真空計可以按照測量原理、結構特點以及使用范圍等進行分類。其中，按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如：波爾登規的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規和熱電偶規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa，經改進后的熱陰極電離規（如Bayard-Alpert規）可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。皮拉尼真空計有哪些優點？蘇州高純度真空計設備供應商

真空計按測量原理分類

靜態液位真空計測量原理：利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的，因此可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計測量原理：在U型管的基礎上應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。熱傳導真空計測量原理：利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關的原理制成。示例：電阻真空計、熱偶真空計等。熱輻射真空計測量原理：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關的原理。 廣東高精度真空計電容真空計有哪些優點？

辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發的，采用MEMS技術開發的電容真空計，該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法，精度可達到萬分之一，且不受氣體種類的限制的優點，是高精度高穩定性真空測量的理想選擇。

辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發的，采用MEMS技術開發的電容真空計，該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法，精度可達到萬分之一，且不受氣體種類的限制的優點，是高精度高穩定性真空測量的理想選擇。

結構組成

MEMS電容真空計主要由真空規管和測量電路兩部分組成。真空規管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結構等組件。測量電路則用于對電容變化進行處理，得到真空度的值。此外，MEMS電容真空計還可能包含一些輔助組件，如溫度補償器、校準電路等，以提高測量精度和穩定性。

性能特點

高靈敏度：MEMS電容真空計具有較高的靈敏度，能夠準確測量微小的真空度變化。寬測量范圍：通過優化設計和制造工藝，MEMS電容真空計可以實現較寬的測量范圍，滿足不同應用場景的需求。穩定性好：MEMS電容真空計具有良好的穩定性，能夠在長時間內保持測量精度。功耗低：由于采用MEMS技術制造，MEMS電容真空計的功耗較低，適用于低功耗應用場景。易于集成：MEMS電容真空計體積小、重量輕，易于與其他微電子器件集成，實現高度集成化和智能化。 真空計按原理可以分哪幾類?

真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點：一、高精度真空計具有高精度度的特點，能夠測量非常微小的壓力變化。這種高精度使得真空計在需要精確控制真空度的場合中非常有用，如半導體制造、真空冶金和科學研究等領域。二、使用方便現代真空計通常采用數字化顯示屏幕，與傳統的指針表相比更加直觀和方便。數字化顯示使得用戶能夠更輕松地讀取測量結果，并進行數據記錄和分析。三、穩定性能良好真空計具有良好的穩定性，能夠在各種環境條件下保持測量精度。即使在一些惡劣的工業環境中，真空計也能夠工作良好，不易受外界干擾。這種穩定性使得真空計在長時間監測真空度的應用中非常可靠。四、測量范圍廣不同類型的真空計適用于不同的測量范圍，從粗真空到高真空都有相應的真空計可供選擇。這使得真空計能夠滿足不同領域和應用場景的需求。真空計原理及測量范圍是？高精度真空計生產廠家

如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計的影響？蘇州高純度真空計設備供應商

電容薄膜真空計

測量原理：根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉化為膜片間距離的變化，即電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號。因此，其測量直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關。特點：直接測量式的、全壓型的真空計，可作為低真空測量（0.01~100Pa）工作副標準的一種真空儀器。材料選擇：感壓膜片是電容薄膜真空計的中心部件，宜選用Inconel600或3J53作為感壓膜片材料，陶瓷膜片則更適用于被測壓力較大的場合。同時，為保證薄膜的平整度及承載能力，增加其穩定性，往往使薄膜先受均勻的張力，然后再在邊緣加以固定。 蘇州高純度真空計設備供應商

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