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云南離子束輔助沉積射頻離子源制造生產廠家

來源: 發布時間:2023-09-22

【真空鍍膜設備的維修及保養方法】1.真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上,應清潔工作室一次。方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應,反應后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。2.當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續工作一個月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數秒,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用布擦干凈箱內污垢。3.在重新開機前,要注意檢漏。方法:啟動維持泵,關好da門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環,真空鍍膜設備無法進入工作狀態。廣東真空鍍膜機廠家。云南離子束輔助沉積射頻離子源制造生產廠家

【機械泵分類】機械泵有很多種,常用的有滑閥式、活塞往復式、定片式和旋片式四種類型。機械泵是從da氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可以用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸氣結束時空腔截面積,L表示空腔長度,系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處于水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積da,轉速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的松緊度有關系,當電機的皮帶比較松,電機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。湖南離子束刻蝕射頻離子源專業生產射頻離子源是未來科技發展的重要方向,具有廣闊的應用前景。

【真空鍍膜對環境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要。基片進入鍍膜室前均應進行認真的鍍前清潔處理,達到工件去油、去污和脫水的目的。基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗漬等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學清冼方法將其去掉。對經過清洗處理的清潔表面,不能在da氣環境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至小。因為這些容器優先吸附碳氫化合物。對于高度不穩定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應貯存在真空干燥箱中。qing除鍍膜室內的灰塵,設置清潔度高的工作間,保持室內高度清潔是鍍膜工藝對環境的基本要求。空氣濕度da的地區,除鍍前要對基片、真空室內各部件認真清洗外,還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內,注意油擴散泵返油,對加熱功率高的擴散泵必須采取擋油措施。

【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態升壓法】靜態升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是簡單易行的真空系統檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質,通過測量規管就可以檢測真空系統的總漏率,從而確定真空系統或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統或容器存在漏孔的話,靜態升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。靜態升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數據。《真空系統抽氣達不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態升壓法實現的,比較方便。當然在應用過程中,要提高準確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進行凈化清洗并烘干,或者用氮氣進行沖洗。更嚴格一點可以在測量規管與容器之間設置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進的空氣不會造成影響。真空鍍膜機的操作培訓。

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