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類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms,簡(jiǎn)稱DLC膜),是含有類似金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳膜,也是我們?cè)谶@里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來(lái)源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長(zhǎng)程無(wú)序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業(yè)化技術(shù)。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點(diǎn)等。關(guān)于類金剛石硬度分析。嘉興電鍍類金剛石
經(jīng)過對(duì)類金剛石涂層制備過程的分析發(fā)現(xiàn),當(dāng)基體表面薄膜的厚度大于或等于1um時(shí),薄膜會(huì)發(fā)生脫落,這與膜體-基底之間熱膨脹系數(shù)不匹配有關(guān)。因此,如何改善膜基結(jié)合力,提高薄膜穩(wěn)定性引起業(yè)內(nèi)人士關(guān)注。薄膜與基體之間結(jié)合力的大小與沉積方法及沉積工藝參數(shù)有關(guān),因此選擇合適的沉積壓力、偏壓等參數(shù),有助于提高膜體與基體之間的結(jié)合力,并延長(zhǎng)類金剛石膜層的使用時(shí)間。改善基體狀態(tài)當(dāng)基體表面存在缺陷時(shí),會(huì)影響膜與基體之間的結(jié)合,對(duì)此可以利用超聲波、金剛石研磨等機(jī)械方法來(lái)清洗刀具基體,表面污染物及氧化物;另外,采用化學(xué)酸蝕方法,能夠去除刀具基體表面的鈷,并能粗化基體,增加膜基接觸面積,提高膜基結(jié)合力。添加過渡層膜基之間熱膨脹系數(shù)不匹配導(dǎo)致結(jié)合力差,有研究者認(rèn)為可以在類金剛石膜和硬質(zhì)合金刀具之間添加另外一種材料,但是鑒于薄膜厚度不能超過1um,所以可以在刀具基體表面涂抹一層與硬質(zhì)合金基體熱膨脹系數(shù)相匹配的涂層如Ti和Si等作為過渡層來(lái)改善類金剛石碳膜與基體結(jié)合強(qiáng)度,提高膜基結(jié)合力。臺(tái)州電鍍類金剛石多少錢類金剛石涂層的用處什么?
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點(diǎn)考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對(duì)薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢(shì),而膜中sp3含量變化趨勢(shì)則與之相反。在選定的實(shí)驗(yàn)條件下,-100V偏壓時(shí)所制備的薄膜在空氣環(huán)境及Hank’s溶液潤(rùn)滑下都具有比較優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。
近幾年來(lái),在經(jīng)濟(jì)全球化背景下,我國(guó)的制造業(yè)獲得了空前發(fā)展的機(jī)遇,而現(xiàn)代切削刀具成了提升制造業(yè)技術(shù)水平的關(guān)鍵因素之一,不斷提高的切削加工要求和被加工材料的能級(jí)以及減少切削加工對(duì)環(huán)境污染等有力地推動(dòng)了用于現(xiàn)代切削刀具涂層技術(shù)的發(fā)展.膜系材料多元合金化,涂層工藝組合的多樣化中出現(xiàn)的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元復(fù)合涂層和多層涂使刀具獲得了高耐磨、低摩擦、熱穩(wěn)定性好和抗氧化能力強(qiáng)等良好的綜合性能,有效提升了現(xiàn)代切削刀具的性能;納米組分和納米薄膜涂層的顯微結(jié)構(gòu)使得難加工材料的切削得到了新的解決辦法。類金剛石薄膜的微觀結(jié)構(gòu)與其物理特性。
采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國(guó)較早汽車股份有限公司自主研發(fā)的發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)試驗(yàn)臺(tái)架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學(xué)行為及其對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)節(jié)能的影響.試驗(yàn)結(jié)果表明,在邊界潤(rùn)滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數(shù)比原零件降低67%,抗磨損性能大幅度提高;在實(shí)際使用工況下,配氣機(jī)構(gòu)的摩擦損失降低6%.DLC涂層零件可以降低發(fā)動(dòng)機(jī)摩擦損失,適用于汽車低碳技術(shù)路線.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。在工具鍍領(lǐng)域我們實(shí)際上主要是利用了DLC的兩大主要性能。浦東銑刀類金剛石公司
類金剛石薄膜的用途歸納。嘉興電鍍類金剛石
DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡(jiǎn)稱DLC膜)作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等,可用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,具有良好的應(yīng)用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強(qiáng)沉積系統(tǒng),并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來(lái)進(jìn)行DLC膜的開發(fā)。該項(xiàng)技術(shù)用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域,用于摩擦、光學(xué)功能等用途。目前在我國(guó)技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段,有巨大市場(chǎng)潛力。嘉興電鍍類金剛石