由碳與氟反應,或一氧化碳與氟反應,或碳化硅與氟反應,或氟石與石油焦在電爐里反應,或二氟二氯甲烷與氟化氫反應,或四氯化碳與氟化銀反應,或四氯化碳與氟化氫反應,都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進行,反應后的氣體經水洗、堿洗除去酸性氣體,再通過冷凍,用硅膠除去氣體中的水分,經精餾而得成品。
預先稱取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的單質硅粉,置于鎳盤中,使硅和碳化硅充分接觸后,將鎳盤放入蒙乃爾合金反應管中,向反應管內通入氟氣,氟氣先和單質硅反應,反應放熱后,氟開始和碳化硅進行反應,通入等體積的干燥氮氣以稀釋氟氣,使反應繼續進行,生成氣體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化后,將其通過裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化硅,隨后通過硅膠和五氧化二磷干燥塔得到**終產品。
或四氯化碳與氟化氫反應,都能生成四氟化碳。杭州原裝四氟化碳高性價比的選擇
一種四氟化碳氣體濃度檢測校正方法,包括:
通過雙光路檢測系統利用雙波長紅外差分檢測法測量出不同溫度下的四氟化碳氣體濃度值;
將測量出的所述四氟化碳氣體濃度值和對應的溫度值輸入至RBF神經網絡進行訓練;
將對測試樣本測量所得的四氟化碳氣體濃度值輸入至訓練好的所述RBF神經網絡進行測試并開展反演計算,得到校正后的四氟化碳氣體實際濃度值。
推薦地,在本發明實施例提供的上述四氟化碳氣體濃度檢測校正方法中,通過雙光路檢測系統利用雙波長紅外差分檢測法測量出四氟化碳氣體濃度值,包括:所述紅外光源發出的紅外光束經準直后進入內置有四氟化碳氣體的所述氣體采樣室;被四氟化碳氣體吸收特定波長的紅外光束作為測量光;波長不受四氟化碳氣體影響的紅外光束作為參考光;
在所述測量光經所述濾光片透射后,檢測所述測量光的光強;在所述參考光經所述第二濾光片透射后,檢測所述參考光的光強;
南通節能四氟化碳質量代理商R-14制冷劑,別名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等。
快速發展的半導體集成電路行業對上游的電子材料需求十分之大,隨著近年來國家不斷地出臺政策扶持,多家 12寸晶圓廠已經完工并投產,同時8寸、6 寸晶圓廠也仍然在興建中,其中國產廠商能夠為6 寸、8 寸廠提供電子氣體,但隨著制造工藝制程進步,對電子氣體質量的穩定性要求也越來越苛刻,從 28 納米走到7納米,產品的金屬雜質要求須下降100倍,污染粒子的體積也必須要縮小4倍,12 寸廠需要的電子氣體純度通常為6N級(99.9999%)以上,國內廠家的質量很難到要求。
2019-2025年中國四氟化碳市場調查研究及發展前景趨勢分析報告是對四氟化碳行業進行的闡述和論證,對四氟化碳研究過程中所獲取的資料進行系統的整理和分析,通過圖表、統計結果及文獻資料,或以縱向的發展過程,或橫向類別分析提出論點、分析論據,進行論證。2019-2025年中國四氟化碳市場調查研究及發展前景趨勢分析報告如實地反映了四氟化碳行業客觀情況,一切敘述、說明、推斷、引用恰如其分,文字、用詞表達準確,概念表述科學化。
在蝕刻過程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉。
四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環境下是相對惰性的,在不通風的地方會引起窒息。在射頻等離子體環境中,氟自由基表現為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過程,使尺寸和形狀得到更好的控制,這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時不利于各種特殊的控制(如半導體各項異性控制)。其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。
通常常溫下只會與液氨-金屬鈉試劑能發生作用。杭州原裝四氟化碳高性價比的選擇
半導體材料屬于高技術壁壘行業,特別是晶圓制造材料,技術要求高,生產難度大。目前,半導體材料**產品大多集中在美國、日本、德國、韓國、中國臺灣等國家和地區生產商。國內由于起步晚,技術積累不足,整體處于相對落后的狀態。目前,國內半導體材料主要集中在中低端領域,**產品基本被國外生產商壟斷。如硅片,2017年全球五大硅片廠商占據了全球94%的市場份額。
近年來國內半導體材料生產商加大了研發投入,大力推進半導體材料的研發及生產,力爭實現國產替代。目前在部分細分領域,已經突破國外壟斷,實現規模化供貨。如CMP拋光材料的**企業安集科技,公司化學機械拋光液已在130-28nm技術節點實現規模化銷售,主要應用于國內8英寸和12英寸主流晶圓產線;濺射靶材**江豐電子,16納米技術節點實現批量供貨,同時7納米技術節點也實現供貨。
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