選擇真空計時需要綜合考慮多個因素,包括真空計的類型、測量范圍與精度、被測氣體與環(huán)境以及其他相關(guān)因素。通過多方面評估這些因素,可以選擇出適合實際需求的真空計。其他因素需要考慮:穩(wěn)定性與可靠性:空計的使用壽命也是需要考慮的因素之一,好品質(zhì)的真空計通常具有更長的使用壽命。安裝與操作:真空計的安裝方法和操作性能也是需要考慮的因素。需要選擇易于安裝、操作簡便的真空計,以降低使用難度和維護成本。市場與銷售:考慮市場上真空計的供應(yīng)情況、購買的難易程度以及售后服務(wù)等因素,以確保所選真空計能夠得到及時有效的技術(shù)支持和維護。 在皮拉尼真空計中,熱敏電阻被放置在一個密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。江蘇高質(zhì)量真空計設(shè)備公司
辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試,填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。
辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試,填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。 江蘇高精度真空計供應(yīng)商真空計選型需要注意什么?
根據(jù)測量原理的不同,真空計可以分為多種類型:波爾登規(guī):利用細銅管在不同氣壓下的舒展現(xiàn)象進***壓測量。薄膜電容規(guī):利用金屬膜片在不同壓力下變形導(dǎo)致的電容變化進***壓測量。皮拉尼電阻規(guī):利用電阻與溫度之間的關(guān)系,通過測量加熱電阻絲的溫度變化來推算氣壓。熱電偶規(guī):與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,但用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。熱陰極電離規(guī):通過發(fā)射電子電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,并測量離子電流的大小來推算氣壓。冷陰極電離規(guī):利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,并測量離子電流的大小來推算氣壓。
電容薄膜真空計
測量原理:根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉(zhuǎn)化為膜片間距離的變化,即電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號。因此,其測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān)。特點:直接測量式的、全壓型的真空計,可作為低真空測量(0.01~100Pa)工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器。材料選擇:感壓膜片是電容薄膜真空計的中心部件,宜選用Inconel600或3J53作為感壓膜片材料,陶瓷膜片則更適用于被測壓力較大的場合。同時,為保證薄膜的平整度及承載能力,增加其穩(wěn)定性,往往使薄膜先受均勻的張力,然后再在邊緣加以固定。 電容真空計有哪些優(yōu)點?
MEMS電容真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。科學(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保實驗環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,MEMS電容真空計用于監(jiān)測太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。真空計使用過程中常見的問題有哪些?廣東陶瓷真空計原廠家
真空計有哪幾種常見的類型?江蘇高質(zhì)量真空計設(shè)備公司
真空計的歷史沿革1946年:,是一種***型高真空真空計。。1948年:,是典型的一類氣體組分與分壓強測量的真空計。1949年:、、,也是測量氣體組分及分壓強的一類重要的真空計。1950年:(又稱熱陰極超高真空電離真空計),解決了超高真空測量問題,推動了超高真空技術(shù)的發(fā)展。1951年:、、,是一種與氣體種類無關(guān)的***型真空計。1953年:、,此類真空計**小可檢測分壓強達10^-14Pa。1957年:德國人、高壓強電離真空計,盡量利用離子流的較好的線性等優(yōu)點來代替熱傳導(dǎo)規(guī)的不足。1959年:,制造工藝過于復(fù)雜難以推廣應(yīng)用。1960年以來:相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實現(xiàn)10^-11Pa左右的超高真空測量。七十年代后的二三十年:真空測量技術(shù)領(lǐng)域在新原理方面沒有出現(xiàn)明顯突破性的進展,較多的是在基本清晰的原理思路上的改進與補充,處于一個相對穩(wěn)定的時期。 江蘇高質(zhì)量真空計設(shè)備公司