類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學惰性、沉積溫度低、膜面光滑，可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護膜。如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護層、不僅能有效的減少機械損傷，又不影響數(shù)據(jù)存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能，且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜，不僅可以避免操作過程中的機械損傷，還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法，且同時不會破壞薄膜的表面，所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來，類金剛石膜在微電子領域的應用，逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜交替出現(xiàn)的多層膜結構構造成的多量子阱結構，具有共振隧道效應的和獨特的電特性，在微電子領域有著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度，電子發(fā)射均勻性好，并且其具有負的電子親和勢，有效功函數(shù)相對較低的和較寬的禁帶寬度，即使在較低的外電場作用下，也可產(chǎn)生較大的發(fā)生電流，這個性能在平板顯示器中有著特殊的使用價值。上海冶金所研制的DLC平面柱狀陣列場發(fā)射平板顯示器樣品就是利用了這一原理。DLC鍍膜鋼領磨損原因與鍍膜工藝改進。無錫金屬DLC工藝

采用優(yōu)化的沉積類金剛石(DLC)涂層工藝及過渡層技術,在硬質(zhì)合金上制備出性能優(yōu)良的DLC膜.實驗室切削試驗與工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場切削表明:在切削鋁青銅和共晶鋁硅合金時,DLC膜涂層刀具使用壽命明顯高于末涂層刀具.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于0.1結合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領域。南通表面DLC類金剛石薄膜(DLC)的制備方法及應用。

智能手機發(fā)展至今，硬件技術革新突飛猛進，不少千元手機都已經(jīng)擁有了旗艦配置，足以滿足日常使用的基本需求。都說眼睛是心靈的窗戶，那么屏幕就是手機的窗戶，而千元機的手機屏幕玻璃，往往質(zhì)量堪憂，用不了幾個星期，就會出現(xiàn)明顯的劃痕。類金剛石鍍膜在原有屏幕玻璃的結構基礎之上，額外覆蓋了一層類金剛石薄膜，除了防污疏油、順滑手感之外、增強玻璃硬度是重要的作用。經(jīng)過oDLC類金剛石鍍膜技術處理過的手機，其屏幕玻璃耐刮性能達到9H++級別，可以與藍寶石玻璃相媲美。經(jīng)過實際測試，用金屬刀尖這樣尖銳的物體反復刮擦，也不會留下任何痕跡，應付各種日常使用場景更是不在話下，oDLC類金剛石鍍膜就像是給手機屏幕裝上了一層金剛外衣，對手機屏幕起到至關重要的保護作用。對于常年暴露在危險環(huán)境中的手機屏幕來說，oDLC類金剛石鍍膜技術簡直是救星一般的存在。

在眾多類型的碳材料中，類金剛石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其優(yōu)異的性能吸引了世界范圍內(nèi)的關注和研究。DLC薄膜的結構處于金剛石和石墨結構之間的，主要是由金剛石結構的sp3雜化碳原子和石墨結構的sp2雜化碳原子混雜在一起形成的復雜三維網(wǎng)絡結構構成[27]。根據(jù)晶體材料的特征分析，DLC薄膜通常呈現(xiàn)非晶態(tài)或非晶納米晶復合結構。根據(jù)氫的有無可以分為含氫DLC薄膜(a-C:H)和不含氫DLC薄膜(a-C)。根據(jù)不同的含氫量和sp3與sp2雜化鍵的比例又分為不同的細類,如圖1-1所示。在2005年德國工程師學會定制的“碳涂層”標準中，又可將DLC薄膜細分為不同的七大類[27]。由于DLC薄膜的結構介于金剛石和石墨之間，使其具有高的硬度，優(yōu)異的減摩抗磨性能，同時還具有高的熱導率、低的介電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學透過性以及優(yōu)異的化學惰性和較好的生物相容性等。因而DLC薄膜不僅呈現(xiàn)良好的摩擦學性能，還具有良好的耐腐蝕性能。激光Roman光譜儀研究了DLC的結構組成。

利用ECR-PECVD技術在等離子體活化后的UHMWPE表面成功制備出一種含氫DLC薄膜。UHMWPE經(jīng)等離子體活化提高了其表面能和表面粗糙度，增強了與DLC間的膜基結合強度。DLC薄膜的沉積，進一步提高了UHMWPE的表面硬度、表面抗擦傷能力和耐磨損能力。⑹UHMWPE表面金屬過渡層的引入，提高了DLC薄膜的沉積速率和薄膜中sp3鍵的含量，進一步提高了UHMWPE的耐磨損性能⑺本文采用的“低溫等離子體活化/強化預處理+DLC薄膜沉積”的雙重表面改性技術對提高UHMWPE的耐磨性來說將起到雙重保障作用。將該技術應用于UHMWPE人工關節(jié)臼的表面改性具有潛在的重要應用價值。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領域。真空鍍DLC膜的膜系結構。南通表面DLC

類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強、抗粘結性能好。無錫金屬DLC工藝

20世紀70年代早期，類金剛石（DLC）涂層才見諸報道。工業(yè)上應用這種涂層起源于汽車部件，如高壓柴油噴射系統(tǒng)和動力傳動部件。當今，具有特殊優(yōu)勢的各種DLC涂層已在一些領域得到應用。DLC涂層通常由sp3與sp2鍵的比值和氫含量來分類。當碳元素通過sp3鍵結合，就會形成金剛石；通過sp2鍵結合，就會形成石墨。當sp3與sp2鍵的比值增大時，涂層的硬度通常會增加。可在DLC涂層內(nèi)加入鎢（W-C∶H）之類的金屬（此處C為碳，H為氫）；還可以加入其他元素如硅(Si-DLC)來改變涂層的摩擦系數(shù)或抗溫性能。一種已用于切削刀具的復合涂層為高硬度的氮化物涂層（如TiAlN）加上較軟的、具有潤滑功能的頂層涂層（如W-C∶H）。因為排屑的改善，這種復合涂層在攻絲和鉆削應用中顯示出優(yōu)異的效果。本文將重點討論一種被稱作四面體非晶碳(ta-C)的DLC涂層。無錫金屬DLC工藝