第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，第1、第二起重機40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動。第1、第二升降臺43a、43b在下表面?zhèn)劝惭b有第1、第二移送部44a、44b，并被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而能夠升降。第1、第二升降臺43a、43b具備與第1、第二桅桿42a、42b的表面接觸的未圖示的引導(dǎo)滾子，從而順利地進行沿著第1、第二桅桿42a、42b的升降動作。另外，在第1、第二桅桿42a、42b的下部設(shè)置有未圖示的下部支承體，第1、第二升降臺43a、43b能夠下降至在該下部支承體上抵接的位置。此外，下部支承體防止第1、第二升降臺43a、43b從第1、第二桅桿42a、42b向下方脫落。第1、第二移送部44a、44b具備能夠沿與第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48、和設(shè)置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49。保持部49通過把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部49a的卡盤，使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方。浦口區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機推薦廠家！泉山區(qū)工業(yè)真空搬運機

    其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機構(gòu)，上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)以及搬運方法，通過第1、第二起重機進行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數(shù)量，通過高架搬運車進行區(qū)段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。南京室內(nèi)深加工真空搬運機哪家有江寧區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！

    真空搬運機械手的選型是根據(jù)需要搬運的工件大小、材質(zhì)、重量來定的，不同的材質(zhì)需要用不同材質(zhì)的吸盤。比如工件表面比較粗糙的一般選項用硅膠或者聚胺脂吸盤，另外加上海綿吸盤唇，確保吸盤能安全吸附。對于表面比較光滑的工件如玻璃一般選用天然橡膠或者丁腈膠吸盤。機械手的工作環(huán)境的溫度，濕度以及工件溫度等都會影響的吸盤材質(zhì)的選擇。本實用新型的有益效果是I)操作簡易快捷該機械手按照人體工學(xué)設(shè)計，隨作業(yè)員的牽引力在上下前后左右三維空間自動幀測運行，減輕工人勞動負荷，操作方便靈活，提高工作效率；2)懸浮性無沖擊力及不具有反彈力該機械手主要是依靠真空源在抽空吸盤內(nèi)部的空氣產(chǎn)生真空，可完成工件的無損傷搬運或上料，并確保產(chǎn)品組裝時，柔性對接，避免普通起吊設(shè)備運行時的沖擊性和反彈力，安全吸附，避免工件表面損傷；3)定位精確零重力懸浮狀態(tài)，保證工件對接時隨機移動精確定位。4)安全性高在真空泵斷電的情況下，能量儲備可以保持負載幾個小時，只要吸盤內(nèi)有適當(dāng)?shù)恼婵沾嬖?，負載就不會墜落。下面是結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步描述圖中是一種新型真空搬運機械手結(jié)構(gòu)示意圖。

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。浦口區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！

    將沿上下方向和y方向排列的多個第1、第二保管部20a、20b中的較上層且y方向的兩端的兩個作為第1、第二交接端口30a、30b，并將其他作為第1、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對第1、第二交接端口30a、30b標(biāo)注影線。這樣，作為第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的較上層，由此能夠通過高架搬運車50和第1、第二起重機40a、40b雙方進行物品2的交接。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個，能夠?qū)⑤^上層的第1、第二保管部20a、20b的全部作為第1、第二交接端口30a、30b使用。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定第1、第二保管部20a、20b的較上層。第1、第二交接端口30a、30b例如也可以與第1、第二保管部20a、20b設(shè)置。例如，如圖1所示，也可以在俯視下，在第1區(qū)段間頂棚軌道13與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第1區(qū)段間頂棚軌道13與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間設(shè)置交接端口130。第1、第二起重機40a、40b能夠針對該交接端口130進行物品2的交接。另外。江寧區(qū)多功能真空搬運機推薦廠家！泉山區(qū)工業(yè)真空搬運機

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    并在與作為搬運目的地的第二交接端口30b對應(yīng)的位置停止。接著，高架搬運車50使橫向伸出機構(gòu)55向+x方向或者-x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動作，能夠?qū)⑽锲?從第1保管區(qū)域sa1搬運至第二保管區(qū)域sa2。此外，在上述的實施方式中，示出將物品2在第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間進行搬運的例子，但通過與上述相同的動作能夠?qū)⑽锲?也在第1保管區(qū)域sa1與其他保管區(qū)域之間、或者在第二保管區(qū)域sa2與其他保管區(qū)域之間進行搬運。另外，載置于其他保管區(qū)域的交接端口的物品2被存在于該保管區(qū)域的起重機搬運至保管部或者處理裝置的裝載端口這點如上所述。如上所述，根據(jù)本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100，第1、第二起重機40a、40b能夠邊行駛邊使第1、第二升降臺43a、43b升降，因此與必須在停止后使保持部53升降的高架搬運車50相比，物品2的移送所需要的時間更短，能夠使區(qū)段內(nèi)(第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi))的物品2的搬運效率提高。并且，通過第1、第二起重機40a、40b進行區(qū)段內(nèi)的物品2的搬運，從而能夠使物品2的保管數(shù)量增加。另外，高架搬運車50不具有第1、第二起重機40a、40b的第1、第二桅桿42a、42b那樣的垂下的部件。泉山區(qū)工業(yè)真空搬運機