采用直流磁控濺射法在硅基底上交替沉積類金剛石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制備了不同DLC層厚度的CNx/DLC納米多層膜.使用X射線衍射、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、X射線光電子譜、Raman光譜等測(cè)試手段表征了薄膜的微觀組織形貌、化學(xué)成分和原子價(jià)鍵結(jié)構(gòu)等.采用原位納米壓入技術(shù)、涂層附著力劃痕儀、球盤(pán)式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)對(duì)薄膜的力學(xué)和摩擦學(xué)性能進(jìn)行了測(cè)試.結(jié)果表明:所制備的CNx/DLC多層膜均為微晶或非晶結(jié)構(gòu),組織致密.隨著DLC層厚度的減小,多層膜內(nèi)sp3雜化鍵的含量先升高后下降,壓應(yīng)力由135MPa增至538MPa,結(jié)合力先上升后降低,而磨損率則呈相反變化趨勢(shì).多層膜在大氣和真空中的摩擦因數(shù)約為nm的多層膜的性能比較好,硬度可達(dá)GPa,比較低磨損率為×10-18m3/(N·m）。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。DLC(類金剛石鍍膜(Diamond-like carbon)) 。蘇州塑膠模具類金剛石

介紹了采用物理相沉積(PVD)技術(shù)制備類金剛石涂層的方法,進(jìn)而論述了涂層的摩擦磨損和結(jié)合力等性能的研究現(xiàn)狀和發(fā)展前景.分析并綜述了類金剛石涂層的技術(shù)發(fā)展,以及制備類金剛石薄膜的方法和影響其性能的多種要素.表面涂有類金剛石薄膜的工件具有較高的硬度、良好的熱傳導(dǎo)率、極低的摩擦系數(shù)、優(yōu)異的電絕緣性能等.類金剛石薄膜(DLCFilms)是近年來(lái)興起的一種以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合生成的亞穩(wěn)態(tài)材料,因其優(yōu)異的減摩和抗磨性能,在摩擦學(xué)領(lǐng)域獲得了應(yīng)用,是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料.DLC涂層的性能研究大多集中在它的摩擦學(xué)特性和結(jié)合力性能,并且作為的涂層材料已被應(yīng)用于汽車(chē)、模具、刀具等領(lǐng)域.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。昆山鉸刀類金剛石多少錢(qián)類金剛石薄膜(DLC)的制備方法及應(yīng)用。

涂層刀具結(jié)合了基體度高韌性以及涂層高硬度高耐磨性的特點(diǎn),可以提高刀具壽命和加工效率.類金剛石薄膜(DLC)是由無(wú)序sp3鍵、sp2鍵、sp1鍵配位碳原子混合而成,具有一系列與金剛石膜相類似的性能(如熱導(dǎo)率高,熱膨脹系數(shù)小,化學(xué)穩(wěn)定性好,硬度和彈性模量高,耐磨性好及摩擦系數(shù)低等)以及優(yōu)異的耐摩擦性能和自潤(rùn)滑特性,因此成為高速鋼和硬質(zhì)合金刀具理想的表面改性膜.DLC薄膜起源于20世紀(jì)70年代,其沉積方法主要有物理相沉積法(包括磁控濺射沉積、離子束沉積、脈沖激光沉積)和化學(xué)氣相沉積法,近幾年還發(fā)展了液相電化學(xué)沉積法.其表征方法主要有拉曼光譜、X射線光電子能譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)等.DLC薄膜的研究開(kāi)發(fā)應(yīng)用過(guò)程中存在兩個(gè)主要問(wèn)題:一是膜基結(jié)合力差;二是熱穩(wěn)定性差,這極大降低了工具的使用壽命.改變工藝參數(shù)、摻雜、制備中間過(guò)渡層、酸蝕法、機(jī)械處理等可以提高DLC膜的膜基結(jié)合力;在保證高膜基結(jié)合力的同時(shí)具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性.隨著薄膜制備技術(shù)的成熟,制備熱穩(wěn)定性好,sp3含量高同時(shí)內(nèi)應(yīng)力低。

類金剛石(Diamond-likecarbon,DLC)涂層具有良好的減摩、耐磨性能,已成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn).由于受基體材料的成分,以及DLC涂層材料與基體材料的性質(zhì)不同的影響,制備的涂層內(nèi)應(yīng)力較大,與基體的結(jié)合力差.添加過(guò)渡層,摻雜第三元素和制備多層結(jié)構(gòu)涂層是提高界面結(jié)合力與熱穩(wěn)定性的有效措施.介紹了類金剛石薄膜的性質(zhì)、制備工藝以及在金屬加工、汽車(chē)零部件、醫(yī)療器械、航空航天等領(lǐng)域的應(yīng)用,展望了類金剛石涂層的應(yīng)用前景與發(fā)展趨勢(shì).上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石薄膜研究進(jìn)展。

類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑，可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護(hù)膜。如噴墨打印機(jī)墨盒加熱層上、磁存儲(chǔ)器的表面、錄音機(jī)磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護(hù)層、不僅能有效的減少機(jī)械損傷，又不影響數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強(qiáng)、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能，且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜，不僅可以避免操作過(guò)程中的機(jī)械損傷，還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機(jī)械或化學(xué)腐蝕方法，且同時(shí)不會(huì)破壞薄膜的表面，所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來(lái)，類金剛石膜在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用，逐漸成為熱點(diǎn)。采用類金剛石膜和碳膜交替出現(xiàn)的多層膜結(jié)構(gòu)構(gòu)造成的多量子阱結(jié)構(gòu)，具有共振隧道效應(yīng)的和獨(dú)特的電特性，在微電子領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度，電子發(fā)射均勻性好，并且其具有負(fù)的電子親和勢(shì)，有效功函數(shù)相對(duì)較低的和較寬的禁帶寬度，即使在較低的外電場(chǎng)作用下，也可產(chǎn)生較大的發(fā)生電流，這個(gè)性能在平板顯示器中有著特殊的使用價(jià)值。無(wú)氫類金剛石薄膜是什么？蘇州塑膠模具類金剛石

類金剛石DLC涂層應(yīng)用。蘇州塑膠模具類金剛石

類金剛石碳膜因同時(shí)具有高硬度和低摩擦系數(shù)而引起關(guān)注,然而,它與工業(yè)中常用的鐵基材料存在"觸媒效應(yīng)",即,鍍的刀具在加工黑色金屬的過(guò)程中高硬度砂鍵會(huì)轉(zhuǎn)化成軟的護(hù)鍵,使耐磨性急劇下降,因此限制了它的應(yīng)用范圍年限,柳襄懷等采用離子束輔助沉積功技術(shù)制備出了用于滿足電磁功能要求的"石墨化"的膜年,提出存在高硬度"碳結(jié)構(gòu)"，其后,英國(guó)及公司采用全封閉非平衡磁控濺射制備出了高硬度碳膜一鍍層閱研究表明一以砂結(jié)構(gòu)為主,在與鋼鐵材料摩擦?xí)r未出現(xiàn)"觸媒效應(yīng)"且硬度適中、摩擦系數(shù)小、比磨損率較低一個(gè)數(shù)量級(jí),具有極其優(yōu)越的摩擦學(xué)性能碳膜的結(jié)構(gòu)和性能很大程度上與其制備工藝有關(guān)方法便于控制輔助轟擊參數(shù)以改變鍍層的結(jié)構(gòu),磁控濺射沉積速率較高,可制備厚鍍層，此類碳膜既非又非普通石墨,暫稱之為類石墨碳膜。蘇州塑膠模具類金剛石