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在工具鍍領(lǐng)域我們實(shí)際上主要是利用了DLC的兩大主要性能:摩擦性能:DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數(shù),一般低于,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)比較低可達(dá)。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù),但加入H能提高潤(rùn)滑作用,環(huán)境也對(duì)摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來(lái)說(shuō),DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢(shì),這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在。DLC膜在磨損過(guò)程中,接觸面存在的摩擦變形在DLC膜表面產(chǎn)生微小的C,從而在摩擦配副的接觸面上形成一層轉(zhuǎn)移膜,使接觸面成為DLC膜的相互對(duì)磨,因而能夠減小摩擦力,提高薄膜的抗磨損性,起到固體潤(rùn)滑的作用。高硬度DLC膜具有相對(duì)適中的硬度,較低的摩擦系數(shù)、低磨損率和優(yōu)異的抗腐蝕性能。添加Cr元素后,可以調(diào)節(jié)高硬度類石墨膜的硬度和韌性,并能提高膜基結(jié)合強(qiáng)度,Cr含量在一定范圍內(nèi),膜基結(jié)合強(qiáng)度能夠達(dá)到非常理想的結(jié)果,而且具有良好的摩擦磨損性能。在一定載荷范圍內(nèi),類石墨膜的摩擦系數(shù)隨著載荷的提高而降低。DLC膜具有抗磨減摩的特性,是一種具有廣闊應(yīng)用前景的抗磨減摩鍍層。 DLC涂層技術(shù)是一種功能性較強(qiáng)的表面涂覆處理技術(shù)。常州納米DLC價(jià)格
類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護(hù)膜。如噴墨打印機(jī)墨盒加熱層上、磁存儲(chǔ)器的表面、錄音機(jī)磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護(hù)層、不僅能有效的減少機(jī)械損傷,又不影響數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強(qiáng)、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過(guò)程中的機(jī)械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機(jī)械或化學(xué)腐蝕方法,且同時(shí)不會(huì)破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來(lái),類金剛石膜在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,逐漸成為熱點(diǎn)。采用類金剛石膜和碳膜交替出現(xiàn)的多層膜結(jié)構(gòu)構(gòu)造成的多量子阱結(jié)構(gòu),具有共振隧道效應(yīng)的和獨(dú)特的電特性,在微電子領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度,電子發(fā)射均勻性好,并且其具有負(fù)的電子親和勢(shì),有效功函數(shù)相對(duì)較低的和較寬的禁帶寬度,即使在較低的外電場(chǎng)作用下,也可產(chǎn)生較大的發(fā)生電流,這個(gè)性能在平板顯示器中有著特殊的使用價(jià)值。蘇州工具DLC價(jià)格DLC碳膜的自潤(rùn)滑機(jī)制和磨損機(jī)理進(jìn)行了探索。
類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms,簡(jiǎn)稱DLC膜),是含有類似金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳膜,也是我們?cè)谶@里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來(lái)源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長(zhǎng)程無(wú)序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開(kāi)始磁過(guò)濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業(yè)化技術(shù)。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點(diǎn)等。不同的制備方法,DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡(jiǎn)稱DLC膜)作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等,可用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,具有良好的應(yīng)用前景。我們開(kāi)發(fā)了等離子體-離子束源增強(qiáng)沉積系統(tǒng),并同過(guò)該系統(tǒng)中的磁過(guò)濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來(lái)進(jìn)行DLC膜的開(kāi)發(fā)。該項(xiàng)技術(shù)用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域,用于摩擦、光學(xué)功能等用途。目前在我國(guó)技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段。
DLC膜層運(yùn)用提高材料的耐磨性應(yīng)該從提高硬度,減小摩擦系數(shù)兩個(gè)方面著手。單純提高材料的硬度并不一定使材料的耐磨性有很大的提高。以商用較多的TiN薄膜為例,硬度在20-30GPa,但其摩擦系數(shù)一般在0.5左右,其磨損率在相同試驗(yàn)條件下比DLC膜高一個(gè)數(shù)量級(jí)。TiN薄膜磨損產(chǎn)生的顆粒引起磨粒磨損,加劇磨損的程度。而DLC膜磨損的產(chǎn)物是微小的C,具有固體潤(rùn)滑的作用,能夠減小摩擦系數(shù),降低比磨損率。 DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數(shù),一般低于0.2,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)比較低可達(dá)0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù),但加入H能提高潤(rùn)滑作用,環(huán)境也對(duì)摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來(lái)說(shuō),DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢(shì),這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。 DLC膜在磨損過(guò)程中,接觸面存在的摩擦變形在DLC膜表面產(chǎn)生微小的C,從而在摩擦配副的接觸面上形成一層轉(zhuǎn)移膜,使接觸面成為DLC膜的相互對(duì)磨,因而能夠減小摩擦力,提高薄膜的抗磨損性,起到固體潤(rùn)滑的作用。Si降低了DLC涂層的石墨化。
類金剛石膜DLC具有良好的光學(xué)特性,高的光學(xué)透過(guò)率,光散射吸收少,其折射率可以依沉積條件的不同在。它的光學(xué)帶隙的范圍為。類金剛石膜在光學(xué)領(lǐng)域備受關(guān)注的主要原因,是因?yàn)樗诩t外和微波頻段的光學(xué)折射率和透過(guò)性都很高。類金剛石膜與常見(jiàn)的ZnS,ZnSe等紅外材料相比,它具有機(jī)械強(qiáng)度高和耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)。在Ge片上沉積類金剛石膜,然后用作CO2激光器發(fā)射窗口,透射率和表面硬度都有明顯提高,從而使激光器的效率提高了。類金剛石膜光學(xué)性能非常優(yōu)越,其在紅外范圍內(nèi)透明度高,而且具備耐磨損,高硬度等性能。從而使其能夠滿足紅外光學(xué)元件對(duì)單層減反射涂層的要求,使其可用作為一種光學(xué)儀器的紅外增透保護(hù)膜。此外,類金剛石膜(DLC)具有寬光學(xué)帶隙范圍,室溫下光致發(fā)光和電致發(fā)光率高,甚至有可能在整個(gè)可見(jiàn)光范圍發(fā)光。這些特點(diǎn)都使它成為高性能的發(fā)光材料之一。透明DLC薄膜的制備與性能研究。真空DLC廠家
DLC類金剛石鍍膜技術(shù)。常州納米DLC價(jià)格
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強(qiáng)、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來(lái)制作復(fù)雜、異型刀具,是未來(lái)刀具的一個(gè)重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積、真空陰極電弧沉積、等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積)與分類.從酸蝕法、施加過(guò)渡層、表面微噴砂處理和摻雜4個(gè)方面分析如何提高膜基結(jié)合力,探討了DLC膜的摩擦性能受濕度、溫度和加工條件的影響。例舉了幾個(gè)國(guó)內(nèi)外DLC涂層硬質(zhì)合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之處,提出了下一步研究工作的重點(diǎn)是優(yōu)化DLC膜的制備工藝、提高膜基結(jié)合力和熱穩(wěn)定性以及加強(qiáng)DLC涂層硬質(zhì)合金刀具的磨損機(jī)理研究,上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。常州納米DLC價(jià)格