通常把一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜（DLC），這類薄膜具有高的硬度，低的摩擦因數(shù)，優(yōu)異的耐磨性，良好的光學(xué)透過性和生物相容性，是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強(qiáng)弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素，也是決定所有涂層應(yīng)用價值的較基礎(chǔ)因素。DLC涂層結(jié)合強(qiáng)度不高，通過納米調(diào)制等手段來提高其結(jié)合力。其中硼摻雜類金剛石涂層的研究主要集中在電化學(xué)和生物相容性方面,首先采用射頻磁控濺射法在不同基底材料上制備了類金剛石涂層，分析了基底材料對涂層結(jié)構(gòu)及膜基結(jié)合力的影響，通過原子力顯微鏡、掃描電鏡、拉曼光譜結(jié)果表明：射頻磁控濺射和閉合場非平衡磁控濺射制備的類金剛石涂層，上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石薄膜通的兩種氣體。常州表面類金剛石廠

DLC具有較高的抗磨損性和化學(xué)惰性，將其應(yīng)用于一些醫(yī)用材料上，可以增加材料的使用壽命。比如聚乙烯的人工骨骼關(guān)節(jié)上沉積一層類金剛石膜增強(qiáng)了人工關(guān)節(jié)的耐磨性，其抗磨損性能就可以和陶瓷和金屬的制品相比了；Ti-Ni形狀記憶合金，是用于骨科內(nèi)固定機(jī)械，如果在其表面鍍一層類金剛石膜，使其具有良好的生物學(xué)摩擦特性和良好的抗氧化性；在鈦制品人工心臟瓣膜上鍍上類金剛石膜DLC，它表現(xiàn)出了較好的的表面光滑性和疏水性。類金剛石膜DLC具有良好的生物相容性，許多實(shí)驗(yàn)都發(fā)現(xiàn)它對蛋白質(zhì)的吸附率高，對血小板的吸附率低，可以在不影響主體特征前提下，從多種途徑促進(jìn)材料表面生成具有活性的功能簇，從而減少了血液凝固，使生物組織和植入的人工材料和平相處，減輕了患者的痛苦。無錫金屬類金剛石類金剛石碳膜淀積工藝及設(shè)備研制。

薄膜與基體間的界面結(jié)合性能是決定薄膜性能發(fā)揮的關(guān)鍵要素.針對類金剛石薄膜(DLC)在硬質(zhì)合金上結(jié)合力差的問題,采用線性陽極離子束復(fù)合磁控濺射技術(shù)在硬質(zhì)合金YG8基體上設(shè)計制備了單層W過渡層、WC過渡層、雙層W過渡層和三層W過渡層4種不同W過渡層的DLC薄膜,探討了不同過渡層對DLC薄膜力學(xué)和摩擦學(xué)性能的影響.結(jié)果表明:不同過渡層結(jié)構(gòu)的DLC薄膜結(jié)構(gòu)致密,界面柱狀生長隨著層數(shù)增加及過渡層厚度的降低而打斷,有利于改善薄膜的韌性.當(dāng)為三層W過渡層時,DLC薄膜的斷裂韌性達(dá)到最大值MPa·m1/2;與單層W過渡層相比,薄膜硬度有小幅下降,但薄膜內(nèi)應(yīng)力降低了55％,且膜/基匹配性更佳,結(jié)合強(qiáng)度高達(dá)85N,此時薄膜具有較低的摩擦因數(shù)和磨損率,表現(xiàn)出比較優(yōu)異的抗磨減摩性能.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。

采用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測試了不同摩擦副在干摩擦和油潤滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學(xué)顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明：采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)小；摩擦副之間的硬度差對其耐磨壽命具有很大的影響,加入潤滑劑可以抵消這種影響；汽車活塞銷涂層類金剛石在工作一定時間后,表面粗糙度降低,耐磨壽命提高,同時DLC對摩擦副具有拋光潤滑作用,是一種汽車零部件推薦的抗磨減磨涂層材料。活塞銷涂層類金剛石實(shí)際裝車現(xiàn)場測試表明,壽命比沒有涂層的活塞銷提高。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石DLC涂層應(yīng)用。

類金剛石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)發(fā)現(xiàn)于20世紀(jì)70年代，是一系列含有sp3和sp2鍵的非晶碳膜，它有著和金剛石膜非常接近的性質(zhì)——高硬度、高彈性模量、耐磨損、低摩擦系數(shù)、高電阻率、高透光率和高化學(xué)穩(wěn)定性等。因此，類金剛石薄膜技術(shù)被廣泛應(yīng)用到機(jī)械、電子、光學(xué)和醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域。摻雜的DLC膜是一種非晶半導(dǎo)體材料，禁帶寬度可以在1—4eV之間調(diào)制，可大面積生長，材料自身和加工過程環(huán)保，在光電探測領(lǐng)域的運(yùn)用具有非常大的潛力。但目前DLC半導(dǎo)體摻雜尚無法獲得n型或者p型DLC半導(dǎo)體材料。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石膜的制備性能與應(yīng)用。沖壓模類金剛石工藝

新型的DLC(類金剛石碳)涂層材料——金剛烷化合物。常州表面類金剛石廠

類金剛石薄膜又稱山膜。碳的一種亞穩(wěn)態(tài)，組成主要是碳，也含有氫，其量隨工藝條件而異，多時可達(dá)20%。類金剛石具有很高的硬度、高導(dǎo)熱性、高絕緣性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、從紅外到紫外的高光學(xué)透過率等。這與金剛石相似，但其性能數(shù)值均低于金剛石膜。類金剛石膜已開始用作耐磨涂層。類金剛石碳（DLC）是非晶結(jié)構(gòu)，碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合。含氫DLC又稱為α-C:H，其中氫含量在20%到50%之間。無氫類金剛石膜包括無氫非晶碳（α-C）和四面體非晶碳（ta-C）膜。α-C膜含有一些sp3鍵；ta-C膜中以sp3鍵為主（sp3>70%）。結(jié)構(gòu)類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜，是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱，它是一類性質(zhì)近似于金剛石，具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等，同時又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式。常州表面類金剛石廠