多年來，對需要提高涂層光潔度的解決方法是采用過濾式電弧氣相沉積工藝。該方法采用磁場過濾器來駕馭碳離子轟擊刀具，而中性的碳顆粒卻不受控制而轟擊磁場管道。陰極與真空腔的夾角小于90°。碳顆粒將沿直線運動而轟擊彎曲的磁場管道，而碳離子將在磁場的作用下沿管道抵達基體材料。該方法的缺點是沉積速度相對較慢、沉積區域相對較小，以及每次沉積的設備成本較高。此外，一些碳顆粒仍可在管道內偏轉并抵達基體材料。大約10年前，出現了一種新的沉積工藝：高功率脈沖磁控濺射（HiPIMS）。采用HiPIMS工藝，可同時兼得離子產生和獲得光滑濺射涂層的益處。但直到比較近這種方法才可使用石墨靶。 類金剛石涂層的可控制備及其性能。浦東新區刃具類金剛石

類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜，可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)(圖2)兩類。無氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網絡構成)，以及四面體非晶碳(tetrahedralcarbon，簡稱ta-C)(主要由超過80%的sp3鍵碳原子為骨架構成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態碳(polymer-likecarbon，簡稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種，其三維網絡結構中同時還結合一定數量的氫.類聚合物非晶態碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過相同簡單的結構單元通過共價鍵重復連接而成的化合物。這種類金剛石薄膜因為sp2鍵占據了主要數量，所以比較軟，又不具備石墨的特性，使得它的用途受到了限制，在摩擦學的應用上還處在起步階段。松江滾齒刀類金剛石廠類金剛石膜的制備性能與應用。

多數實驗研究表明：DLC在大氣環境下可以表現出低的摩擦系數，如果制備工藝恰當，其摩擦因數比較低可達，且類金剛石膜具有良好的自潤滑特性，所以人們可較好的將其使用在高真空、高溫等不適于液體潤滑的情況以同時又有清潔要求的環境中，如航天航空領域。上個世紀70年代末前蘇聯將DLC技術應用于宇航儀表中的動壓氣浮軸承，成功研制出高精度且**磨損型陀螺動壓馬達。1990年歐洲空間中心摩擦實驗室在評價了空間使用的各種固體材料之后，明確指出今后太空空間的固體材料涂層應該是以金剛石膜和類金剛石膜為主。通過分析比較，他們認為DLC是適合未來的太空空間潤滑摩擦表面的涂層。研究還發現，類金剛石膜在超高真空中的磨損更為緩和，同時產生的磨損粒子更少，摩擦狀態更穩定。故DLC作為固體潤滑膜應用到宇航具有比其他材料更為突出的潛力，必將在航天航空領域留下濃墨重彩的一筆。

類金剛石涂層是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。構成類金剛石的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結合方式，使其終產生的物質也不同，如在金剛石中碳原子與碳原子之間是以sp3鍵的形式結合的，在石墨中碳原子與碳原子之間是以sp2鍵的形式結合的，而在類金剛石中碳原子與碳原子之間則是以sp3和sp2鍵的形式結合的。類金剛石涂層由于含有金剛石成分，具有硬度高（能達到-60GPa或Hv6000以上）；摩擦系數低（)；膜層致密性極好；化學穩定性好以及光學性能好等很多優良的性能。因此，類金剛石涂層作為一種理想的涂層材料廣泛應用于硬質合金刀具，成為現代機械加工業的新生力量。類金剛石薄膜的問世始于20世紀70年代，由德國科學家Sol和Ronald在室溫下采用離子束沉積法將單價的碳離子沉積在基體上制成。我國科學家林錫剛等人在1984年采用低能離子束沉積技術制成類金剛石薄膜，并對其力學、電學、光學性能進行了初步測試。隨著現代科學技術的發展，類金剛石薄膜的制備方法也不斷進步。DLC涂層是在電離和分解的碳或烴類物質以通常為10-300eV的能量降落在基底表面時形成的。

研究結果表明，采用射頻等離子體增強化學氣相沉積方法，可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜與基材之間存在較大的內應力，薄膜牢度較小，易剝落，且不耐磨。用旋轉磁控電弧離子鍍技術，在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過渡層，然后再用射頻等離子體化學氣相沉積(rfPEVCD)方法在過渡層上制備了DLC薄膜，發現所制備的DLC碳膜的附著牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機械模具電子醫療汽車發動機部件等領域。類金剛石鍍膜方法與流程。鎮江類金剛石

類金剛石涂層的用處什么？浦東新區刃具類金剛石

為實現低摩擦和高燃油效率,大多數提升式配氣機構的發動機采用類金剛石碳(DLC)涂層挺桿.但是,由于低黏度機油的使用和更高的發動機輸出功率要求,使得摩擦學環境變得更為嚴苛,因而對涂層的堅固耐用性提出了更高的要求.為獲得較高的涂層效率并提高耐磨性,利用等離子體輔助化學氣相沉積法開發了添加5％～9％Si的Si-DLC涂層挺桿,盡管Si-DLC硬度和粘著力等機械性能有所下降,但其熱穩定性和耐磨性比DLC涂層有極大提高.Si阻礙了DLC涂層的石墨化,涂層表面的薄層氧化硅起到了阻礙氧化或快速導熱的作用.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數低小于結合力好耐腐蝕性能好優異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內孔的問題。公司涂層已經應用于航空機械模具電子醫療汽車發動機部件等領域。浦東新區刃具類金剛石