按測量原理分類
電離真空計測量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等。放電管指示器測量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度,一般能作為定性測量。粘滯真空計測量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計、磁懸浮轉子真空計等。場致顯微儀測量原理:以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。分壓力真空計測量原理:利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。示例:四極質譜計、回旋質譜計、射頻質譜計等。 真空計校準后為什么不準了?溫州高純度真空計公司
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:
1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。
2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如,有些真空計的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時能夠方便地更換新的傳感器,從而延長真空計的使用壽命。
3.小型化和集成化隨著科技的發展,真空計正朝著小型化和集成化的方向發展。小型化的真空計更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計則能夠與其他設備或系統進行集成,實現更加智能化的監測和控制。然而,真空計也存在一些局限性,如某些類型的真空計易被污染、測量范圍相對較窄等。因此,在選擇和使用真空計時,需要綜合考慮其優缺點以及具體的應用需求。
綜上所述,真空計具有高精度、使用方便、穩定性能良好、測量范圍廣、多種測量原理、易維護以及小型化和集成化等特點。這些特點使得真空計在各個領域都有廣泛的應用前景和發展潛力。 江蘇高精度真空計設備公司電容真空計在哪些領域有應用?
陶瓷薄膜真空計是一種高精度、高穩定性的真空測量儀器,它結合了陶瓷材料的優異性能和薄膜傳感技術的敏感特性。以下是對陶瓷薄膜真空計的詳細介紹:
基本原理:陶瓷薄膜真空計的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個陶瓷基片,上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為電容的一個極板,而另一個極板則與薄膜保持一定的間隙。當外界真空度發生變化時,陶瓷薄膜會發生微小的形變,導致與另一個極板之間的電容值發生變化。通過測量這種電容變化,并經過適當的電路處理,就可以得到真空度的值。
皮拉尼真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:
化學工業:用于監測化學反應過程中的真空度變化。電子與微電子領域:用于半導體制造和微電子器件生產過程中的真空度測量。氣相沉積:用于監測氣相沉積過程中的真空度變化。電子束焊接:用于電子束焊接過程中的真空度測量。真空冶金:用于真空冶金過程中的真空度監測。此外,皮拉尼真空計還常用于監測從大氣到高真空區域開始的泵送過程(如渦輪分子泵或其他高真空泵接管該區域)、在真空冶金行業(在受控環境中制造的高純度合金)中確保不同薄膜涂層系統的工藝一致性和優化等方面。 皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統中的壓力。
不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規和熱電偶規,它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應的真空計:如熱陰極電離規和冷陰極電離規,它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。 真空計的讀數通常是不變的,這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準儀器。浙江陶瓷真空計設備廠家
皮拉尼真空計測量范圍?溫州高純度真空計公司
如何選擇真空計?考慮測量范圍與精度:不同的真空計有不同的測量范圍,需要根據實際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計適用于高真空環境(10-11 mbar),而熱阻式真空計則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內的測量。精度是選擇真空計時需要考慮的另一個重要因素。需要根據物體不同的尺寸、物理量等來選擇精度要求更高的真空計。考慮被測氣體與環境:部分真空計對被測氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計的陰極易受過量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測氣體是否會對真空計造成損傷。部分真空計會影響被測環境。例如,壓縮式真空計在測量時要壓縮被測氣體,這可能會使水蒸氣凝結,從而影響被測真空環境。溫州高純度真空計公司