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類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。類金剛石碳膜(DLC膜)的結(jié)構(gòu)性質(zhì)及其應(yīng)用。金華工具DLC技術(shù)
類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護膜。如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數(shù)據(jù)存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學(xué)腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來,類金剛石膜在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜交替出現(xiàn)的多層膜結(jié)構(gòu)構(gòu)造成的多量子阱結(jié)構(gòu),具有共振隧道效應(yīng)的和獨特的電特性,在微電子領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度,電子發(fā)射均勻性好,并且其具有負的電子親和勢,有效功函數(shù)相對較低的和較寬的禁帶寬度,即使在較低的外電場作用下,也可產(chǎn)生較大的發(fā)生電流,這個性能在平板顯示器中有著特殊的使用價值。上海冶金所研制的DLC平面柱狀陣列場發(fā)射平板顯示器樣品就是利用了這一原理。沖壓模DLC價格DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能。
為了提高活塞銷表面類金剛石(DLC)涂層的結(jié)合力及抗磨損性能,使用掃描電子顯微鏡、圓度儀、粗糙度儀等檢測設(shè)備對2種活塞銷DLC涂層表面、截面及涂層結(jié)合處的微觀形貌、組成元素和成分進行了對比分析,并對2種活塞銷進行了發(fā)動機臺架耐久試驗.結(jié)果表明:原樣件活塞銷耐久試驗后涂層大面積脫落且磨損嚴重,通過改變工藝參數(shù)將原樣件活塞銷進行優(yōu)化,優(yōu)化后的活塞銷DLC涂層表面的均勻性、平整性及光滑度都有了明顯改善,涂層厚度由μm增加到了μm,且粗糙度Ra值由原樣件的μm減小為μm,同時圓柱度也明顯減小,耐久試驗后涂層完好,沒有發(fā)生脫落.此研究為提高活塞銷表面質(zhì)量,改善活塞銷在工作中的磨損及失效提供了參考。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領(lǐng)域。
DLC薄膜處于熱力學(xué)非平衡狀態(tài),其原子排布呈現(xiàn)出近程有序、遠程無序的特點。近程有序主要表現(xiàn)為C-C原子之間的sp3和sp2雜化鍵的結(jié)構(gòu)。第一種模型是Beeman等人提出的,他們構(gòu)造了三種具有不同sp3和sp2雜化碳原子含量的非晶碳薄膜模型。此模型具備兩個典型特征:其一,除了sp2雜化結(jié)構(gòu)模型外,所有模型對應(yīng)于相對各向同性的無序混亂網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),而且沒有內(nèi)部懸鍵;其二,所有模型都做了弛豫處理,目的是使由偏離結(jié)晶態(tài)的鍵長、鍵角所引起的應(yīng)變能降到比較低。第二種模型是完全無規(guī)網(wǎng)絡(luò)模型,由Phillips等人提出并完善。該模型的基本觀點是,在非晶態(tài)隨機共價網(wǎng)絡(luò)當(dāng)中,當(dāng)原子的平均數(shù)與原子的機械自由度相等時,該結(jié)構(gòu)被完全。增加配位數(shù),則可以生成更多的共價鍵而降低體系能力,可以穩(wěn)定固態(tài)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),但鍵的拉伸和鍵角的畸形會造成更多的應(yīng)變能。DLC薄膜的功能特性是什么。
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學(xué)性能和結(jié)構(gòu)進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度的DLC膜及熱處理前后的性能變化.結(jié)果表明,薄膜的力學(xué)性能與Ti含量有非單值關(guān)系,但摩擦系數(shù)隨Ti含量增加而升高;熱處理后薄膜顯微硬度有名升高的原因是生成了碳化鈦硬化相.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領(lǐng)域。類金剛石(DLC)的簡介。蘇州模具DLC哪個好
DLC薄膜為什么在紅外是透過的?金華工具DLC技術(shù)
類金剛石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)是一種亞穩(wěn)態(tài)的非晶碳薄膜,具有一系列類似于金剛石的多種優(yōu)異性能,如高硬度、低摩擦系數(shù)、高耐磨耐蝕性、高熱導(dǎo)率、在可見到紫外光范圍內(nèi)透明、良好的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性、優(yōu)異的生物兼容性及表面光滑等,可多用于機械、電子、光學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。本項目制備的類金剛石薄膜具有質(zhì)量穩(wěn)定,與基體結(jié)合強,硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)和透光性可調(diào)控,耐摩擦磨損和熱穩(wěn)定性好等綜合優(yōu)良性能。制備工藝方法具有成膜速率高,可實現(xiàn)低溫、大面積沉積。所制備的類金剛石薄膜,與金剛石相比具有更高的性能價格比。金華工具DLC技術(shù)