石墨盤烤盤爐

一.產(chǎn)品介紹

真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質量的目的。

二、設計特點

1、后門設計熱風電機

2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的

三、技術指標

1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；

2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；

4、加熱元件：石墨加熱棒；

5、冷卻方式：氣冷 + 循環(huán)風冷降溫；

6、控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；

7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）；

8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；

9、極限真空: 10-3torr級；

10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr

11、升溫功率：170kW；

12、升溫速率：15℃/min（空載）；

13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘

14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高） 工業(yè)烤箱怎樣使用？合肥真萍告訴您。溫州工業(yè)烤箱標準

恒溫恒濕試驗箱的控制系統(tǒng)可說是整個設備的心臟，掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權。  在制冷方面，壓縮機是采用德國進口的壓縮機。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成，每一部分是一個相對單獨的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化；低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對象(試驗機內(nèi)的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個蒸發(fā)冷凝器聯(lián)系起來，它既是高溫部分的冷凝器，也是低溫部分的冷凝器。  加熱系統(tǒng)采用完全單獨的鎳鉻合金電加熱式，電阻率大、電阻溫度系數(shù)小，在高溫下變形小且不易脆化，自身加熱溫度可達1000～1500℃，使用壽命長。  加濕是恒溫恒濕試驗箱不同于高低溫試驗箱的相當主要一部分，恒溫恒濕試驗箱采用外置隔離式，全不銹鋼鍋爐式淺表面蒸發(fā)式加濕器。祛濕方式采用機械制冷祛濕，將空氣冷卻到溫度以下，使大于飽和含濕量的水汽凝結析出，這樣就降低了濕度。  送風循環(huán)系統(tǒng)：空氣循環(huán)系統(tǒng)由耐溫低噪音空調(diào)型電機，多葉式離心風輪構成。它提供了試驗機內(nèi)空氣的循環(huán)。合肥工業(yè)烤箱圖片合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用。

真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞，解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線，解決液晶的受潮問題，解決線路板受潮問題。氮氣監(jiān)控系統(tǒng)：1.1、2.3”LED大屏幕數(shù)字顯示濕度/溫度。1.2、溫濕度顯示值0.1％-99.9％RH，溫度顯示值0.1℃-60.0℃。1.3、溫濕度收集采準確傳感器，長距離傳輸無誤差。1.4、濕度控制：2.4.1利用濕度設定值來控制氮氣流入，到達濕度設定值即停止進氣，節(jié)省氮氣耗用。2.4.2濕度在1％-60％RH可調(diào)整。1.5、溫濕度記錄功能：2.5.1內(nèi)建內(nèi)存，可儲存溫度/濕度，收集時間1~240分鐘可自行設定。2.5.2可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。2.5.3品管記錄格式設計，有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持數(shù)據(jù)庫檔案格式。1.6、濕度警報系統(tǒng)：1.6.1可設定啟動警報的濕度值及條件，內(nèi)配蜂鳴器（90分貝）及閃爍警示功能。1.6.2可另外選配積層式警示燈。1.7、溫濕度偏移校正功能：內(nèi)建校正功能，確保顯示準確度。

箱體結構：

1烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風道部分，塵埃物過濾部分，N2 進氣排氣及風冷部分等組裝而成，結構合理，功能實用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產(chǎn)生。

3保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充，防止了熱能浪費。

4電熱部分：采用覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器

5風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100； 工業(yè)烤箱的功能具體介紹！

工業(yè)烤箱，顧名思義，是在工業(yè)生產(chǎn)上用的的烤箱。在不同行業(yè)，不同的場所，在名稱的叫法上不一樣，比如：工業(yè)烘箱，干燥箱等。工業(yè)烤箱用途多：適用于烘烤有化學性氣體及食品加工行業(yè)的欲烘烤物品、基板應力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。使用于電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、PC板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、預熱、定型、加工等。質量連續(xù)爐的適用范圍：連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐，是指連續(xù)地或間歇地裝料，工件在爐內(nèi)不斷移動，完成加熱、保溫，有時包括冷卻在內(nèi)全過程的熱處理爐。合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱對如今市場的影響。無錫工業(yè)烤箱保養(yǎng)

工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用？合肥真萍告訴您。溫州工業(yè)烤箱標準

一、本產(chǎn)品廣泛應用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應性與可靠性試驗.二、主要技術指標：1、工作室溫度范圍：常溫～+300℃用戶使用溫度260℃2、溫度波動度：±1.0℃（空載）；3、溫度偏差：常壓溫度試驗：常溫～200℃時±2℃200～300℃時±5.0℃低氣壓高溫綜合試驗:≤100℃時±2.0℃，100℃～200℃時±5.0℃200℃～300℃時±7.0℃4、升降溫速率：升溫時間：①常壓時：90min（常溫～+260℃）②低氣壓0.0001pa時：180min（常溫～+260℃）降溫時間：3℃～10℃/min（260℃～120℃）,1℃～5℃/min（120℃～常溫℃）降溫方式：水冷降溫5、試驗箱承壓方式：采用內(nèi)承壓方式6、壓力范圍：常壓～0.0001Pa溫州工業(yè)烤箱標準