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由于天然金剛石儲量有限,人造金剛石成為人們工業(yè)應(yīng)用的優(yōu)先,但仍然存在制備溫度高、成膜面積有限、基材結(jié)合性差等缺點(diǎn)。為此,科學(xué)家發(fā)明了幾乎可以媲美金剛石的材料:類金剛石碳基(英文:Diamond-likeCarbon,縮寫DLC)薄膜。在很多方面DLC有著和金剛石相近的性能,這也正是DLC名字——像金剛石一樣的碳——由來的主要原因。當(dāng)前,DLC薄膜,由于具有優(yōu)異的機(jī)械性能、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、生物相容性、獨(dú)特的光學(xué)特性,已廣泛應(yīng)用于精密儀器、汽車電子、醫(yī)療器材、**工業(yè)等重要領(lǐng)域。然而,DLC薄膜是一種非晶態(tài)薄膜碳材料,從成鍵形式來看,其結(jié)構(gòu)中不僅存在著碳元素的3種雜化鍵,sp、sp2、sp3,同時,由于制備技術(shù)的影響,結(jié)構(gòu)中還存在少量的氫元素。這幾種成鍵形式和元素的不同組合,構(gòu)成不同形態(tài)的DLC結(jié)構(gòu),從而表現(xiàn)出不同的性質(zhì)。類金剛石碳基薄膜材料。金華銑刀類金剛石公司
類金剛石在生物醫(yī)學(xué)特性及其應(yīng)用。由于DLC薄膜在化學(xué)成分上(碳、氫元素)能夠滿足生物相容性的要求并具有高硬度、低摩擦系數(shù)、化學(xué)惰性等特性,同時具備優(yōu)異的生物相容性和化學(xué)穩(wěn)定性,越來越多的研究者將目光投向了DLC薄膜在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用。例如人工關(guān)節(jié)表面沉積的DLC薄膜,可以增強(qiáng)人工關(guān)節(jié)的耐磨、耐蝕性能、減少磨屑、增加生物相容性,提高使用性能。在作為人工心臟瓣膜的鈦合金或不銹鋼表面沉積一層DLC薄膜,不僅能滿足生物相容性的要求,而且能夠提高該部件的機(jī)械和耐腐蝕性能,提高這些部件的使用性能。此外,DLC薄膜對蛋白質(zhì)的吸附率高,對血小板的吸附率低,可以在不影響主體特征的前提下,從多種途徑促進(jìn)材料表面生成具有活性的功能簇,從而減少血液凝固,使生物組織與植入的人工材料和諧相處,減輕患者的痛苦。無錫鍛造模類金剛石類金剛石鍍膜的溫度多高。
類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護(hù)膜。如噴墨打印機(jī)墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機(jī)磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護(hù)層、不僅能有效的減少機(jī)械損傷,又不影響數(shù)據(jù)存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強(qiáng)、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機(jī)械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機(jī)械或化學(xué)腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。
薄膜與基體間的界面結(jié)合性能是決定薄膜性能發(fā)揮的關(guān)鍵要素.針對類金剛石薄膜(DLC)在硬質(zhì)合金上結(jié)合力差的問題,采用線性陽極離子束復(fù)合磁控濺射技術(shù)在硬質(zhì)合金YG8基體上設(shè)計(jì)制備了單層W過渡層、WC過渡層、雙層W過渡層和三層W過渡層4種不同W過渡層的DLC薄膜,探討了不同過渡層對DLC薄膜力學(xué)和摩擦學(xué)性能的影響.結(jié)果表明:不同過渡層結(jié)構(gòu)的DLC薄膜結(jié)構(gòu)致密,界面柱狀生長隨著層數(shù)增加及過渡層厚度的降低而打斷,有利于改善薄膜的韌性.當(dāng)為三層W過渡層時,DLC薄膜的斷裂韌性達(dá)到最大值MPa·m1/2;與單層W過渡層相比,薄膜硬度有小幅下降,但薄膜內(nèi)應(yīng)力降低了55%,且膜/基匹配性更佳,結(jié)合強(qiáng)度高達(dá)85N,此時薄膜具有較低的摩擦因數(shù)和磨損率,表現(xiàn)出比較優(yōu)異的抗磨減摩性能.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石薄膜通的兩種氣體。
類金剛石的光學(xué)性能及應(yīng)用。DLC薄膜具有良好的光學(xué)透明度,寬的光學(xué)帶隙,在可見光區(qū)通常吸收率高,不透明,但是在紅外區(qū)和微波頻段則具有很高的透過率和較低的吸收率。由于DLC薄膜具有光譜寬透過率高、硬度高、摩擦系數(shù)小、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),可以作為多種光學(xué)材料如硅、鍺、玻璃、硫化鋅等的增透/保護(hù)膜,起到抗磨損、耐腐蝕、抗潮解和抗氧化的作用。國外已相繼將其應(yīng)用在太陽能硅電池、高功率二氧化碳激光器窗口、潛望鏡紅外窗口、陸瞄準(zhǔn)具紅外窗口、飛機(jī)前視紅外窗口、導(dǎo)彈頭罩窗口和宇航探測器等方面。類金剛石在機(jī)械性能與應(yīng)用。DLC薄膜具有很高的硬度和彈性模量,不同的沉積方法制備的DLC薄膜硬度差異很大,尤其是用激光濺射或磁過濾陰極電弧法制備出的DLC薄膜,其硬度高達(dá)70-110GPa,與金剛石相當(dāng)。因制備方法或者沉積的工藝參數(shù)以及成分不同,造成sp3/sp2比例以及氫含量不同,也會影響薄膜的力學(xué)性能。類金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是什么?無錫鍛造模類金剛石
鹽霧腐蝕對DLC薄膜摩擦學(xué)性能的影響。金華銑刀類金剛石公司
采用直流磁控濺射法在硅基底上交替沉積類金剛石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制備了不同DLC層厚度的CNx/DLC納米多層膜.使用X射線衍射、場發(fā)射掃描電子顯微鏡、X射線光電子譜、Raman光譜等測試手段表征了薄膜的微觀組織形貌、化學(xué)成分和原子價(jià)鍵結(jié)構(gòu)等.采用原位納米壓入技術(shù)、涂層附著力劃痕儀、球盤式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)對薄膜的力學(xué)和摩擦學(xué)性能進(jìn)行了測試.結(jié)果表明:所制備的CNx/DLC多層膜均為微晶或非晶結(jié)構(gòu),組織致密.隨著DLC層厚度的減小,多層膜內(nèi)sp3雜化鍵的含量先升高后下降,壓應(yīng)力由135MPa增至538MPa,結(jié)合力先上升后降低,而磨損率則呈相反變化趨勢.多層膜在大氣和真空中的摩擦因數(shù)約為nm的多層膜的性能比較好,硬度可達(dá)GPa,比較低磨損率為×10-18m3/(N·m)。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。金華銑刀類金剛石公司