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鹽城妤林氦檢儀原理

來源: 發(fā)布時間:2022-03-07

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點:①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦質(zhì)譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。氦質(zhì)譜檢漏儀應用領(lǐng)域:學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。鹽城妤林氦檢儀原理

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象,所用方法簡便易行,經(jīng)濟實用。為保證測試漏率真實有效:(1)標準漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量;(2)使用兩年以上建議更換標準漏孔。杭州妤林氦氣檢測儀廠家氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護?當發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低,而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候,就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,不能用粗砂紙,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油或無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法:1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后,關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎,袋內(nèi)再充入氦氣,(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮,全開節(jié)流閥,采用不分流檢漏,必要時可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護:1、定期更換燈絲,清洗冷規(guī)。2、定期更換機械泵油,適時對機械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后,安裝時要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進行清洗,排除漏點。氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動量,能較方便地估計檢漏效果。

氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟:1、調(diào)氦峰方法:開漏孔開關(guān),單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”,使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個Zda值,然后關(guān)漏孔開關(guān),如表頭指示值變小,說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號,即找到氦峰;如表頭指示值不變,說明不是氦峰,則繼續(xù)調(diào)“V”,直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調(diào)氦峰分辨不好:①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調(diào)氦峰信號小:①燈絲沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠。③分辨不好。氦質(zhì)譜檢漏儀在運行過程中不能移動。移動式氦檢儀廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。鹽城妤林氦檢儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時,產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面:一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。鹽城妤林氦檢儀原理

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