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進行TCO薄膜沉積；4.柵線電極。通過絲網印刷進行柵線電極制作；5.烘烤(退火)。通過絲網印刷進行正面柵線電極制作，然后通過低溫燒結形成良好的接觸；6.光注入。7.電池測試及分選。四川高效異質結低銀