氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？1.對氦質譜檢漏儀真空系統進行保養時，由于常見氦質譜檢漏儀的真空系統部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到規定壓力后，再進入真空系統部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統。否則將直接污染真空系統，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設備自身的保養清理十分重要。2.除了上述氦質譜檢漏儀真空系統需要保養之外，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養維護，避免因設備保養不及時導致設備使用壽命縮短。氦質譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。滁州妤林氦檢設備單位

氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到穩定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。分體式氦氣檢測儀工作原理氦質譜檢漏儀具有性能穩定、靈敏度高的優點。

影響氦質譜檢漏儀檢測精度的因素：1、受到檢測壓力的影響，泄漏率對測試壓力的依賴性，對不同的測量條件是不同的。一般而言，對于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時，試驗壓力對泄漏率的影響較大，而對于多孔性較低時則影響較小。另外，隨測試壓力的增高，還會帶來諸如溫度影響，所需穩定時間加長等一系列問題。因此，建議對特定的工件可采用在一定壓力范圍內進行泄漏檢測，然后選擇一個滿足測試要求的較低的壓力確定為它的測試壓力。2、受到檢測容積的影響，在一個特定的泄漏率值里，如果檢測容積增大的話，那么相應的壓力降低的速度就越低，因而測量時間需要相應增加。在一些特定的條件下，如果不想方設法減少測量容積，那么可能會無法達到測量需要的精確度和靈敏度。

氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數據精確；5.自動生成數據保存，可追溯數據來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。氦質譜檢漏儀的可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。

氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養。分體式氦氣檢測儀工作原理

氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。滁州妤林氦檢設備單位

氦質譜檢漏儀檢漏原理：當一個帶電質點(正離子)以速度v進入均勻磁場的分析器中，如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直，則它的運動軌跡為圓。當磁場的磁通密度一定時，不同質荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應的運輸半徑，也就是都有相應的圓軌跡，這樣，不同質荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉，而在對應的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫，狹縫后安置離子接收極，這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質譜室中，使氦質譜檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應出來，達到了檢漏的目的。滁州妤林氦檢設備單位

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